一种硅片传片机制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片加工生产技术领域，特别涉及一种硅片传片机，包括支撑架，所述支撑架的外侧固定连接有控制器，所述支撑架的外侧固定安装有启动机，所述支撑架的顶部转动连接有输送带，所述支撑架的顶部固定连接有一号运转罩与二号运转罩，所述一号运转罩的顶部固定安装有水箱，所述水箱的顶部活动连接有活塞柱，所述水箱的底部固定连接有导水管，所述导水管的底部固定连接有喷洒盘，所述一号运转罩的内壁上固定连接有红外线探头，所述红外线探头的顶部固定连接有导线，本实用新型专利技术结构简单，使用方便，不仅可以在传片对硅片的本体进行清洁，同时也可以有序的对硅片进行传送。同时也可以有序的对硅片进行传送。同时也可以有序的对硅片进行传送。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片传片机


[0001]本技术涉及一种硅片传片机，属于硅片加工生产


技术介绍

[0002]硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，科学技术的发展不断推动着半导体的发展，自动化和计算机等技术发展，使硅片(集成电路)这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度，在硅片加工过程中，需要经过很长的程序步骤，也会使用到较多的设备，传片机就是其中一种。
[0003]现有的传片机所实现的目的就是将硅片送到下一加工区域，但是传送的硅片表面经常会吸附着油污以及灰尘，需要在清理后才能进行下一步骤，浪费了大量的时间，同时传统的传片机无法对硅片进行整齐排放，在输送时显得杂乱无章，从而降低了传片的工作效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种硅片传片机，本技术结构简单，使用方便，不仅可以在传片对硅片的本体进行清洁，同时也可以有序的对硅片进行传送，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种硅片传片机，包括支撑架，所述支撑架的外侧固定连接有控制器，所述支撑架的外侧固定安装有启动机，所述支撑架的顶部转动连接有输送带，所述支撑架的顶部固定连接有一号运转罩与二号运转罩，所述一号运转罩的顶部固定安装有水箱，所述水箱的顶部活动连接有活塞柱，所述水箱的底部固定连接有导水管，所述导水管的底部固定连接有喷洒盘，所述一号运转罩的内壁上固定连接有红外线探头，所述红外线探头的顶部固定连接有导线，所述导线远离红外线探头的一端固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的外侧固定连接有挡板，所述二号运转罩的顶部固定安装有电机，所述电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴的底部固定连接有锥齿轮组，所述锥齿轮组的外侧固定连接有旋转杆，所述旋转杆的外侧传动连接有皮带，所述皮带的外侧传动连接有导杆，所述导杆的外侧固定连接有清洁辊，所述支撑架的顶部的固定连接有衔接块，所述衔接块的顶部固定连接有出料箱，所述衔接块的内部开设有导料槽。
[0007]进一步的，所述控制器通过与启动机电性连接带动输送带转动连接在支撑架的顶部。
[0008]进一步的，所述导水管与喷洒盘位于一号运转罩的底部，且导水管与喷洒盘位于一号运转罩在输送带的上方。
[0009]进一步的，所述红外线探头对称分布在一号运转罩的内壁上，所述电动伸缩杆固定连接在一号运转罩的内壁上。
[0010]进一步的，所述电动伸缩杆对称分布在一号运转罩的内部，所述挡板位于喷洒盘的底板。
[0011]进一步的，所述挡板的内部开设有凹槽，所述控制器与电机之间电性连接，所述导杆转动连接在二号运转罩的内壁上。
[0012]进一步的，所述出料箱位于输送带的一侧顶端，所述导料槽均匀分布在衔接块的内部。
[0013]本技术的有益效果是：
[0014]本技术通过设置了支撑架，通过控制器，使启动机带动输送带在支撑架的顶部进行运行，从而对硅片进行传片，当硅片进入到一号运转罩的内部时，这时两个红外线探头对硅片进行感应，再通过与导线的配合使用，从而使控制器控制电动伸缩杆断电，通过电动伸缩杆的启动带动挡板回缩，这时使水箱内的水通过其底部的导水管与喷洒盘到达硅片的表面，使油污与灰尘与水混合，当硅片通过输送带进入到二号运转罩的内部时，控制器使电机启动，从而使电机带动转轴进行旋转，通过转轴的旋转带动锥齿轮组进行转动，这时锥齿轮组与旋转杆的配合使用，从而使皮带底部的导杆进行转动，通过导杆的旋转带动清洁辊在输送带的上方进行旋转，从而对进过的硅片清洁，达到了节省时间的效果，通过在支撑架的一侧固定连接有衔接块，而衔接块的顶部固定连接有出料箱，这时出料箱内的硅片会顺着导料槽进入到输送带的顶部，由于导料槽均匀分布在衔接块的内部，从而对硅片进行有序输送。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的具体实施方式一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。
