管道模块和包括所述管道模块的老化室设备制造技术

一种管道模块，包括：管道，被配置成提供从腔室框架外部吸入的流体流过的通道；排放单元，被配置成引导所述流体的流动，使得吸入所述管道中的所述流体朝向排列在所述腔室框架中的电子元件排放，所述排放单元相对于所述管道在上下方向上可移动地被支撑。道在上下方向上可移动地被支撑。道在上下方向上可移动地被支撑。

【技术实现步骤摘要】
管道模块和包括所述管道模块的老化室设备


[0001]本公开涉及一种管道模块和包括所述管道模块的老化室设备。

技术介绍

[0002]老化室设备是一种支持对通过制造工程制造的半导体器件等电子元件进行测试并根据测试结果对电子元件进行分类的设备。老化室设备可以通过将电子元件电连接到测试仪来测试诸如半导体器件的电子元件。
[0003]同时，可以对通过检查设备进行电气检查并被确定为良品的电子元件执行用于可靠性验证的老化测试。在老化测试过程中，通过对电子元件施加热应力和电应力以检测其中的缺陷。将电子元件装载到老化板上进行老化测试过程，且所述测试过程是在电子元件被安置于老化板上的状态下进行的。此外，在完成测试过程后，将电子元件从老化板上卸载并根据测试结果进行分类。
[0004]老化室设备可以通过老化测试将具有相同温度的高温空气施加到电子元件上来检测电子元件中的缺陷。
[0005]在传统的老化室设备中，用于将高温空气施加到电子元件的送风机被设置在腔室框架内。换句话说，送风机与老化板一同放置在一个封闭空间中。随着老化测试的进行，送风机的温度逐渐升高，并且具有比需要施加到电子元件的空气温度更高温度的空气被施加到电子元件。因此，当施加到电子元件的温度高于正常测试所需的温度时，难以将电子元件放置在目标测试环境中。
[0006]当在未提供目标测试条件的状态下进行老化测试时，难以获得准确的电子元件老化测试结果值。

