本发明专利技术提供一种制造有机发光显示器的激光感热成像（ＬＩＴＩ）装置。该激光感热成像装置包括：一个布置有基板的平台；一个用于传输施主基板的传输装置；一个叠层该基板与施主基板的叠层器；一个执行ＬＩＴＩ的激光光学单元；和提供有一种惰性气体的大气压力的室，前述平台、叠层器和激光光学单元被布置在该室中。根据本发明专利技术的ＬＩＴＩ装置通过调整惰性气体气氛中氧气和水蒸汽的分压来进行转移工艺，从而可以保护基板上将被转移的有机层和像素电极免受外部空气的影响，从而提高了所制造有机发光显示器的寿命特性。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种激光感热成像装置(laser induced thermal imagingapparatus)，特别涉及用来制造有机发光显示器的激光感热成像装置。
技术介绍
一般在平板显示器中，有机发光显示器(OLED)具有1ms以下的快速响应速度、低功耗，并且是发射显示，使得它不存在视角问题，而且在不考虑尺寸大小的情况下用作显示运动画面的显示介质会更具优势。此外，它可以在低温下制造并且基于传统半导体工艺技术制造有机发光显示器的工艺也是很简单的，使得它被视为下一代平板显示器。根据制造有机发光二极管的材料和工艺不同，OLED可主要分为采用湿法工艺的聚合物型显示器和采用沉积工艺的小分子型显示器。在构图聚合物或小分子发射层(emission layer)的方法中，当采用喷墨印刷方法时，除发射层以外的有机层所用材料会受到限制，并且在基板上形成喷墨印刷的结构也会有麻烦。此外，在利用沉积工艺构图发射层的情况下，因为要用到金属掩模，在制造大尺寸器件时产生困难。因此，近年来发展了可用于替代上述构图方法的激光感热成像(laserinduced thermal imaging，LITI)方法。LITI方法是将光源产生的激光转换成热能的方法，其使得形成一图案的材料被转移到目标基板(target substrate)上以形成图案，为了进行这种方法，需要一个形成有转移层(transfer layer)的施主基板(donor substrate)、一个光源和一个受主基板(subject substrate)。按照LITI方法，施主基板覆盖住作为受体的基板，施主基板和所述基板被固定在一个平台上。一般来讲，转移层是一个对氧气和水蒸气十分敏感的有机层。这就是说，当该有机层暴露在氧气或水蒸气中时，有机层的寿命降低，或者当有机层包括发射层时其发光效率和寿命都会降低。有机发光显示器的寿命和发光效率会受到不利影响，从而考虑执行转移过程的装置内气氛是十分关键的。
技术实现思路
为解决与传统器件有关的上述问题，本专利技术通过在惰性气体的大气压力下制作LITI装置而提供了一种提高了有机发光显示器寿命和发光效率的LITI装置。通过提供能够在一个装置内执行红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)发射层的叠层(lamination)和转移的LITI装置，本专利技术还解决了与传统器件有关的上述问题。在根据本专利技术的一示范实施例中，LITI装置包括一个配置有基板的平台；一个用来传输施主基板的传输装置；一个用于叠层基板和施主基板的叠层器(laminator)；一个用于执行LITI的激光光学单元；和一个提供有惰性气体的大气压力的室(chamber)，平台、叠层器和激光光学单元被配置在该室中。惰性气体的大气压力(atmospheric pressure of the inert gas)可以包含10ppm以下的水蒸气浓度。惰性气体的大气压力可以包含10ppm以下的氧气浓度。基板被传输的平台和施主基板传输装置可以沿着彼此不同的方向移动。施主基板传输装置可以配置成适应于发射层的各种颜色进行区分。在根据本专利技术的另一示范实施例中，LITI装置包括一个布置有基板的平台，其在一恒定方向上移动；一个输送施主基板的传输装置，其沿不同于平台移动方向的方向移向平台，并被布置成适应于发射层的各种颜色进行区分；一个在LITI方法中用于叠层基板和施主基板的叠层器；以及一个用于执行LITI方法的激光光学单元。每一个施主基板传输装置都可被移送到在LITI装置的外部相连接的沉积装置中。