一种防震悬吊暂存装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种防震悬吊暂存装置，包括与安装面固定的轨道、与所述轨道滑动配合的悬吊结构、固定于所述悬吊结构末端的支架以及固定于所述支架上的承载盘面，所述承载盘面包括盘面本体和安装板，所述盘面本体与所述安装板之间设有若干防震垫，所述防震垫包括弹性柱、固定于所述弹性柱顶部的第一定位片、固定于所述第一定位片的第一连接螺杆、固定于所述弹性柱底部的第二定位片以及固定于所述第二定位片的第二连接螺杆，所述盘面本体与所述第一连接螺杆固定连接，所述安装板与所述第二连接螺杆固定连接。本实用新型专利技术能够通过防震垫起到减震作用，防止由于搬运车行驶产生的微震动传递至承载盘面，进而有效保证晶圆盒内的晶圆片不受损坏。片不受损坏。片不受损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种防震悬吊暂存装置


[0001]本技术涉及半导体装置领域，特别涉及一种防震悬吊暂存装置。

技术介绍

[0002]悬吊暂存装置是悬挂在空中轨道或天花板的晶圆盒储存装置，在晶圆制造过程中作为晶圆盒的储存工位(晶圆存放于晶圆盒内)，通过悬挂于空中轨道或天花板上的搬运车实现转运，此装置配置在制程设备旁，能够有效缩短晶圆盒转运至设备Load Port的时间。现有的悬吊暂存装置由于搬运车的行驶而与轨道之间产生微振动并传送至晶圆盒的承载盘面，进而带动晶圆盒一同震动，容易导致晶圆盒内的晶圆片震动破裂，影响晶圆片的品质。

