一种用于晶圆腐蚀加工的夹持架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆腐蚀加工的夹持架，具体涉及夹持架技术领域，包括连接板，所述连接板顶部设置有防滑垫，所述防滑垫由橡胶材料制成，所述连接板底部设置有两个螺栓，两个所述螺栓以连接板底部中心线对称分布，两个所述螺栓顶部均依次贯穿连接板与防滑垫并延伸至防滑垫外部，所述连接板底部中心线处设置有固定杆，所述固定杆底部设置有夹持机构。本实用新型专利技术通过设置夹持机构，使得该装置在对通过夹持机构晶圆本体进行夹持时不仅不会对晶圆本体造成损伤，而且还能够实现对多种不同规格的晶圆进行夹持，因此不仅使得该装置在夹持时的可靠性得到了明显的提升，而且还使得该装置的实用性得到了明显的提升。得该装置的实用性得到了明显的提升。得该装置的实用性得到了明显的提升。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆腐蚀加工的夹持架


[0001]本技术涉及夹持架
，更具体地说，本技术涉及一种用于晶圆腐蚀加工的夹持架。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点，在晶圆加工过程中需要对晶圆进行夹持，在对晶圆进行夹持时需要使用到夹持架。
[0003]但是在实际使用时，现有的大部分夹持架在对晶圆进行夹持时极易对晶圆造成损伤，而且大部分夹持架只能够对同一规格的晶圆进行夹持，因此导致夹持架的实用性低下。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的上述缺陷，本技术的实施例提供一种用于晶圆腐蚀加工的夹持架，通过夹持机构的设置，使得该装置在对晶圆本体进行夹持时不仅不会对晶圆本体造成损伤，而且还能够实现对多种不同规格的晶圆进行夹持，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于晶圆腐蚀加工的夹持架，包括连接板，所述连接板顶部设置有防滑垫，所述防滑垫由橡胶材料制成，所述连接板底部设置有两个螺栓，两个所述螺栓以连接板底部中心线对称分布，两个所述螺栓顶部均依次贯穿连接板与防滑垫并延伸至防滑垫外部，所述连接板底部中心线处设置有固定杆，所述固定杆底部设置有夹持机构。
[0006]在一个优选地实施方式中，所述夹持机构包括安装板，所述安装板底部开设有凹槽，所述凹槽内部设置有导向杆。
[0007]在一个优选地实施方式中，所述导向杆上套设有两个滑块，两个所述滑块之间设置有弹簧，所述弹簧套设在导向杆上。
[0008]在一个优选地实施方式中，两个所述滑块底部均设置连接杆，两个所述连接杆底部均设置有夹持板，两个所述夹持板相对一侧均设置有防护板。
[0009]在一个优选地实施方式中，两个所述防护板由橡胶材料制成，两个所述防护板之间设置有晶圆本体。
[0010]在一个优选地实施方式中，所述安装板两侧均设置有活动板，所述活动板一侧贯穿安装板并与其对应的滑块相连接。
[0011]在一个优选地实施方式中，所述活动板横截面形状设置为U形，所述活动板另一侧中心线处设置有提拉杆。
[0012]在一个优选地实施方式中，所述提拉杆上套设有多个防滑环。
[0013]本技术的技术效果和优点：
[0014]通过设置夹持机构，使得该装置在对通过夹持机构晶圆本体进行夹持时不仅不会对晶圆本体造成损伤，而且还能够实现对多种不同规格的晶圆进行夹持，因此不仅使得该装置在夹持时的可靠性得到了明显的提升，而且还使得该装置的实用性得到了明显的提升，且通过活动板与提拉杆的设置，使得夹持板在进行移动时能够更加的平稳，且通过防滑环的设置，能够避免在拉动提拉杆时出现提拉杆从手中滑落的现象出现。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图。
[0016]图2为本技术的剖视结构示意图。
[0017]图3为本技术的图2中A处放大结构示意图。
[0018]附图标记为：1、连接板；2、防滑垫；3、螺栓；4、固定杆；5、安装板；6、导向杆；7、滑块；8、弹簧；9、连接杆；10、夹持板；11、防护板；12、晶圆本体；13、活动板；14、提拉杆；15、防滑环。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]如附图1
‑
3所示的一种用于晶圆腐蚀加工的夹持架，包括连接板1，连接板1顶部设置有防滑垫2，防滑垫2由橡胶材料制成，连接板1底部设置有两个螺栓3，两个螺栓3以连接板1底部中心线对称分布，两个螺栓3顶部均依次贯穿连接板1与防滑垫2并延伸至防滑垫2外部，连接板1底部中心线处设置有固定杆4，固定杆4底部设置有夹持机构，以便于通过螺栓3将该装置安装在合适的使用位置上。
[0021]如附图1、2、3所示，夹持机构包括安装板5，安装板5底部开设有凹槽，凹槽内部设置有导向杆6，导向杆6上套设有两个滑块7，两个滑块7之间设置有弹簧8，弹簧8套设在导向杆6上，两个滑块7底部均设置连接杆9，两个连接杆9底部均设置有夹持板10，两个夹持板10相对一侧均设置有防护板11，两个防护板11由橡胶材料制成，两个防护板11之间设置有晶圆本体12，以便于通过夹持机构对晶圆本体12进行夹持。
[0022]如附图3所示，安装板5两侧均设置有活动板13，活动板13一侧贯穿安装板5并与其对应的滑块7相连接，活动板13横截面形状设置为U形，活动板13另一侧中心线处设置有提拉杆14，提拉杆14上套设有多个防滑环15，以便于通过提拉杆14与活动板13间接拉动夹持板10，通过防滑环15的设置增加提拉杆14的摩擦力。
[0023]本技术工作原理：在使用时，先将该装置放置在合适的位置上，随后将多个螺栓3从连接板1上对应的位置上依次拧入，在螺栓3拧入完成之后即完成了对该装置的安装，
随后即可通过该装置对晶圆本体12进行夹持，在进行夹持时，只需握住两个提拉杆14向相反的方向拉动，使得与提拉杆14连接的活动板13带动活动进行移动，通过滑块7的移动使得滑块7底部设置的连接杆9带动夹持板10进行移动，在两个夹持板10之间的间距可以放入晶圆本体12时，将晶圆本体12放如，在放入之后在缓慢送开两个提拉杆14，在提拉杆14送开之后晶圆本体12即可被夹持板10夹持。
[0024]最后应说明的几点是：首先，在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变；
[0025]其次：本技术公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本技术同一实施例及不同实施例可以相互组合；
[0026]最后：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆腐蚀加工的夹持架，包括连接板(1)，其特征在于：所述连接板(1)顶部设置有防滑垫(2)，所述防滑垫(2)由橡胶材料制成，所述连接板(1)底部设置有两个螺栓(3)，两个所述螺栓(3)以连接板(1)底部中心线对称分布，两个所述螺栓(3)顶部均依次贯穿连接板(1)与防滑垫(2)并延伸至防滑垫(2)外部，所述连接板(1)底部中心线处设置有固定杆(4)，所述固定杆(4)底部设置有夹持机构。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆腐蚀加工的夹持架，其特征在于：所述夹持机构包括安装板(5)，所述安装板(5)底部开设有凹槽，所述凹槽内部设置有导向杆(6)。3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆腐蚀加工的夹持架，其特征在于：所述导向杆(6)上套设有两个滑块(7)，两个所述滑块(7)之间设置有弹簧(8)，所述弹簧(8)套设在导向杆(6)上。4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆腐蚀加工...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋成成，李虹，
申请(专利权)人：苏州瑞红集昕科技有限公司，
类型：新型
国别省市：