超洁净防静电和导电托盘制造技术

本实用新型专利技术涉及一种超洁净防静电和导电托盘，包括一个壳体，该壳体具有底板、第一侧板、第二侧板以及将底板、第一侧板、第二侧板连接起来的两个端板，该壳体的内部构成容纳物体的空腔。该托盘由一种超洁净防静电树脂组合物制成，主要用于晶圆、碟片或记忆模块等静电敏感电子元器件的运送和包装。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种超洁净防静电和导电托盘，主要用于诸如 晶圓、碟片或记忆模块等静电敏感电子元器件的运送和包装。
技术介绍
随着半导体和晶片技术的快速发展以及半导体和晶片制造业 的蓬勃兴起，静电敏感电子元器件的生产工序对工装夹具(例如夹 持电子元器件的托盘，用于盛装和传输电子元件的托盘)的要求也 越来越高，主要体现在对工装夹具的防静电性能和洁净性能的要求 越来越严。在电子元器件的操作中，静电会对电子元器件造成损坏，这种 损坏有时难以;险测，从而造成严重后果。另外，如果工装夹具的洁 净性能不好，就会出现元器件被污染、玷污的情况，造成器件质量 下降甚至损坏。目前该领域中所使用的工装夹具主要利用各种工程塑料，例如 聚醚酰亚胺或称聚酰亚胺醚(PEI)、聚碳酸酯(PC)、聚苯醚(PPO) 和聚曱醛(POM)等，难以满足该领域中不断提高的防静电性能和 洁净性能要求。在运送和包装电子元器件时，人们常用到防静电和导电托盘。 目前正在使用的托盘材料通常是在塑料基材中添加导电纤维、导电碳黑和金属粉等来解决材料的防静电性能。以聚醚酰亚胺作为塑料 基材的实例。对于现有4支术的添加了导电-灰纤维的聚醚酰亚胺(PEI)，导电 碳纤维周围是不导电的塑料基材，其分布的不均匀性显露无遗。现 有技术中导电碳纤维在塑料基材中分布不均匀，导电碳纤维密集的 地方呈现出较好的防静电性能，而导电碳纤维疏+>的地方则表现出 绝缘性。而且，现有技术中的材料的洁净性也有待提高。使用这种 材料制造的托盘的防静电和洁净性能不理想。
技术实现思路
为了克H现有托盘在防静电和洁净性能方面的不足，本实用新 型提供了一种超洁净防静电和导电托盘，包括一个壳体，该壳体具 有底板、第一侧板、第二侧板以及将底板、第一侧板、第二侧板连 接起来的两个端板，该壳体的内部构成容纳物体的空腔。所述托盘 由一种超洁净防静电树脂组合物制成，主要用于晶圓、碟片或记忆 模块等静电敏感电子元器件的运送和包装。本技术的托盘的第一侧板和第二侧板具有凹槽，凹槽适合 于插入并分隔晶圓、碟片或记忆模块等电子元器件。根据本技术的一个实施例，所述托盘的第 一侧板和第二侧 氺反的厚度加厚了，这样使4乇盘不易变形。所述4乇盘的端4反具有U形 开口。所述托盘的端板的上边缘优选具有一个凸缘，可以起加固托 盘的作用。根据本技术的另一个实施例，所述托盘具有内隔板，用于将整个托盘分成若干格。所述托盘具有与所述托盘的第一侧板平行 的内隔才反，所述内隔才反具有凹槽，用于插入并分隔晶圆、石莱片或记忆才莫块等电子元器件。可选地，所述托盘具有与所述内隔板相垂直 的内隔^反。所述内隔^反是可拆卸的。由于纳米级碳管/碳黑均匀分布在塑料基材中并且不易脱落，本 技术的托盘产品表现出良好的防静电性能和超洁净性能。另 外，该超洁净防静电树脂组合物可通过增大导电納米碳管/导电纳 米碳黑的比例，减小复合材料的电阻来兼备电磁屏蔽功能。因此， 利用该组合物材料制造的托盘产品具有良好的导电性，具有一定的 电^兹屏蔽功能。附图说明图1是根据本技术的一个实施例的托盘的示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术作详细描述。参照图1，在本技术的一个实施例中，托盘包括一个壳体，该壳体呈长方体的形一犬，具有底4反1、第一侧^反2、第二侧;〖反3以 及将底板、第一侧板、第二侧板连接起来的两个端板4，壳体的内 部构成容纳物体的空腔。第一侧板2和第二侧板3的外表面基本为 长方形，第一侧纟反和第二侧纟反具有相对的凹槽5,凹槽适合于插入 并分隔晶圓、碟片或记忆模块等电子元器件。第一侧板和第二侧板 的厚度加厚了 ，这样使托盘不易变形。