[0016]图1是本技术一种硅片传片机的结构示意图；
[0017]图2是本技术一种硅片传片机一号运转罩内部的结构示意图；
[0018]图3是本技术一种硅片传片机二号运转罩内部的结构示意图；
[0019]图4是本技术一种硅片传片机图1中A处结构的放大图；
[0020]图中标号：1、支撑架；2、控制器；3、启动机；4、输送带；5、一号运转罩；6、二号运转罩；7、水箱；8、活塞柱；9、导水管；10、喷洒盘；11、红外线探头；12、导线；13、电动伸缩杆；14、挡板；15、电机；16、转轴；17、锥齿轮组；18、旋转杆；19、皮带；20、导杆；21、清洁辊；22、衔接块；23、出料箱；24、导料槽。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例1请参阅图1
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图4，本技术提供一种技术方案：
[0023]一种硅片传片机，包括支撑架1，支撑架1的外侧固定连接有控制器2，支撑架1的外侧固定安装有启动机3，支撑架1的顶部转动连接有输送带4，支撑架1的顶部固定连接有一
号运转罩5与二号运转罩6，一号运转罩5的顶部固定安装有水箱7，水箱7的顶部活动连接有活塞柱8，水箱7的底部固定连接有导水管9，导水管9的底部固定连接有喷洒盘10，一号运转罩5的内壁上固定连接有红外线探头11，红外线探头11的顶部固定连接有导线12，导线12远离红外线探头11的一端固定连接有电动伸缩杆13，电动伸缩杆13的外侧固定连接有挡板14，二号运转罩6的顶部固定安装有电机15，电机15的输出端固定连接有转轴16，转轴16的底部固定连接有锥齿轮组17，锥齿轮组17的外侧固定连接有旋转杆18，旋转杆18的外侧传动连接有皮带19，皮带19的外侧传动连接有导杆20，导杆20的外侧固定连接有清洁辊21。
[0024]具体的，如图1所示，控制器2通过与启动机3电性连接带动输送带4转动连接在支撑架1的顶部，导水管9与喷洒盘10位于一号运转罩5的底部，且导水管9与喷洒盘10位于一号运转罩5在输送带4的上方，红外线探头11对称分布在一号运转罩5的内壁上，电动伸缩杆13固定连接在一号运转罩5的内壁上。
[0025]具体的，如图4所示，电动伸缩杆13对称分布在一号运转罩5的内部，挡板14位于喷洒盘10的底板，挡板14的内部开设有凹槽，控制器2与电机15之间电性连接，导杆20转动连接在二号运转罩6的内壁上，出料箱23位于输送带4的一侧顶端，导料槽24均匀分布在衔接块2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片传片机，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)的外侧固定连接有控制器(2)，所述支撑架(1)的外侧固定安装有启动机(3)，所述支撑架(1)的顶部转动连接有输送带(4)，所述支撑架(1)的顶部固定连接有一号运转罩(5)与二号运转罩(6)，所述一号运转罩(5)的顶部固定安装有水箱(7)，所述水箱(7)的顶部活动连接有活塞柱(8)，所述水箱(7)的底部固定连接有导水管(9)，所述导水管(9)的底部固定连接有喷洒盘(10)，所述一号运转罩(5)的内壁上固定连接有红外线探头(11)，所述红外线探头(11)的顶部固定连接有导线(12)，所述导线(12)远离红外线探头(11)的一端固定连接有电动伸缩杆(13)，所述电动伸缩杆(13)的外侧固定连接有挡板(14)，所述二号运转罩(6)的顶部固定安装有电机(15)，所述电机(15)的输出端固定连接有转轴(16)，所述转轴(16)的底部固定连接有锥齿轮组(17)，所述锥齿轮组(17)的外侧固定连接有旋转杆(18)，所述旋转杆(18)的外侧传动连接有皮带(19)，所述皮带(19)的外侧传动连接有导杆(20)，所述导杆(20)的外侧固定连接有清洁辊(21)，所述支撑架(1)的顶部的固定连接有衔接块(22)，所述衔...

【专利技术属性】
技术研发人员：张明声，
申请(专利权)人：昆山冠昂智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：