一种抽屉式的晶元测试探针台电箱结构制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆测试探针台技术领域，且特别涉及了一种抽屉式的晶元测试探针台电箱结构，包括机壳，所述机壳通过线性组件连接有移动架，所述机壳的外壁设置有驱动件和可上下升降的移动件。该抽屉式的晶元测试探针台电箱结构，通过设置移动架将探针台内的电气组件与机壳分离，而线性组件配合导轮可使移动架沿着线性组件的轴线平稳移动，起到限制移动架移动方向的作用，而当移动架与机壳闭合后，在进一步设置的移动件、涨锥与反力件相互配合的作用下，可对移动架进行限位，使得移动架与机壳的相对侧紧密贴合，以起到防止移动架晃动的作用，可以避免探针卡的探针在与晶圆焊点接触时发生扰动，尽可能保证了探针测试结果的准确性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种抽屉式的晶元测试探针台电箱结构


[0001]本技术涉及晶圆测试探针台领域，具体涉及一种晶元测试探针台的电箱结构。

技术介绍

[0002]晶圆探针测试也被称为中间测试，它是集成电路生产中的重要一环，晶圆测试的目的就是确保在芯片封装前，尽可能把坏的芯片筛选出来，以节约封装费用，保证最终产品的良品率，晶圆探针测试的主要设备有探针测试台、探针测试机和探针测试卡三部分，其中探针测试台包括外部机壳和内部组件，内部组件由载物台、光学元件、探针卡、射频探针、校准、探针夹具及电缆组件和定位器等组成，这些内部组件均安装在探针台机壳的内部，并通过紧固件与机壳连接。
[0003]晶圆探针台需多种光电组件配合工作才能正常运行，而这些光电组件的线路开关、保护器及电压电流监测组件等均会安装在电箱中，当探针台出现线路故障时，操作人员需对电箱内部的各种线路开关进行检修，但现有探针台的电箱多固定安装在机壳内部，这就导致了维护人员难以快速对电箱内部器件进行检查，有时甚至需要拆下机壳外板，才能准确找到故障线路，所以需要提出一种抽屉式探针台的电箱结构以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种分体式设计，便于维护人员检查修理的晶元测试探针台电箱结构。
[0005]本技术解决上述问题所采用的技术方案是：一种抽屉式的晶元测试探针台电箱结构，包括机壳，所述机壳通过线性组件连接有移动架，所述机壳的外壁设置有驱动件和可上下升降的移动件，所述移动件的侧表面设置有齿板和涨锥，所述驱动件的输出轴通过驱动轮与齿板连接，所述移动架的外壁设置有反力件，所述反力件顶部与涨锥对应的位置开设有锥形槽，所述涨锥与锥形槽的内部插接。
[0006]作为本技术所述的一种抽屉式的晶元测试探针台电箱结构优选方案，其中：所述机壳的底部设置有导轮，所述线性组件为直线导轨副。
[0007]作为本技术所述的一种抽屉式的晶元测试探针台电箱结构优选方案，其中：所述驱动件包括与机壳外壁固定连接安装壳，所述安装壳的内部通过输出轴连接有蜗轮，所述安装壳的内部设置有与蜗轮啮合的蜗杆，所述蜗杆远离机壳的一端贯穿安装壳的内壁并延伸至机壳的外部。
[0008]作为本技术所述的一种抽屉式的晶元测试探针台电箱结构优选方案，其中：所述移动架包括背板，所述背板的侧面设置有安装板，所述背板通过斜拉件与安装板连接。
[0009]作为本技术所述的一种抽屉式的晶元测试探针台电箱结构优选方案，其中：所述移动件为杆件，所述涨锥固定套接在杆件上，所述涨锥的轴心线不与杆件的轴心线重合，且所述涨锥轴心线位于机壳侧面与杆件轴心线之间。
[0010]本技术与现有技术相比，具有以下优点和效果：
[0011]该抽屉式的晶元测试探针台电箱结构，通过设置移动架将探针台内的电气组件与机壳分离，而线性组件配合导轮可使移动架沿着线性组件的轴线平稳移动，起到限制移动架移动方向的作用，而当移动架与机壳闭合后，在进一步设置的移动件、涨锥与反力件相互配合的作用下，可对移动架进行限位，使得移动架与机壳的相对侧紧密贴合，以起到防止移动架晃动的作用，可以避免探针卡的探针在与晶圆焊点接触时发生扰动，尽可能保证了探针测试结果的准确性。
附图说明
[0012]图1是本技术实施例的结构示意图。
[0013]图2是本技术图1中A处的放大图。
[0014]图3是本技术图1中B处的放大图。
[0015]图4是本技术图1中C处的放大图。
[0016]图5是本技术实施例剖视图。
[0017]图6是本技术实施例反力件的结构示意图。
