静电消除装置制造方法及图纸

提供一种直流方式气体喷射型的静电消除装置，不会产生逆带电，将大型的静电消除对象快速且高效率的消除静电。在静电消除装置（１）中，气体喷口（６０）配置于正电极（２０）和负电极（３０）之间，使得正电极（２０）和负电极（３０）向来自气体喷口（６０）的气体流照射正离子及负离子，使正离子和负离子都快速地到达静电消除对象而消除静电。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及通过利用由电晕(corona)放电产生的正离子及负离子中和静电消除对象表面带电的正负静电来消除静电的消除静电装置。
技术介绍
以往技术的静电消除装置的主流是电晕放电式静电消除装置，对针状的放电电极(放电针)施加高电压，使自空气产生正离子和负离子(以下将正离子和负离子只总称为离子)，并对带电的静电消除对象照射离子而消除静电。在本静电消除对象的一例，例如可列举板状的玻璃基板等。该玻璃基板例如是在TFT(薄膜晶体管)液晶面板、PDP(等离子显示面板)或LCD(液晶显示器)等使用的基板。这种电晕放电式静电消除装置还大致分成在对放电针施加的高压电源使用交流电源的交流方式静电消除装置和使用直流电源的直流方式静电消除装置。各静电消除装置具有特征，需要依据使用目的选择。交流方式静电消除装置主要使用以升压变压器将商用电源升压后的电源电压，自一根放电针交互地产生正离子和负离子。通过使所产生的离子搭乘空气流而提高移动速度，提高静电消除效果。该交流方式静电消除装置的优点是，例如在交流电源为50Hz的情况每隔20mesc自一根放电针交互地产生正离子和负离子，因在空间的正离子和负离子无偏倚的存在，在静电消除对象的附近即使产生离子也难发生静电消除装置所引起的逆带电(集中于同一位置的照射极性相同的离子，在静电消除对象带电该离子)。另一方面，交流方式静电消除装置的缺点有两个，第一个缺点是因正离子和负离子的位置接近地存在，正离子和负离子再结合的概率高，所产生的离子无法到达远方而减少；第二个缺点是因将交流方式的商用电源升压的升压变压器目前难小型化，所以成为将离子产生部和高压电源部分离，与离子产生部分开地配置高压电源部，用高压电线连接离子产生部和高压电源部的构造，交流方式静电消除装置难小型化、一体化。接着，参照附图的同时说明直流方式静电消除装置。图11是以往技术的直流方式条状静电消除装置的构造图。直流方式条状静电消除装置200如图11所示，包括静电消除装置主体201、正放电针202以及负放电针203。静电消除装置主体201是横向长的条形，在本静电消除装置主体201内也收藏电源电压部。在静电消除装置主体201分别设置个数相同的正放电针202和负放电针203，正放电针202产生正离子，负放电针203产生负离子。另外，参照附图的同时说明其他的直流方式静电消除装置。图12是其他的以往技术的直流方式条状静电消除装置的构造图。直流方式条状静电消除装置200’如图12所示，包括静电消除装置主体201、正放电针202、负放电针203、离子传感器204以及传感器支撑体205。静电消除装置主体201是横向长的条形，在本静电消除装置主体201内也收藏电源电压部。在静电消除装置主体201分别设置个数相同的正放电针202和负放电针203，正放电针202产生正离子，负放电针203产生负离子。离子传感器204是长度和静电消除装置主体201大致相同的棒形的传感器，利用传感器支撑体205在放电针前端侧安装成和静电消除装置主体201的纵向平行。该离子传感器204是依照所检测的信号量测离子平衡分布，控制成调整正离子或负离子的输出量的。这些直流方式条状静电消除装置200、200’的优点有两个，第一个优点是因正放电针202和负放电针203之间充分分离，正离子和负离子再结合的概率比直流方式静电消除装置低，能使离子到达远方；第二个优点是因通过用整流电路将由小型的高频变压器升压后的高频电压整流得到正高电压及负高电压，所以可采用构造上小型的高压电源部，使高压电源部内置于成为离子产生部的静电消除装置主体201，使直流方式条状静电消除装置200、200’成为小型构造、一体构造的。