一种单晶炉保温室保温机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉保温室保温机构，属于单晶炉领域，一种单晶炉保温室保温机构，包括炉体，所述炉体内壁靠近顶面处固定连接有安装板，所述安装板底面固定连接有保温桶，所述保温桶侧壁上设置有导热机构，所述保温桶内壁上下对称固定连接有两个固定板，所述固定板之间固定连接有加热圈，所述加热圈内侧设置有坩埚，所述导热机构包括若干个通槽，所述通槽开设在保温桶内壁上，所述通槽侧壁靠近底面处开设有通孔，所述保温桶外壁位于通孔处固定连接有导流管，它可以实现，通过设置导流机构可在硅材料生长完毕后，对其表面进行适量降温处理，一方面促进其表面光滑度和成型质量，另一方面方便外部吊装机构将其取出。另一方面方便外部吊装机构将其取出。另一方面方便外部吊装机构将其取出。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉保温室保温机构


[0001]本技术涉及单晶炉领域，更具体地说，涉及一种单晶炉保温室保温机构。

技术介绍

[0002]单晶炉在对硅材料加热进行直拉法生长制备过程中，对于单晶炉内保温室的保温效果控制尤为重要，保温室可在硅材料进行生长时提供稳定的高温环境，避免因阶梯温差或热应力等因素影响硅材料的制备。
[0003]经专利检索发现，公开号：CN216129703U的中国专利公开了一种直拉单晶炉保温装置，该专利通过设置多层真空玻璃形成的真空腔既可承受导流筒组件的热胀压力，还可承受热场中加热器发出的高温辐射，从而可提高保温效果；
[0004]但在实际应用中，由于单晶炉内的温度最高可达到上千摄氏度，而真空玻璃所能承受的温度普遍在一千摄氏度以下，在长期使用过程中，真空玻璃还会存在爆裂的可能，影响硅材料的加热和制备，而且硅材料在通过直拉法生长完毕后，不便于控制单晶炉内温度，对其进行适量降温，促使其表面更加光滑，进而降低在实际中的使用寿命。