技术实现思路

[0007]鉴于上述情况，本公开提供了一种老化室设备，其中用于施加高温空气的送风机被设置在与设置老化板的空间不同的空间中。
[0008]此外，本公开提供一种能够防止高于正常测试所需温度的温度施加到电子元件的老化室设备。
[0009]根据本公开的第一方面，本公开提供了一种管道模块，包括：管道，被配置成提供从腔室框架外部吸入的流体流过的通道；排放单元，被配置成引导所述流体的流动，使得吸入所述管道中的所述流体朝向排列在所述腔室框架中的电子元件排放，所述排放单元相对于所述管道在上下方向上可移动地被支撑。
[0010]所述管道可以包括：多个吸入单元，从所述腔室框架外部吸入的所述流体通过多个所述吸入单元被引入；以及合流单元，与多个所述吸入单元连通，使得通过多个所述吸入单元引入的所述流体流入所述合流单元，其中，所述排放单元包括多个排放部，并且流经所述合流单元的所述流体流入多个所述排放部。
[0011]所述管道还可以包括：多个风扇外壳单元，被配置成对应于多个所述吸入单元，并
且，每个所述风扇外壳单元可以与对应的所述吸入单元和所述合流单元连通，并允许通过对应的所述吸入单元吸入的所述流体流入所述合流单元。
[0012]所述排放单元可以包括多个排放部，每个所述排放部提供一排放口，用于将吸入所述管道中的所述流体朝向排列在所述腔框架中的所述电子元件排放，每个所述排放部可以包括：第一排放板，被配置成可相对于所述管道在上下方向上移动，以及第二排放板，被配置成可相对于所述第一排放板和所述管道移动以远离或靠近所述第一排放板，所述排放口可以由所述第一排放板的一端和所述第二排放板的一端提供。
[0013]所述第一排放板可以延伸使得所述第一排放板和所述第二排放板之间的距离在所述上下方向上从所述第一排放板的一端到另一端逐渐增加，并且，所述第二排放板可以平行于地面延伸。
[0014]所述排放单元还可以包括：支撑部，支撑所述排放部并被配置成可在所述上下方向上移动。所述支撑部可以包括：第一支撑板，从所述第一排放板的另一端在所述上下方向上延伸以支撑所述第一排放板，以及第二支撑板，从所述第二排放板的另一端在所述上下方向上延伸以支撑所述第二排放板，并被配置成可独立于所述第一支撑板移动。
[0015]根据本公开的第二方面，本公开提供了一种老化室设备，包括：管道模块；以及腔室框架，所述腔室框架提供一容纳空间，其中，所述管道模块包括：送风机，能够从所述腔室框架外部吸入流体；管道，被配置成提供从腔室框架外部吸入的所述流体流过的通道；以及排放单元，被配置成引导所述流体的流动，使得吸入所述管道中的所述流体朝向排列在所述腔室框架中的电子元件排放，所述排放单元相对于所述管道在上下方向上可移动地被支撑，其中，所述送风机设置在所述容纳空间上方。
[0016]所述老化室设备还可以包括：支架，被配置成提供所述电子元件在所述上下方向和水平方向上以直立状态排列的空间，其中，所述排放单元的高度位置可调节以对应于以所述直立状态排列的所述电子元件的高度。
[0017]所述送风机可以包括：叶片；以及电机，所述电机提供驱动力以旋转所述叶片，并且，所述电机可以设置于所述腔室框架上方。
[0018]根据本公开一实施例的老化室设备可以防止高于正常测试所需温度的温度施加到电子元件。
[0019]此外，所述老化室设备可以通过调节排气高度来主动响应电子元件的高度和排列的变化。
[0020]图式简单说明
[0021]图1是根据本公开第一实施例的老化室设备的立体图；
[0022]图2是示出导气板与板框分离的状态的老化室设备的立体图；
[0023]图3是管道模块的立体图；
[0024]图4是管道模块的分解立体图；
[0025]图5是图3所示的B部分的局部放大图；
[0026]图6是沿图1的A
‑
A'线的截面图；
[0027]图7是示出根据本公开第二实施例的随着图6的电子元件的高度降低而使引导部的一侧降低的状态的图；
[0028]图8是示出随着图7的电子元件的高度降低，引导部的一侧比图7所示的引导部的
一侧进一步降低的状态的图；
[0029]图9是示出随着图8的电子元件的高度降低，引导部的一侧比图8所示的引导部的一侧进一步降低的状态的图。
具体实施方式
[0030]下面结合附图对用于实现本公开思想的本公开的优选实施例进行进一步的详细说明。
[0031]然而，在本公开的说明中，可以省略对已知配置或功能的详细描述以阐述本公开。
[0032]当一个元件被称为“引导”、“支撑”、“流动”、“移动”到另一个元件时，可以理解为所述元件可以直接引导、支撑、流动、移动到另一个元件，但中间也可能存在其他元件。
[0033]本公开中所使用的术语仅用于说明特定实施例，并不用于限制本公开。除非上下文另有明确规定，否则单数表达包括复数表达。
[0034]可以使用包括诸如第1、第2等序数的术语来说明各种元件，但是相应元件不受这些术语的限制。这些术语仅用于区分一个元件与另一个元件。
[0035]应当理解的是，本说明书中所使用的诸如“包括”之类的术语旨在表示说明书中揭示的某些特定特征、区域、整数、步骤、操作、元件和/或它们的组合的存在，并不旨在排除其他特定特征、区域、整数、步骤、操作、元件和/或它们的组合的存在或附加的可能性。
[0036]此外，在本公开中，需要注意的是，诸如上侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种管道模块，其特征在于，包括：管道，被配置成提供从腔室框架外部吸入的流体流过的通道；排放单元，被配置成引导所述流体的流动，使得吸入所述管道中的所述流体朝向排列在所述腔室框架中的电子元件排放，所述排放单元相对于所述管道在上下方向上可移动地被支撑。2.如权利要求1所述的管道模块，其特征在于，所述管道包括：多个吸入单元，从所述腔室框架外部吸入的所述流体通过多个所述吸入单元被引入；以及合流单元，与多个所述吸入单元连通，使得通过多个所述吸入单元引入的所述流体流入所述合流单元，其中，所述排放单元包括多个排放部，并且流经所述合流单元的所述流体流入多个所述排放部。3.如权利要求2所述的管道模块，其特征在于，所述管道还包括：多个风扇外壳单元，被配置成对应于多个所述吸入单元，其中，每个所述风扇外壳单元与对应的所述吸入单元和所述合流单元连通，并允许通过对应的所述吸入单元吸入的所述流体流入所述合流单元。4.如权利要求1所述的管道模块，其特征在于，所述排放单元包括多个排放部，每个所述排放部提供排放口，用于将吸入所述管道中的所述流体朝向排列在所述腔框架中的所述电子元件排放，其中，每个所述排放部包括：第一排放板，被配置成可相对于所述管道在上下方向上移动；以及第二排放板，被配置成可相对于所述第一排放板和所述管道移动以远离或靠近所述第一排放板，其中，所述排放口由所述第一排放板的一端和所述第二排放板的一端提供。5.如权利要求4所述的管道模块，其特征在于，所述第一排放板延伸使得所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢种基，
申请(专利权)人：泰克元有限公司，
类型：发明
国别省市：