一种化学气相沉积炉炉盖结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种化学气相沉积炉炉盖结构，包括：炉体，所述炉体上设置有炉盖，所述炉盖的内壁固定连接有锥形凸环，所述炉体内壁的顶部固定连接有凹环，所述锥形凸环内开设有空腔，所述空腔的内壁滑动连接有限位环，所述限位环的中部固定连接有第一齿板，所述第一齿板的一端贯穿且延伸至锥形凸环的外部并与凹环的表面接触，所述齿板的表面套设有第一弹簧，所述齿板的一侧啮合有齿轮，所述齿轮的一侧啮合有第二齿板。本实用新型专利技术提供一种化学气相沉积炉炉盖结构，通过第一齿板、齿轮、第二齿板、密封凸环和密封凹槽配合使用，使得关闭炉盖时可以自动对炉盖与炉体之间进行密封，提高密封效果，降低炉体热量的损耗，保证工人的工作环境。作环境。作环境。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积炉炉盖结构


[0001]本技术涉及沉积炉相关
，尤其涉及一种化学气相沉积炉炉盖结构。

技术介绍

[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。
[0003]目前的化学气相沉积炉一般工作时的温度都比较高，由于炉盖与炉体之间通常由单层结构组成，若气密性不理想则容易泄露一部分热量，不仅增加了炉体的热损耗，还提高了炉体周围的环境温度，影响工人的工作环境，因此，有必要提供一种化学气相沉积炉炉盖结构解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种化学气相沉积炉炉盖结构，解决了由于炉盖与炉体之间通常由单层结构组成，若气密性不理想则容易泄露一部分热量，不仅增加了炉体的热损耗，还提高了炉体周围的环境温度，影响工人的工作环境，的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供的化学气相沉积炉炉盖结构，包括：炉体，所述炉体上设置有炉盖，所述炉盖的内壁固定连接有锥形凸环，所述炉体内壁的顶部固定连接有凹环，所述锥形凸环内开设有空腔，所述空腔的内壁滑动连接有限位环，所述限位环的中部固定连接有第一齿板，所述第一齿板的一端贯穿且延伸至锥形凸环的外部并与凹环的表面接触，所述齿板的表面套设有第一弹簧，所述齿板的一侧啮合有齿轮，所述齿轮的一侧啮合有第二齿板，所述第二齿板的一端固定连接有密封凸环，所述凹环的内弧面开设有密封凹槽，所述密封凹槽与密封凸环配合使用。
[0006]优选的，所述炉盖的表面固定连接有把手。
[0007]优选的，所述炉体上设置有转动件，所述转动件包括有固定件，所述固定件的一侧铰接有折板，所述折板的一端铰接有连接件，所述连接件与炉盖的表面固定连接。
[0008]优选的，所述炉体的一侧设置有锁扣。
[0009]优选的，所述炉体与炉盖均采用不锈钢材料制备。
[0010]优选的，所述炉盖的底部开设有环形槽，所述环形槽的内壁对称开设有密封槽，所述炉体的顶部固定连接有密封圈，所述密封圈的两侧均开设有固定槽，所述固定槽的内壁固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的一端固定连接有密封环，所述密封环的一侧与密封槽的内壁接触。
[0011]优选的，所述密封圈和环形槽的截面均为三角形。
[0012]与相关技术相比较，本技术提供的化学气相沉积炉炉盖结构具有如下有益效果：
[0013]本技术提供一种化学气相沉积炉炉盖结构，通过第一齿板、齿轮、第二齿板、密封凸环和密封凹槽配合使用，使得关闭炉盖时可以自动对炉盖与炉体之间进行密封，提高密封效果，降低炉体热量的损耗，保证工人的工作环境。
附图说明
[0014]图1为本技术提供的化学气相沉积炉炉盖结构的第一实施例的结构示意图；
[0015]图2为图1所示的整体的剖视图；
[0016]图3为图2所示的A部的放大图；
[0017]图4为图2所示的B部的放大图。
[0018]图中标号：1、炉体，2、炉盖，3、转动件，31、固定件，32、折板，33、连接件，4、把手，5、锁扣，6、锥形凸环，7、凹环，8、空腔，9、限位环，10、第一齿板，11、第一弹簧，12、齿轮，13、第二齿板，14、密封凸环，15、密封凹槽，16、环形槽，17、密封槽，18、密封圈，19、固定槽，20、第二弹簧，21、密封环。
具体实施方式
[0019]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。