技术实现思路

[0005]1.要解决的技术问题
[0006]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种单晶炉保温室保温机构，它可以实现，通过设置导流机构可在硅材料生长完毕后，对其表面进行适量降温处理，一方面促进其表面光滑度和成型质量，另一方面方便外部吊装机构将其取出。
[0007]2.技术方案
[0008]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。
[0009]一种单晶炉保温室保温机构，包括炉体，所述炉体内壁靠近顶面处固定连接有安装板，所述安装板底面固定连接有保温桶，所述保温桶侧壁上设置有导热机构，所述保温桶内壁上下对称固定连接有两个固定板，所述固定板之间固定连接有加热圈，所述加热圈内侧设置有坩埚。
[0010]进一步的，所述导热机构包括若干个通槽，所述通槽开设在保温桶内壁上，所述通槽侧壁靠近底面处开设有通孔，所述保温桶外壁位于通孔处固定连接有导流管，所述炉体侧壁开设有若干个进气孔，所述导流管与进气孔相连通，所述进气孔内均螺纹连接有螺栓。
[0011]进一步的，所述保温桶内壁靠近加热圈处固定连接有保温层。
[0012]进一步的，所述炉体内壁固定连接有环形隔热垫。
[0013]进一步的，所述炉体内腔顶面固定连接有导流筒，所述导流筒呈向下倾斜设置，所述导流筒与安装板固定连接。
[0014]进一步的，所述通槽截面呈U形设置，所述通槽侧壁靠近底面处与通孔均呈弧形设置，所述通槽侧壁靠近底面处与通孔交汇处呈人字形设置。
[0015]3.有益效果
[0016]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0017](1)本方案通过保温桶、加热圈和导流机构等之间的相互配合，当硅材料在直拉生长过程中，加热圈产生的高温除了直接加热坩埚外，还可通过通槽将部分热量传递在坩埚上侧，对直拉时的硅材料进行加热保温，减少因阶梯温度变化所造成的直拉不良，另外，当硅材料直拉完毕后，可通过通孔进入的气流降低炉体内局部高温，对硅材料表面进行适量降温，促进硅材料的成型质量。
附图说明
[0018]图1为本技术的立体图；
[0019]图2为本技术的结构示意图；
[0020]图3为本技术图2中的A处放大图。
[0021]图中标号说明：
[0022]1、炉体；2、安装板；3、保温桶；4、通槽；5、导流管；6、进气孔；7、螺栓；8、固定板；9、加热圈；10、坩埚；11、保温层；12、环形隔热垫；13、导流筒；14、通孔。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]实施例1：
[0025]请参阅图1
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3，一种单晶炉保温室保温机构，包括炉体1，炉体1内壁靠近顶面处固定连接有安装板2，安装板2底面固定连接有保温桶3，保温桶3侧壁上设置有导热机构，保温桶3内壁上下对称固定连接有两个固定板8，固定板8之间固定连接有加热圈9，加热圈9内侧设置有坩埚10。
[0026]参阅图2和图3，导热机构包括若干个通槽4，通槽4开设在保温桶3内壁上，通槽4侧壁靠近底面处开设有通孔14，保温桶3外壁位于通孔14处固定连接有导流管5，炉体1侧壁开设有若干个进气孔6，导流管5与进气孔6相连通，进气孔6内均螺纹连接有螺栓7，通槽4截面呈U形设置，通槽4侧壁靠近底面处与通孔14均呈弧形设置，通槽4侧壁靠近底面处与通孔14交汇处呈人字形设置，利用人字形设置，可便于热气流与冷气流进行交汇。
[0027]通过保温桶3、加热圈9和导流机构等之间的相互配合，当硅材料在直拉生长过程中，加热圈9产生的高温除了直接加热坩埚10外，还可通过通槽4将部分热量传递在坩埚10上侧，对直拉时的硅材料进行加热保温，减少因阶梯温度变化所造成的直拉不良，另外，当硅材料直拉完毕后，可通过通孔14进入的气流降低炉体1内局部高温，对硅材料表面进行适量降温，促进硅材料的成型质量。
[0028]参阅图2，保温桶3内壁靠近加热圈9处固定连接有保温层11，其中，保温层11采用无机非金属材料(硅酸铝质、高铝质、镁质、铬镁质等，可根据实际需求选取合适的材料)，具有良好的耐高温性能。
[0029]参阅图2，炉体1内壁固定连接有环形隔热垫12，其中，环形隔热垫12采用气凝胶毡
材质，气凝胶毡具有柔软﹑易裁剪﹑密度小、无机防火﹑整体疏水、绿色环保等特性，其可替代玻璃纤维制品、石棉保温毡、硅酸盐纤维制品等不环保、保温性能差的传统柔性保温材料，加热圈9加热坩埚10所产生的高温，在经过保温桶3保温隔离后，气凝胶毡所承受的温度低于1000摄氏度。
[0030]参阅图2，炉体1内腔顶面固定连接有导流筒13，导流筒13呈向下倾斜设置，导流筒13与安装板2固定连接，通过设置有导流筒13，一方面可在直拉时对硅材料进行定位处理，另一方面通槽4吹出的热气流可加热导流筒13的温度，使得炉体1内部阶梯温度不变化不大，进而可起到保温效果。
[0031]在使用时：将硅材料加热坩埚10中进行加热，再通过外部设备进行直拉，在利用加热圈9对坩埚10进行加热过程中，部分热流通过通槽4传递进入坩埚10上侧，一方面对直拉时的硅材料进行加热，使得硅材料周围温度保持在正常温度值内，另一方面对坩埚10上侧起到保温效果，减少因空间变化所造成的阶梯温度变化，影响材料的成型质量，当硅材料成型完毕后，在吊离炉体1前，可拧开螺栓7，外界气流通过通孔14进入通槽4内，外界冷气流与热气流在通槽4内混合，使得降温后的气流吹在硅材料表面进行适量降温，促进硅材料的成型质量，进而提升炉体1的使用寿命。
[0032]以上所述，仅为本实用新本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉保温室保温机构，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)内壁靠近顶面处固定连接有安装板(2)，所述安装板(2)底面固定连接有保温桶(3)，所述保温桶(3)侧壁上设置有导热机构，所述保温桶(3)内壁上下对称固定连接有两个固定板(8)，所述固定板(8)之间固定连接有加热圈(9)，所述加热圈(9)内侧设置有坩埚(10)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉保温室保温机构，其特征在于：所述导热机构包括若干个通槽(4)，所述通槽(4)开设在保温桶(3)内壁上，所述通槽(4)侧壁靠近底面处开设有通孔(14)，所述保温桶(3)外壁位于通孔(14)处固定连接有导流管(5)，所述炉体(1)侧壁开设有若干个进气孔(6)，所述导流管(5)与进气孔(6)相连通，所述进气孔(6...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡璋榕，郑珠兰，
申请(专利权)人：福建鑫睿晶学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：