一种硅片涂层用石英装载台制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片加工技术领域，尤其为一种硅片涂层用石英装载台，包括台体、支撑架与电动滑轨，所述台体上端固定连接有石英板，所述石英板上端后侧固定连接有电动滑轨，所述电动滑轨前侧内滑动连接有滑块，所述滑块前端贴合有固定板，所述滑块内穿过有螺栓，且螺栓与滑块螺旋连接，所述固定板内穿过有螺栓，且固定板与滑块螺旋连接，所述固定板底端固定连接有清理架，所述清理架滑动在石英板上侧，所述清理架左右两端均开设有刮槽，所述清理架底侧内固定连接有清理垫，所述清理垫滑动连接在石英板上端，本实用新型专利技术使得在使用完成后，可以自动对石英板表面进行清理与擦拭，提高工作效率后装置表面的整洁度。效率后装置表面的整洁度。效率后装置表面的整洁度。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片涂层用石英装载台


[0001]本技术涉及硅片加工
，具体为一种硅片涂层用石英装载台。

技术介绍

[0002]硅片是属于微电子
，并且在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，一般用于航空、航天、工业、农业等领域，其中硅在地壳中含量达25.8％，所以储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，而涂层是指涂料一次施涂所得到的固态连续膜，是为了防护，绝缘，装饰等目的，当需要对硅片进行涂层时，就需要用到石英装载台。
[0003]市面上大多硅片涂层用石英装载台，不能在使用完成后，对装载台的表面进行自动清理，需要人工进行清理，可能会错过最佳的清理时间，导致涂料粘在装载台上，无法快速清理，并且在使用过程中，不能在光线较暗的状态下对装置进行使用，可能会影响到硅片的涂层效果，实用性差。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种硅片涂层用石英装载台，以解决上述
技术介绍
中提出无法在涂层完成后，自动对石英装载台的表面进行清理，需要等待人工进行操作的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种硅片涂层用石英装载台，包括台体、支撑架与电动滑轨，所述台体上端固定连接有石英板，所述石英板上端后侧固定连接有电动滑轨，所述电动滑轨前侧内滑动连接有滑块，所述滑块前端贴合有固定板，所述滑块内穿过有螺栓，且螺栓与滑块螺旋连接，所述固定板内穿过有螺栓，且固定板与滑块螺旋连接，所述固定板底端固定连接有清理架，所述清理架滑动在石英板上侧，所述清理架左右两端均开设有刮槽，所述清理架底侧内固定连接有清理垫，所述清理垫滑动连接在石英板上端。
[0007]优选的，所述台体后端固定连接有支撑架，所述支撑架前端底侧固定连接有限位架。
[0008]优选的，所述限位架底侧内穿过有连接架，且连接架与限位架相互滑动，所述连接架上端固定连接有齿板，所述齿板上端通过齿槽与限位架相互啮合。
[0009]优选的，所述齿板底端四角均固定连接有弹簧，所述弹簧固定连接在滑板上端左右两侧，所述滑板滑动连接在限位架前后两侧内。
[0010]优选的，所述连接架底端固定连接有金属软杆，所述金属软杆底端固定连接有灯具。
[0011]优选的，所述台体前端左侧固定连接有控制器。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本技术中，通过设置的电动滑轨、滑块、固定板、刮槽与清理垫，使得在使用完成后，可以自动对石英板表面进行清理与擦拭，提高工作效率后装置表面的整洁度。
[0014]2、本技术中，通过设置的连接架、金属软杆、灯具、齿槽、齿板与弹簧，使得装置可以在较暗的工作环境下进行使用，同时还可以根据不同的情况，对灯具的位置与角度进行快速调节，有效提高装置的实用性。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术图1的A处结构示意图；
[0017]图3为本技术图1的B处结构示意图；
[0018]图4为本技术限位架安装结构示意图。
[0019]图中：1
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台体、2
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石英板、3
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连接架、4
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支撑架、5
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限位架、6
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电动滑轨、7
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金属软杆、8
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灯具、9