[0020]请结合参阅图1
‑
4，其中，图1为本技术提供的化学气相沉积炉炉盖结构的第一实施例的结构示意图；图2为图1所示的整体的剖视图；图3为图2所示的A部的放大图；图4为图2所示的B部的放大图。一种化学气相沉积炉炉盖结构，包括：炉体1，所述炉体1上设置有炉盖2，所述炉盖2的内壁固定连接有锥形凸环6，所述炉体1内壁的顶部固定连接有凹环7，所述锥形凸环6内开设有空腔8，所述空腔8的内壁滑动连接有限位环9，所述限位环9的中部固定连接有第一齿板10，所述第一齿板10的一端贯穿且延伸至锥形凸环6的外部并与凹环7的表面接触，所述齿板10的表面套设有第一弹簧11，所述齿板10的一侧啮合有齿轮12，所述齿轮12通过转轴与空腔8的内壁转动连接，所述齿轮12的一侧啮合有第二齿板13，所述第一齿板10与第二齿板13之间水平交错设置，所述第二齿板13的一端固定连接有密封凸环14，所述凹环7的内弧面开设有密封凹槽15，所述密封凹槽15与密封凸环14配合使用。
[0021]所述密封凸环14具有弹性，使其移动时会由于其性质导致拉伸。
[0022]所述炉盖2的表面固定连接有把手4，方便打开或关闭炉盖2。
[0023]所述炉体1上设置有转动件3，所述转动件3包括有固定件31，所述固定件31的一侧铰接有折板32，所述折板32的一端铰接有连接件33，所述连接件33与炉盖2的表面固定连接，通过设置有转动件3用于限位炉盖2的运动。
[0024]所述炉体1的一侧设置有锁扣5，锁扣5用于炉体1和炉盖2之间的关闭与开启，为现有技术在此不再赘述。
[0025]所述炉体1与炉盖2均采用不锈钢材料制备，不锈钢材料为#304不锈钢，具有抗腐能力强、易于清洁的优点。
[0026]所述炉盖2的底部开设有环形槽16，所述环形槽16的内壁对称开设有密封槽17，所述炉体1的顶部固定连接有密封圈18，所述密封圈18的两侧均开设有固定槽19，所述固定槽19的内壁固定连接有第二弹簧20，所述第二弹簧20的一端固定连接有密封环21，所述密封环21的一侧与密封槽17的内壁接触。
[0027]所述密封圈18和环形槽16的截面均为三角形。
[0028]本技术提供的化学气相沉积炉炉盖结构的工作原理如下：
[0029]使用时，首先使炉盖2在转动件3的作用下旋转，使炉盖2靠近炉体1，再使用锁扣5对炉盖2与炉体1之间进行关闭，使锥形凸环6嵌入在凹环7内并与其贴合，且凹环7与第一齿板10抵触，使第一齿板10向上移动，使限位环9挤压第一弹簧11，并使第一齿板10通过齿轮12带动第二齿板13一端的密封凸环14插入密封凹槽15内，自动对炉盖2与炉体1之间进行密封，同时会使密封圈18嵌入环形槽16内，在第二弹簧20的作用下，使密封环21与密封槽17紧密接触，进一步进行密封，该结构起到多重密封效果，降低炉体热量的损耗，保证工人的工作环境。
[0030]与相关技术相比较，本技术提供的化学气相沉积炉炉盖结构具有如下有益效果：
[0031]本技术提供一种化学气相沉积炉炉盖结构，通过第一齿板10、齿轮12、第二齿板13、密封凸环14和密封凹槽15配合使用，使得关闭炉盖2时可以自动对炉盖2与炉体1之间进行密封，提高密封效果，降本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉炉盖结构，其特征在于，包括：炉体，所述炉体上设置有炉盖，所述炉盖的内壁固定连接有锥形凸环，所述炉体内壁的顶部固定连接有凹环，所述锥形凸环内开设有空腔，所述空腔的内壁滑动连接有限位环，所述限位环的中部固定连接有第一齿板，所述第一齿板的一端贯穿且延伸至锥形凸环的外部并与凹环的表面接触，所述齿板的表面套设有第一弹簧，所述齿板的一侧啮合有齿轮，所述齿轮的一侧啮合有第二齿板，所述第二齿板的一端固定连接有密封凸环，所述凹环的内弧面开设有密封凹槽，所述密封凹槽与密封凸环配合使用。2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉炉盖结构，其特征在于，所述炉盖的表面固定连接有把手。3.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉炉盖结构，其特征在于，所述炉体上设置有转动件，所述转动件包括有...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺鹏博，周明，
申请(专利权)人：苏州铠欣半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：