附图说明下面参考其特定示范实施例及其相关的附图对本专利技术的前述和其他特征进行说明，在附图中图1A和图1B是根据本专利技术一实施例的LITI装置的剖面图；图2是图1B中的施主基板的截面剖视图；以及图3是用于表明图1B中转移过程的单位像素(unit pixel)的剖面图。具体实施例方式在下文中将参考示出本专利技术优选实施例的附图对本专利技术进行更加充分的说明。然而，本专利技术可以实施为不同形式，而不应解释为局限于本申请中所列举的实施例。反而，提供这些实施例是使得本申请所公开的技术方案更加充分和完整，并能使本领域的技术人员更加全面地了解本专利技术所要求保护的技术范围。在附图中，为了清楚起见，各层和区域的厚度被夸大了。在整个说明书中，相同的标记指示相同的元件。图1A和图1B是根据本专利技术一实施例的LITI装置的剖面图。参考图1A，在室10内存在平台400，基板200放置在平台400上，和用于将施主基板输送到基板200上的传输装置300a、300b与300c放置在室10内。基板200从与室10相连的装置20提供以装载基板。此外，施主基板传输装置300a、300b和300c被连接至形成与红色、绿色和蓝色发射层相适应的转移层的各自沉积装置30a、30b和30c，并将施主基板供给到室10中。图1B是沿图1A的I-I′线剖开的截面图。参考图1B，在室10内安置了用于叠层所述基板200与用于LITI的施主基板100的叠层器500和用于执行LITI的激光光学单元600。叠层器500可采用气动压机(gas press)、冠状压机(crown press)或辊子(roller)的加压装置。装有平台400、叠层器500和激光光学单元600的室10中提供了一种惰性气体的大气压。惰性气体的大气压可包含10ppm以下的水蒸汽浓度。替代地，惰性气体的大气压可包含10ppm以下的氧气浓度。因此，调整惰性气体气氛中氧气和水蒸汽的分压，这防止了外部气体流入室内。此外，可以保持室内的气体气氛以保护转移层(transfer layer)，于是这使得基板上的像素电极(pixel electrode)和有机层在构图工艺期间受到保护，从而可以延长包括发射层的有机层的寿命。再参考图1A和图1B，在其上输送基板的平台400和施主基板传输装置300在相互垂直的方向上移动。施主基板中的转移层140可以是一个发射层。适应于发射层的颜色，施主基板传输装置布置成相互区别开。另外，施主基板传输装置分别地在室10和外部沉积装置30a、30b和30c中移动。适应于发射层的红、绿和蓝色，沉积装置可被布置成彼此区分开。参考图1B，平台400上的基板200例如在室10内沿X方向移动。具有在沉积装置30a中沉积的发射层140a的施主基板100a通过传递装置300a被载入，并且施主基板100a移动到基板200上。基板200和施主基板100a在平台400上叠层，然后对其进行LITI加工并沿X方向移动。形成有发射层140b的施主基板100b移动到基板200上，其中在沉积装置30b中将发射层140b形成在施主基板100b上，从而生成另一种颜色的发射层，重复执行上述工艺以构图红、绿和蓝色发射层。图2和图3是在应用上述装置制造有机发光显示器的工艺中的单位像素剖面图。图2是一个施主基板剖面图，它详细显示了图1B中的施主基板100。参考图2，施主基板100由形成于底基板(base substrate)110上的多层构成，并具有底基板110、位于底基板110上的光热转换层(light-to-heatconversion layer)120、以及位于光热转换层上的转移层140。底基板110可以是经过装框的基板，而且可以由挠性材料或较硬的材本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种激光感热成像（ＬＩＴＩ）装置，包括：布置有一基板的一平台；用于输送一施主基板的一传输装置；将该基板和该施主基板叠层在一起的一叠层器；用于执行激光感热成像的一激光光学单元；及提供有惰性气体的大气压力 的一室，所述平台、所述叠层器和所述激光光学单元被布置在该室中。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：金茂显，陈炳斗，宋明原，李城宅，
申请(专利权)人：三星移动显示器株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
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