【技术实现步骤摘要】
一种光伏行业氟化氢废水资源化利用系统装置和方法
[0001]本专利技术涉及环保
,具体为一种光伏行业氟化氢废水资源化利用系统装置和方法。
技术介绍
[0002]目前,电子级氢氟酸主要运用在集成电路、太阳能光伏和液晶显示屏等领域,其中第一大应用市场是集成电路领域,约占电子级氢氟酸总消耗量的47.2%;其次是太阳能光伏领域,占比34.5%;再次是液晶显示器领域,占18.3%。近年来,随着中国微电子工业的高速发展,逐步成为全球较大的液晶显示器(LCD)产业基地,用于集成电路(IC)、薄膜液晶显示器(TFT
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LCD) 和半导体等清洗和蚀刻剂的电子化学品的需求越来越大,国内优势企业的竞争力正在不断增强,长期成长空间巨大。
[0003]光伏、半导体行业中产生的氢氟酸废水污染性强,对环境造成的破坏性较大,目前主流处理工艺为在氢氟酸废水处理过程中,废水依次经过氢氟酸废水收集池,废水处理泵进入预处理水池,调整废水pH至 2.4
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2.6。自预处理水池排出的废水经过多介质过滤器去除其中的悬浮物和有机物后进入一阶、二阶反渗透系统以除去废水中的氟硅酸和氟离子,再对处理后的废水进行处理,这种处理工艺仅针对废水进行处理,对其中的有效物氟硅酸及氢氟酸无法进行回收再利用。另外,常用的化学沉淀法使用消石灰中和氢氟酸的方法进行沉淀和脱水过程和装置需要占用较大空间,成本高,实施不方便,处理过程繁琐,并且会产生大量污泥,最终即使在脱水后也存在大量废弃物需要处理的问题,不符合绿色环保理念,无法对氟硅酸及氢氟 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光伏行业氟化氢废水资源化利用系统装置,其特征在于,包括氟硅酸反应装置、氢氟酸精制装置和热蒸汽压缩再生装置;所述氟硅酸反应装置通过盐沉降废水中的氟硅酸;具体的,所述氟硅酸反应装置(1)底部设有第一采出口(101),其侧面依次连接设有采出泵(2)和离心机(3),所述采出泵(2)吸入口和排出口通过管路分别与所述第一采出口(101)和离心机(3)进口相连通,所述离心机(3)上清液出口通过管路与所述氢氟酸精制装置相连通,其底部滤渣出口通过管路与所述氟硅酸盐精制装置相连通;所述氢氟酸精制装置对废水中的氢氟酸进行浓缩回收;具体的,所述氢氟酸精制装置包括换热器(4)、精馏塔(5)、回流罐(6)、塔底物料循环泵(14)和回流泵(16);所述换热器(4)进口、出口分别通过管路与所述离心机(3)上清液出口和所述精馏塔(5)下部进料口相连通;所述精馏塔(5)塔底通过管路与所述塔底物料循环泵(14)相连通,精馏塔(5)塔顶气相冷凝后液体通过回流罐(6)和回流泵(16)由精馏塔塔顶回流口(502)回流到精馏塔(5)中;所述热蒸汽压缩再生装置用于将所述蒸馏塔(5)产生的蒸汽经热蒸汽压缩再生装置回收利用。2.根据权利要求1所述的一种光伏行业氟化氢废水资源化利用系统装置,其特征在于,所述热蒸汽压缩再生装置包括塔顶降膜蒸发器(7)、塔顶气液分离器(8)、蒸汽压缩机(9)、塔底降膜蒸发器(10)、塔底气液分离器(11)、塔顶热水循环泵(12)、过热蒸汽降温器(13)和塔底热水输送泵(17);所述塔顶降膜蒸发器(7)物料进口、物料出口和冷媒出口分别通过管路与所述精馏塔(5)塔顶出气口、回流罐(6)进口和塔顶气液分离器(8)相连通;所述塔顶气液分离器(8)底部的饱和热水通过所述塔顶热水循环泵(12)与塔顶降膜蒸发器冷媒进口(702)通过管路相连通,其内部蒸汽通过管路经塔顶气液分离器蒸汽出口(801)依次经由经蒸汽压缩机(9)和过热蒸汽降温器(13)处理后,进入所述塔底气液分离器(11);所述精馏塔(5)塔底液料出口通过管路经所述塔底物料循环泵(14)与所述塔底降膜蒸发器(10)连通,所述塔底降膜蒸发器(10)物料出口通过管路与所述精馏塔(5)下部气相入口相连通;所述塔底降膜蒸发器(10)蒸汽出口、进口分别通过管路与所述塔底气液分离器(11)蒸汽进口、出口循环连通;所述塔底气液分离器(11)内的热水通过管路经热水输送泵(17)输送至塔顶气液分离器(8)。3.根据权利要求1所述的一种光伏行业氟化氢废水资源化利用系统装置,其特征在于,所述精馏塔(5)内、中下部还设有集液盘,其侧面设有与所述集液盘相配合的精馏塔产品侧线采出口(501);所述精馏塔(5)塔底废液通过塔底采出泵(15)排出。4.根据权利要求1所述的一种光伏行业氟化氢废...
【专利技术属性】
技术研发人员:颜企明,刘顺江,冯加亮,刘莱琛,冯文秀,
申请(专利权)人:深圳市超纯环保股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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