托盘的端板4具有U形开口 ， 这样当晶圆、碟片或记忆模块等电子元器件插入在托盘中时，可以 直观地看到插入的物体，这种形状也可以节省材料。端板的上边缘 具有一个凸缘，可以起加固托盘的作用。托盘和凹槽的尺寸适合于 晶圓、碟片或记忆模块等电子元器件插入其中。当然，托盘可以是正方体的形习犬。4乇盘由在专利申i青200710080138.7中^>开的一种超 洁净防静电树脂组合物制成。在本技术的另一个实施例中，托盘包括一个壳体，该壳体 呈长方体的形状，具有底板、第一侧板、第二侧板以及将底板、第 一侧纟反、第二侧^反连4矣起来的两个端一反。托盘装有内隔^反，将整个 托盘分成若干格。这样可以将不同的电子元器件分类放在托盘中。 托盘的形状可以为正方体或者长方体。4乇盘的两个侧才反具有相对的 凹槽，平行于这两个侧板的内隔板也具有凹槽，相对的凹槽适合于 插入晶圓、碟片或记忆模块等电子元器件，从而将这些电子元件安 方文入在托盘中。托盘可以具有与其他平行内隔板相垂直的一个或多 个内隔^1，起到支撑固定的作用。内隔^反可以乂人4乇盘上拆卸下来。 4乇盘由在专利申请200710080138.7中/〉开的一种超洁净防静电树 脂组合物制成。正如在专利申请200710080138.7中所公开的，超洁净防静电树 脂组合物主要包括塑料基材63~98%，纳米级碳管和/或納米级碳 黑1~30%， 4禺联剂0.1 ~ 0.5%,分散剂0.1 ~ 5%, 4元氧4匕剂0.5 ~ 1.5%。在该超洁净防静电树脂组合物中，塑料基材为各种热塑性树 脂，优选为热塑性工程塑料，例如聚醚酰亚胺(PEI )、聚碳酸酯(PC )、 聚苯醚(PPO)和聚曱醛(POM)、聚烯烃、聚氯乙烯、聚偏氯乙 烯、ABS树脂、聚苯乙烯、丙烯腈-苯乙烯树脂、(曱基)丙烯酸树 脂、聚乙烯醇、聚酰胺树脂、聚缩醛树脂、聚碳酸酯树脂、聚酯树 脂、聚四氟乙烯、氟树脂、聚亚胺、聚酰亚胺。热塑性树脂的用量 为超洁净防静电树脂组合物总质量的63 %至98 % 。在该超洁净防静电树脂组合物中，偶联剂选自由有机铬络合 物、硅烷类偶联剂、钛酸酯类偶联剂和锆类偶联剂组成的组，用于2008增强树脂材料与碳纳米管之间的结合性，使组合物中的各个成分不 能向材料表面渗透。分散剂选自石蜡油、聚乙烯蜡、氧化聚乙烯蜡、 脂肪酸皂类、脂肪酸酯类、脂肪酰胺类以及酯类，用于改变碳纳米 管在塑料基材中的分散效果。抗氧化剂选自有才几亚磷酸酯和受阻 酚，用于提高组合物的抗老化性能。抗氧化剂在成型后具有良好的 耐抽出性，从而满足超洁净性的要求。纳米级碳管(又称为碳纳米管或纳米导电碳管)包括圓筒状的 单层结构或者这些圆筒结构配置成套管状的多层结构。碳纳米管平均直径为0.5至200nm，优选为20 - 100nm,更优选为30nm以上 至100nm以下。纳米级石友黑(纳米导电石灰黑)是纳米级的^灰黑粉体， 其粒径通常在IOO纳米以下。纳米级碳管与纳米级碳黑可分别加入 到树脂组合物中。可选地，两者也可同时加入到树脂组合物中。另外，该超洁净防静电树脂组合物可通过增大导电纳米碳管/ 导电纳米碳黑的比例，减小复合材料的电阻来兼备电磁屏蔽功能。 利用该组合物材料制造的托盘产品具有良好的导电性，具有 一定的 电磁屏蔽功能。本技术的 一 个实施例的托盘由具有以下组分配比的超洁 净防静电树脂组合物制造得到塑料基材PEI 75 g,纳米碳管19.5 g， 硅烷偶联剂0.5 g,分散剂丙烯酸共聚物4 g,抗氧化剂亚磷酸三(2，4-二沣又丁基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超洁净防静电和导电托盘，包括一个壳体，其特征在于，该壳体具有底板（１）、第一侧板（２）、第二侧板（３）以及将底板、第一侧板、第二侧板连接起来的两个端板（４），所述壳体的内部构成容纳物体的空腔，所述托盘由一种超洁净防静电树脂组合物制成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陶峰，
申请(专利权)人：东莞市问鼎静电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：44[中国|广东]