技术实现思路

[0003]针对现有悬吊暂存装置在由于搬运车的行驶会与轨道会产生微震动并传送至晶圆盒的承载盘面，进而导致晶圆片震动破裂的问题，本技术提供了一种防震悬吊暂存装置。
[0004]为实现本技术的目的，本技术采用的技术方案是：
[0005]一种防震悬吊暂存装置，包括与安装面固定的轨道、与所述轨道滑动配合的悬吊结构、固定于所述悬吊结构末端的支架以及固定于所述支架上的承载盘面，所述承载盘面包括盘面本体和安装板，所述盘面本体与所述安装板之间设有若干防震垫，所述防震垫包括弹性柱、固定于所述弹性柱顶部的第一定位片、固定于所述第一定位片的第一连接螺杆、固定于所述弹性柱底部的第二定位片以及固定于所述第二定位片的第二连接螺杆，所述盘面本体与所述第一连接螺杆固定连接，所述安装板与所述第二连接螺杆固定连接。
[0006]优选的，所述盘面本体设有与所述第一连接螺杆配合的第一连接孔，所述盘面本体安装于所述第一连接螺杆并通过螺栓锁紧固定；所述安装板设有与所述第二连接螺杆配合第二连接孔，所述安装板安装于所述第二连接螺杆并通过螺栓锁紧固定。
[0007]优选的，所述第一连接螺杆设有止转槽，第二连接螺杆设有第二止转槽。
[0008]优选的，所述第一止转槽与所述第二止转槽为一字槽、十字槽或内六角槽。
[0009]优选的，所述弹性柱包括上下对称设置的第一弹性部和第二弹性部，所述第一弹性部与所述第二弹性部均为圆台形柱体，所述第一弹性部与所述第二弹性部为一体成型结构。
[0010]优选的，所述弹性柱的材质为硅胶。
[0011]优选的，所述盘面本体表面设有若干用于对晶圆盒进行定位的定位柱。
[0012]优选的，所述盘面本体为充气盘面，所述充气盘面设有充气孔和出气孔。
[0013]优选的，所述安装板底部设有主控箱体，所述充气孔与所述出气孔均连接所述主控箱体。
[0014]本技术的有益效果如下：
[0015]1、本技术承载盘面包括盘面本体与安装板，并且盘面本体与安装板之间设有防震垫，能够起到减震作用，防止搬运车行驶产生的微震动传递至承载盘面，进而有效保证晶圆盒内的晶圆片不受损坏。
[0016]2、本技术第一连接螺杆和第二连接螺杆均设有止转槽，能够将工具插入止转槽中，防止在锁螺丝的过程中带动定位片转动进而与硅胶弹性柱松动或分离。
[0017]3、本技术弹性柱采用硅胶材质，防震效果好，并且耐久性好，很少出现弹性减弱的情况，有效提高使用寿命。
附图说明
[0018]图1：本技术的整体结构示意图；
[0019]图2：本技术防震垫的结构示意图；
[0020]图3：本技术实施例1的承载盘面示意图；
[0021]图4：本技术实施例2的承载盘面示意图；
[0022]图中：10、轨道；20、悬吊结构；30、支架；40、承载盘面；41、盘面本体；42、安装板；50、防震垫；51、弹性柱；511、第一弹性部；512、第二弹性部；52、第一定位片；53、第一连接螺杆；531、第一止转槽；54、第二定位片；55、第二连接螺杆；551、第二止转槽；60、定位柱；70、充气孔；80、出气孔；90、主控箱体。
具体实施方式
[0023]现有悬吊暂存装置在运送过程中轨道会产生微震动并传送至对承载盘面40，进而导致晶圆片破裂的问题。所以本技术提出新的方案，为更加清楚的表示，下面结合附图对本技术做详细的说明。
[0024]实施例1：
[0025]参见图1
‑
2，一种防震悬吊暂存装置，包括与安装面(例如：天花板)固定的轨道10、与所述轨道10滑动配合的悬吊结构20、固定于所述悬吊结构20末端的支架30以及固定于所述支架30上的承载盘面40。
[0026]本实施例所述承载盘面40包括盘面本体41和安装板42，所述盘面本体41与所述安装板42之间设有若干防震垫50。所述防震垫50包括弹性柱51、固定于所述弹性柱51顶部的第一定位片52、固定于所述第一定位片52的第一连接螺杆53、固定于所述弹性柱51底部的第二定位片54以及固定于所述第二定位片54的第二连接螺杆55，所述盘面本体41与所述第一连接螺杆53固定连接，所述安装板42与所述第二连接螺杆55固定连接。
[0027]所述盘面本体41设有与所述第一连接螺杆53配合的第一连接孔，所述盘面本体安装于所述第一连接螺杆53并通过螺栓锁紧固定；所述安装板42设有与所述第二连接螺杆55配合第二连接孔，所述安装板42安装于所述第二连接螺杆55并通过螺栓锁紧固定。
[0028]所述第一连接螺杆53设有止转槽，第二连接螺杆55设有第二止转槽551。第一定位片52与第二定位片54通过胶水与弹性柱51固定连接，在未设置止转槽时，锁附螺丝的过程中，螺丝会带动第一连接螺杆53或第二连接螺杆55一同转动，进而带动第一定位片52或第二定位片54转动，使得第一定位片52或第二定位片54松动或分离，本实施例设置止转槽，能够将工具插入止转槽中，防止锁附螺丝过程中定位片转动的情况，进而有效防止定位片与
弹性柱51松动或分离。
[0029]本实施例所述第一止转槽531与所述第二止转槽551包括但不仅限于一字槽、十字槽或内六角槽。
[0030]所述弹性柱51包括上下对称设置的第一弹性部511和第二弹性部512，所述第一弹性部511与所述第二弹性部512均为圆台形柱体，所述第一弹性部511与所述第二弹性部512为一体成型结构。
[0031]所述弹性柱51的材质为硅胶，防震效果好，并且耐久性好，很少出现弹性减弱的情况，有效提高使用寿命。
[0032]参见图3，本实施例所述盘面为支撑盘面，所述安装板42设有与支架30连接配合的凹槽部。
[0033]所述盘面本体41表面设有若干用于对晶圆盒进行定位的定位柱60。
[0034]实施例2：
[0035]参见图1与图4，本实施例中所述盘面本体41为充气盘面，所述充气盘面设有充气孔70和出气孔80。所述安装板42底部设有主控箱体90，所述充气孔70与所述出气孔80均连接所述主控箱体90。所述安装板42两侧设有与安装板42板体垂直的连接片，所述安装板42固定于支架30，所述主控箱体90与连接片固定连接。主控箱体90内设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防震悬吊暂存装置，其特征在于：包括与安装面固定的轨道、与所述轨道滑动配合的悬吊结构、固定于所述悬吊结构末端的支架以及固定于所述支架上的承载盘面，所述承载盘面包括盘面本体和安装板，所述盘面本体与所述安装板之间设有若干防震垫，所述防震垫包括弹性柱、固定于所述弹性柱顶部的第一定位片、固定于所述第一定位片的第一连接螺杆、固定于所述弹性柱底部的第二定位片以及固定于所述第二定位片的第二连接螺杆，所述盘面本体与所述第一连接螺杆固定连接，所述安装板与所述第二连接螺杆固定连接。2.根据权利要求1所述的一种防震悬吊暂存装置，其特征在于：所述盘面本体设有与所述第一连接螺杆配合的第一连接孔，所述盘面本体安装于所述第一连接螺杆并通过螺栓锁紧固定；所述安装板设有与所述第二连接螺杆配合第二连接孔，所述安装板安装于所述第二连接螺杆并通过螺栓锁紧固定。3.根据权利要求1所述的一种防震悬吊暂存装置，其特征在于：所述第一连接螺杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯庆雄，王志峰，杨大鹏，丘晓明，
申请(专利权)人：厦门普诚科技有限公司，
类型：新型
国别省市：