另一方面，直流方式条状静电消除装置200、200’的缺点是，在自正放电针202及负放电针203(以下表示正放电针202和负放电针203两者的情况只称为放电针)至静电消除对象为止的静电消除距离L短的情况，因正放电针202附近的空间的正离子浓度高，负放电针203附近的空间的负离子浓度高，所以直流方式条状静电消除装置200、200’使静电消除对象局部的逆带电成正或负。参照图的同时说明这种逆带电的倾向。图13是验证逆带电的实验装置的说明图，图14是作为实验结果的离子平衡分布图。如图13所示，在下向流动的环境下利用直流方式条状静电消除装置200产生正离子、负离子，在相距静电消除距离L＝300mm或1000mm的A0、A、B、C、D、E、E0各自配置CPM(带电板监视器)，量测各点的CPM电压，调查离子平衡分布。本CPM是带电板的尺寸为15cm×15cm、静电电容为20pF。在直流方式条状静电消除装置200的静电消除范围的正离子、负离子的离子平衡分布变成如图14所示。在该离子平衡分布中，调整离子平衡，使静电消除装置主体201的中心(C的附近)变成零V，静电消除装置主体201的负电极侧(A0、A的附近)的CPM电压偏向负电压，静电消除装置主体201的正电极侧(E0、E的附近)的CPM电压偏向正电压，描绘如图14的图形的实线所示的电压斜率。自该离子平衡分布也得知，CPM电压高，未完全消除静电。另外，逆带电可理解为(1)静电消除距离L的影响和(2)静电消除位置A0、A、B、C、D、E、E0的影响。在(1)，与自放电针至静电消除对象为止的静电消除距离长的情况(1000mm)相比，在静电消除距离短(300mm)的情况下CPM电压整体上比较高，逆带电的倾向显著。于是，随着自放电针至静电消除对象为止的静电消除距离缩短逆带电的倾向变强。在(2)，以往技术的直流方式条状静电消除装置200，朝向静电消除对象安装放电针的前端，因设置成正放电针202和负放电针203之间间隔固定距离，所以正放电针202附近的空间正离子浓度高，负放电针203附近的空间负离子浓度高，具有静电消除对象也局部的逆带电成正或负的缺点。尤其是，在静电消除装置主体201的一端安装正放电针202(图13的右侧)、又在另一端安装负放电针203(图13的左侧)的构造，有在正放电针202的某条的端部的附近的空间正离子浓度比条中央附近的高很多，反之在负放电针203的某条的端部的附近的空间负离子浓度比条中央附近的高很多的倾向。在直流方式条状静电消除装置200的静电消除范围的正离子、负离子的离子平衡分布变成如图14所示，在正放电针202的某条的端部的附近的空间正离子浓度比条中央附近的高很多，反之在负放电针203的某条的端部的附近空间负离子浓度比条中央附近的高很多。该倾向也受到静电消除距离L影响，在自放电针至静电消除对象为止的静电消除距离L短的情况(L＝300mm)，CPM电压突出而变高，在端部有逆带电变更强的倾向。因此，为了消除逆带电而使自放电针至静电消除对象为止的静电消除距离变长时，这次发生新的问题。参照附图的同时进行说明。图15是作为实验结果的静电消除时间-位置特性图。如图15所示，可知有自放电针至静电消除对象为止的静电消除距离L比较长的静电消除时间长的倾向。由此也得知，在直流方式条状静电消除装置200，有要缩短静电消除时间而缩短静电消除距离时发生逆带电，反之要消除逆带电而延长静电消除距离时静电消除时间变长的倾向。在图12所示的直流方式条状静电消除装置200’也有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电消除装置，利用直流电压的电晕放电式，其特征在于，包括：静电消除装置主体；多个正电极，设置于静电消除装置主体，施加正电压而生成正离子；多个负电极，设置于静电消除装置主体，施加负电压而生成负离子；以及多个气体喷口，设置于静电消除装置主体，喷射用于离子运送的气体流，将气体喷口配置于正电极和负电极之间。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：中岛用松，
申请(专利权)人：修谷鲁电子机器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]