[0018]图7是本技术实施例移动架的结构示意图。
[0019]图8是本技术实施例驱动件的结构示意图。
[0020]其中：1、机壳；2、移动架；201、背板；202、安装板；203、斜拉件；3、线性组件；4、导轮；5、反力件；6、安装座；7、移动件；8、涨锥；9、齿板；10、驱动件；1001、安装壳；1002、蜗杆；1003、蜗轮；11、驱动轮；12、锥形槽。
具体实施方式
[0021]下面结合附图并通过实施例对本技术作进一步的详细说明，以下实施例是对本技术的解释而本技术并不局限于以下实施例。
[0022]参见图1
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图8，本实施例提供了一种抽屉式的晶元测试探针台电箱结构，包括机壳(1)，机壳1由钣金拼装而成，它是探针台的外部结构，机壳1的后侧为敞开式结构，所述机壳(1)通过线性组件(3)连接有移动架(2)，探针台的内部组件包括载物台、光学元件、探针卡、射频探针、校准、探针夹具及电缆组件和定位器等均安装在移动架2上，具体安装方式可根据设备组件的形状、尺寸及功能进行对应的安装。
[0023]其中，所述移动架(2)包括背板(201)，背板201的形状与尺寸与机壳1后侧的敞口相适配，当背板201闭合后，机壳1内部处于相对封闭环境，所述背板(201)的侧面设置有两个以上的安装板(202)，安装板202上可根据使用需求开设孔洞与安装槽，以满足探针台内部组件的安装需求，所述背板(201)通过斜拉件(203)与安装板(202)连接，斜拉件203增强了安装板202与背板201的连接强度和整体性，使安装板202具有更大的承载能力。
[0024]其中，线性组件3可以采用直线导轨副，例如，山东博特精工有限公司生产的型号为LG
‑
KL/CKL的直线导轨副，直线导轨副的导轨与机壳1内底壁固定连接，而最下侧安装板202的底部则与直线导轨副的滑台连接。需要说明的是，上述举例仅仅是为了充分公开本专利技术实施例，不能理解为对其他可实现方案的排他性限定。
[0025]所述机壳(1)的外壁设置有驱动件(10)和安装座6，安装座6中安装有可上下升降
的移动件(7)，而移动件(7)为杆件，在杆件的两端的均设有限位件，在图中未画出，可以避免杆件与安装座6分离。
[0026]其中，所述驱动件(10)包括与机壳(1)外壁固定连接安装壳(1001)，所述安装壳(1001)的内部通过输出轴连接有蜗轮(1003)，所述安装壳(1001)的内部设置有与蜗轮(1003)啮合的蜗杆(1002)，所述蜗杆(1002)远离机壳(1)的一端贯穿安装壳(1001)的内壁并延伸至机壳(1)的外部，且蜗杆(1002)位于安装壳1001外部的一端安装有旋钮，通过拧动旋钮可以控制移动件7升降。
[0027]所述移动件(7)的侧表面设置有齿板(9)和涨锥(8)。
[0028]其中，所述涨锥(8)固定套接在杆件上，所述涨锥(8)的轴心线不与杆件的轴心线重合，且所述涨锥(8)轴心线位于机壳(1)侧面与杆件轴心线之间。
[0029]所述驱动件(10)的输出轴通过驱动轮(11)与齿板(9)连接，驱动轮11位于安装壳1001的外部，且驱动轮11为齿轮，驱动轮11与齿板9啮合连接，所述移动架(2)的外壁设置有反本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抽屉式的晶元测试探针台电箱结构，包括机壳(1)，其特征在于：所述机壳(1)通过线性组件(3)连接有移动架(2)，所述机壳(1)的外壁设置有驱动件(10)和可上下升降的移动件(7)，所述移动件(7)的侧表面设置有齿板(9)和涨锥(8)，所述驱动件(10)的输出轴通过驱动轮(11)与齿板(9)连接，所述移动架(2)的外壁设置有反力件(5)，所述反力件(5)顶部与涨锥(8)对应的位置开设有锥形槽(12)，所述涨锥(8)与锥形槽(12)的内部插接。2.根据权利要求1所述的一种抽屉式的晶元测试探针台电箱结构，其特征在于：所述机壳(1)的底部设置有导轮(4)，所述线性组件(3)为直线导轨副。3.根据权利要求2所述的一种抽屉式的晶元测试探针台电箱结构，其特征在于：所述驱动件(10)包括与机壳(1)外壁固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕孟光，
申请(专利权)人：安徽京元科技有限公司，
类型：新型
国别省市：