一种半导体立式炉的五指机器人制造技术

本发明专利技术提供了一种半导体立式炉的五指机器人，包括检测传感器、陶瓷手指、变距机构伸缩滑台、中指机构伸缩滑台和防护底套，防护底套的顶端安装有安装支架，安装支架的一端安装有旋转电机，旋转电机通过转动盘与变距机构伸缩滑台连接，中指机构伸缩滑台设置在变距机构伸缩滑台的顶端，变距机构伸缩滑台与陶瓷手指连接，检测传感器设置在陶瓷手指表面，防护底套的内部安装有升降机构，本发明专利技术的五指机器人具有检测生产片有无的功能，能正确判断每次取放生产片是否成功；五指实现变距，石英舟槽距和暗盒槽距在一定范围内完全适用；该装置结构简单，运行可靠，故障率低；该装置制作方便，价格便宜；该装置的结构简单，维护维修方便。维护维修方便。维护维修方便。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体立式炉的五指机器人


[0001]本专利技术属于五指机器人
，涉及一种半导体立式炉的五指机器人。

技术介绍

[0002]半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。
[0003]半导体行业一般采用单指机器人上下料。该机器人应用于立式炉等待工艺的生产片从暗盒(花篮，后面统称暗盒，英文名cassette)传送到石英舟上，将已完成工艺的生产片从石英舟传送到暗盒。
[0004]进口设备自带的五指机器人，对设备国产化形成了技术壁垒；不研制替代的五指机器人将影响设备或技术国产化的进程
[0005]现有的五指机器人缺点是：指没有检测生产片有无的功能，导致无法判断每次取放生产片是否成功；五指无法实现变距，五指间距需要根据在统一石英舟槽距和暗盒槽距的前提下进行定制。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于提供一种半导体立式炉的五指机器人，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0007]本专利技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种半导体立式炉的五指机器人，包括检测传感器、陶瓷手指、变距机构伸缩滑台、中指机构伸缩滑台和防护底套，所述防护底套的顶端安装有安装支架，所述安装支架的一端安装有旋转电机，所述旋转电机通过转动盘与变距机构伸缩滑台连接，所述中指机构伸缩滑台设置在变距机构伸缩滑台的顶端，所述变距机构伸缩滑台与陶瓷手指连接，所述检测传感器设置在陶瓷手指表面，所述防护底套的内部安装有升降机构；
[0008]所述陶瓷手指由第一指支架、第五指支架、第二指支架和第四指支架组成，其中，第一指支架和第五指支架之间设有第一和第五指联接丝杆，第二指支架和第四指支架之间设有第二和第四指联接丝杆，第一指支架、第五指支架、第二指支架和第四指支架均通过滑块连接有变距导向杆；
[0009]第一和第五指联接丝杆直连有变距小从动轮，第二和第四指联接丝杆直连有变距大从动轮，所述变距大从动轮和变距小从动轮通过皮带连接有变距张紧轮和变距主动轮，所述变距主动轮直连有变距电机；
[0010]所述变距大从动轮的直径为变距小从动轮直径的两倍。
[0011]在上述的一种半导体立式炉的五指机器人中，所述升降机构包括升降主动轮、升
降皮带、升降电机、升降丝杆、升降从动轮和三个升降导向杆，升降电机与升降主动轮直联，升降从动轮与升降丝杆直联，通过升降皮带实现联动，由对称分布的三根升降导向杆实现导向和承重。
[0012]与现有技术相比，本专利技术一种半导体立式炉的五指机器人的优点为：本专利技术的五指机器人具有检测生产片有无的功能，能正确判断每次取放生产片是否成功；五指实现变距，石英舟槽距和暗盒槽距在一定范围内完全适用；该装置结构简单，运行可靠，故障率低；该装置制作方便，价格便宜；该装置的结构简单，维护维修方便。
附图说明
[0013]图1是本专利技术一种半导体立式炉的五指机器人的立体结构示意图。
[0014]图2是本专利技术一种半导体立式炉的五指机器人的平面剖视结构示意图。
[0015]图3是本专利技术一种半导体立式炉的五指机器人的平面仰视结构示意图。
[0016]图4是本专利技术一种半导体立式炉的五指机器人升降机构的结构示意图。
[0017]图5是本专利技术一种半导体立式炉的五指机器人的俯视结构示意图。
[0018]图6是本专利技术一种半导体立式炉的五指机器人的结构示意图。
