一种光刻机自动定位工装制造技术

本实用新型专利技术涉及光刻机技术领域，且公开了一种光刻机自动定位工装，包括移动块，所述移动块后端外表面固定连接有移动驱动连接块，所述移动块下端内表面开设有滑槽，所述移动块上滑槽下端内表面滑动连接有转块，所述转块上端外表面固定连接有衬底连接盘，所述移动块右侧外表面固定连通有放置块,所述放置块下端内表面固定安装有电机。该光刻机自动定位工装，具备可以在进横向、纵向移动的同时可以进行旋转等优点，解决了衬垫通常是采用x，y轴横向或者纵向移动，不能将衬垫进行旋转，使得在定位位置在衬底斜角位置时，衬底需要先横向移动然后再纵向移动，从而使得衬底在进行位置调节时效率较低的问题。率较低的问题。率较低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机自动定位工装


[0001]本技术涉及光刻机
，具体为一种光刻机自动定位工装。

技术介绍

[0002]针对已知的光刻机定位结构，光刻机在运作的过程中通常是通过传感器控制底部衬垫进行移动和定位，但是衬垫通常是采用x，y轴横向或者纵向移动，不能将衬垫进行旋转，使得在定位位置在衬底斜角位置时，衬底需要先横向移动然后再纵向移动，从而使得衬底在进行位置调节时效率较低。
[0003]在使用过程中由于衬垫通常是采用x，y轴横向或者纵向移动，不能将衬垫进行旋转，使得在定位位置在衬底斜角位置时，衬底需要先横向移动然后再纵向移动，从而使得衬底在进行位置调节时效率较低，所以我们急需一种在进横向、纵向移动的同时可以进行旋转的自动定位工装，从而有利于提高定位工作的效率。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种光刻机自动定位工装，具备可以在进横向、纵向移动的同时可以进行旋转等优点，解决了衬垫通常是采用x，y轴横向或者纵向移动，不能将衬垫进行旋转，使得在定位位置在衬底斜角位置时，衬底需要先横向移动然后再纵向移动，从而使得衬底在进行位置调节时效率较低的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种光刻机自动定位工装，包括移动块，所述移动块后端外表面固定连接有移动驱动连接块，所述移动块下端内表面开设有滑槽，所述移动块上滑槽下端内表面滑动连接有转块，所述转块上端外表面固定连接有衬底连接盘，所述移动块右侧外表面固定连通有放置块。
[0008]优选的，所述放置块下端内表面固定安装有电机，所述电机上端外表面固定连接有齿轮，所述齿轮上端外表面固定连接有内块，所述放置块右侧外表面开设有散热孔。
[0009]优选的，所述衬底连接盘为中空结构，且其呈对称分布，所述放置块的形状为长方形，通过设置中空衬底连接盘使得可以将衬底安装在衬底连接盘内部。
[0010]优选的，所述衬底连接盘下端外表面与移动块活动连接。
[0011]优选的，所述衬底连接盘外圆面与齿轮啮合连接，所述衬底连接盘的形状为圆形，通过衬底连接盘和齿轮啮合连接，使得衬底连接盘可以随着齿轮的转动而转动。
[0012]优选的，所述内块上端外表面与放置块转动连接，所述放置块上散热孔的数量为若干个，通过开设若干个散热孔，使得电机产生的热空气可以从本装置内部散出。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种光刻机自动定位工装，具备以下有益效果：
[0014]本技术的设计通过安装电机、齿轮、衬底连接盘、转块组成旋转机构，使得在
调节衬底位置时，当目标位置为斜角时可以直接通过电机带动衬底连接盘进行旋转到达目标位置，从而使得效率更高。
附图说明
[0015]图1为本技术整体结构示意图；
[0016]图2为本技术整体结构切面图；
[0017]图3为本技术整体结构俯视图。
[0018]其中：1、移动块；2、移动驱动连接块；3、滑槽；4、转块；5、衬底连接盘；6、电机；7、齿轮；8、内块；9、散热孔；10、放置块。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]实施例1，请参阅图1
‑
3所示，一种光刻机自动定位工装，包括移动块1，所述移动块1后端外表面固定连接有移动驱动连接块2，所述移动块1下端内表面开设有滑槽3，所述移动块1上滑槽3下端内表面滑动连接有转块4，所述转块4上端外表面固定连接有衬底连接盘5，所述移动块1右侧外表面固定连通有放置块10，所述放置块10下端内表面固定安装有电机6，所述电机6上端外表面固定连接有齿轮7，所述齿轮7上端外表面固定连接有内块8，所述放置块10右侧外表面开设有散热孔9，所述衬底连接盘5为中空结构，且其呈对称分布，所述放置块10的形状为长方形，所述衬底连接盘5下端外表面与移动块1活动连接，所述衬底连接盘5外圆面与齿轮7啮合连接，所述衬底连接盘5的形状为圆形，所述内块8上端外表面与放置块10转动连接，所述放置块10上散热孔9的数量为若干个。
[0021]工作原理；衬底放置于衬底连接盘5中，光刻机在运作的过程中，当衬底需要移动到目标位置时，移动驱动连接块2带动移动块1移动，同时电机6开始运作，放置块10上电机6输出端带动齿轮7顺时针或者逆时针进行转动，同时内块8在放置块10中转动，使得齿轮7带动衬底连接盘5进行旋转，使得衬底连接盘5下端的转块4在移动块1内部滑槽3中进行旋转，从而使得衬底连接盘5带动衬底进行旋转，进而达到移动驱动连接块2带动移动块1进行横向、纵向移动的同时电机6可以带动衬底连接盘5进行旋转，从而更快的进行定位，在本装置运作的同时，电机6产生的热空气可从散热孔9中飘出本装置。
[0022]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机自动定位工装，包括移动块(1)，其特征在于：所述移动块(1)后端外表面固定连接有移动驱动连接块(2)，所述移动块(1)下端内表面开设有滑槽(3)，所述移动块(1)上滑槽(3)下端内表面滑动连接有转块(4)，所述转块(4)上端外表面固定连接有衬底连接盘(5)，所述移动块(1)右侧外表面固定连通有放置块(10)。2.根据权利要求1所述的一种光刻机自动定位工装，其特征在于：所述放置块(10)下端内表面固定安装有电机(6)，所述电机(6)上端外表面固定连接有齿轮(7)，所述齿轮(7)上端外表面固定连接有内块(8)，所述放置块(10)右侧外表面开设有散热孔(9)...

【专利技术属性】
技术研发人员：周杨，葛镇徽，
申请(专利权)人：合肥远光机电科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：