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控制器、10
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螺栓、11
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滑块、12
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固定板、13
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清理架、14
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刮槽、15
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清理垫、16
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齿槽、17
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齿板、18
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弹簧、19
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滑板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：
[0022]一种硅片涂层用石英装载台，包括台体1、支撑架4与电动滑轨6，台体1上端固定连接有石英板2，石英板2上端后侧固定连接有电动滑轨6，电动滑轨6前侧内滑动连接有滑块11，滑块11前端贴合有固定板12，滑块11内穿过有螺栓10，且螺栓10与滑块11螺旋连接，固定板12内穿过有螺栓10，且固定板12与滑块11螺旋连接，固定板12底端固定连接有清理架13，清理架13滑动在石英板2上侧，清理架13左右两端均开设有刮槽14，清理架13底侧内固定连接有清理垫15，清理垫15滑动连接在石英板2上端，通过清理架13与清理垫15，可以对石英板2进行清理。
[0023]具体的如图1与图4中，台体1后端固定连接有支撑架4，支撑架4前端底侧固定连接有限位架5，通过支撑架4与限位架5，可以对灯具8进行支撑稳固；限位架5底侧内穿过有连接架3，且连接架3与限位架5相互滑动，连接架3上端固定连接有齿板17，齿板17上端通过齿槽16与限位架5相互啮合，通过齿板17与齿槽16，可以对灯具8的位置进行固定；齿板17底端四角均固定连接有弹簧18，弹簧18固定连接在滑板19上端左右两侧，滑板19滑动连接在限位架5前后两侧内，通过弹簧18，可以使齿板17自动回弹；连接架3底端固定连接有金属软杆7，金属软杆7底端固定连接有灯具8，通过金属软杆7，可以对灯具8的角度进行调节；台体1前端左侧固定连接有控制器9，通过控制器9，可以对装置进行控制。
[0024]工作流程：本技术在使用时通过外接电源进行供电，当在光线较暗的情况下进行工作时，可以通过灯具8进行照亮，当需要对照亮位置进行改变时，可以先拉动连接架3，使连接架3带动齿板17与齿槽16分离，之后再推动连接架3，使连接架3配合金属软杆7带动灯具8到达需要的位置上，此时松开连接架3，可以使弹簧18带动齿板17自动复位，使齿板17与齿槽16连接，此时就到达对灯具8位置进行固定的效果，同时通过金属软杆7，还可以对
灯具8的前后位置与角度进行微调，方便装置可以在光线较暗的情况下进行使用，当使用完成后，可以通过控制器9对电动滑轨6进行控制，使电动滑轨6带动滑块11移动，滑块11会带动固定板12进行左右移动，通过固定板12上的刮槽14，可以对石英板2表面进行自动挂刷清理，而清理垫15，可以对石英板2表面进行擦拭，当需要对清理架13与清理垫15进行清理时，还可以通过螺栓10对其进行拆卸与安装，有效避免长时间的使用后，清理架13与清理垫15上残留有大量的赃物。
[0025]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片涂层用石英装载台，包括台体(1)、支撑架(4)与电动滑轨(6)，其特征在于：所述台体(1)上端固定连接有石英板(2)，所述石英板(2)上端后侧固定连接有电动滑轨(6)，所述电动滑轨(6)前侧内滑动连接有滑块(11)，所述滑块(11)前端贴合有固定板(12)，所述滑块(11)内穿过有螺栓(10)，且螺栓(10)与滑块(11)螺旋连接，所述固定板(12)内穿过有螺栓(10)，且固定板(12)与滑块(11)螺旋连接，所述固定板(12)底端固定连接有清理架(13)，所述清理架(13)滑动在石英板(2)上侧，所述清理架(13)左右两端均开设有刮槽(14)，所述清理架(13)底侧内固定连接有清理垫(15)，所述清理垫(15)滑动连接在石英板(2)上端。2.根据权利要求1所述的一种硅片涂层用石英装载台，其特征在于：所述台体(1)后端固定连接有支撑架(4)，所述支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：栾国旗，
申请(专利权)人：天津美芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：