[0019]图中，1、检测传感器；2、陶瓷手指；3、变距机构伸缩滑台；4、中指机构伸缩滑台；5、第一指支架；6、第五指支架；7、第二指支架；8、第四指支架；9、第一和第五指联接丝杆；10、第二和第四指联接丝杆；11、变距电机；12、变距导向杆；13、变距小从动轮；14、变距张紧轮；15、变距主动轮；16、变距大从动轮；17、旋转电机；18、转动盘；19、升降主动轮；20、升降皮带；21、升降电机；22、升降丝杆；23、升降从动轮；24、升降导向杆；25、防护底套。
具体实施方式
[0020]以下是本专利技术的具体实施例并结合附图，对本专利技术的技术方案作进一步的描述，但本专利技术并不限于这些实施例。
[0021]如图1
‑
图6所示，本专利技术一种半导体立式炉的五指机器人，一种半导体立式炉的五指机器人，包括检测传感器1、陶瓷手指2、变距机构伸缩滑台3、中指机构伸缩滑台4和防护底套25，防护底套25的顶端安装有安装支架7，安装支架7的一端安装有旋转电机17，旋转电机17通过转动盘18与变距机构伸缩滑台3连接，中指机构伸缩滑台4设置在变距机构伸缩滑台3的顶端，变距机构伸缩滑台3与陶瓷手指2连接，检测传感器1设置在陶瓷手指2表面，防护底套25的内部安装有升降机构；
[0022]陶瓷手指2由第一指支架5、第五指支架6、第二指支架7和第四指支架8组成，其中，第一指支架5和第五指支架6之间设有第一和第五指联接丝杆9，第二指支架7和第四指支架8之间设有第二和第四指联接丝杆10，第一指支架5、第五指支架6、第二指支架7和第四指支架8均通过滑块连接有变距导向杆12；
[0023]第一和第五指联接丝杆9直连有变距小从动轮13，第二和第四指联接丝杆10直连有变距大从动轮16，变距大从动轮16和变距小从动轮13通过皮带连接有变距张紧轮14和变距主动轮15，变距主动轮15直连有变距电机11；
[0024]变距大从动轮16的直径为变距小从动轮13直径的两倍。
[0025]升降机构包括升降主动轮19、升降皮带20、升降电机21、升降丝杆22、升降从动轮
23和三个升降导向杆24，升降电机21与升降主动轮19直联，升降从动轮23与升降丝杆22直联，通过升降皮带20实现联动，由对称分布的三根升降导向杆24实现导向和承重。
[0026]其中五指变距功能实现：其中陶瓷手指2依次从上到下(第1指
‑
第5指)安装在手指支架上，中指机构(第3指)独立固定在一个伸缩滑台，不参与变距运动。第1、2、4、5指具有相同的结构，手指支架由铝块组装后固定在两个对称分布滑块上组成，滑块固定在变距导向杆12上，滑块之间的联接件安装有轴承。第1、5指支架通过自身对称滑块之间的轴承与第1和5指联接丝杆9直联；第2、4指支架通过自身对称滑块之间的轴承与第二和第四指联接丝杆10直联。其中第一和第五指联接丝杆9、第二和第四指联接丝杆10的上下对称分布正反的螺纹，丝杆上半部分为正向螺纹，丝杆下半部分为反向螺纹。当丝杆正向旋转时，第1指和第2指向上运动，第4、5指向下运动；反之，当丝杆反向旋转时，第1指和第2指向下运动，第4、5指向上运动。第一和第五指联接丝杆9与变距小从动轮13直联，第二和第四本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体立式炉的五指机器人，包括检测传感器(1)、陶瓷手指(2)、变距机构伸缩滑台(3)、中指机构伸缩滑台(4)和防护底套(25)，其特征在于，所述防护底套(25)的顶端安装有安装支架(7)，所述安装支架(7)的一端安装有旋转电机(17)，所述旋转电机(17)通过转动盘(18)与变距机构伸缩滑台(3)连接，所述中指机构伸缩滑台(4)设置在变距机构伸缩滑台(3)的顶端，所述变距机构伸缩滑台(3)与陶瓷手指(2)连接，所述检测传感器(1)设置在陶瓷手指(2)表面，所述防护底套(25)的内部安装有升降机构；所述陶瓷手指(2)由第一指支架(5)、第五指支架(6)、第二指支架(7)和第四指支架(8)组成，其中，第一指支架(5)和第五指支架(6)之间设有第一和第五指联接丝杆(9)，第二指支架(7)和第四指支架(8)之间设有第二和第四指联接丝杆(10)，第一指支架(5)、第五指...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹昊，李克，
申请(专利权)人：湖南艾科威半导体装备有限公司，
类型：发明
国别省市：