晶棒运输或切割滴液防护装置制造方法及图纸

技术编号:37072177 阅读:15 留言:0更新日期:2023-03-29 19:49
本申请涉及晶片生产技术领域,尤其是涉及一种晶棒运输或切割滴液防护装置,包括:收集盒、防护板件及连接构件,防护板件的两端分别与收集盒以及连接构件相连接。本晶棒运输或切割滴液防护装置可应用在移动晶棒的机械手系统上,当安装有本防护装置的机械手系统的夹持机构夹持并运输晶棒时,晶棒位于夹持机构的下方,防护板件通过连接构件安装在夹持机构的传动结构的外壳上,防护板件位于晶棒的一侧,避免油液或者切削液崩落到其他地方,收集盒则位于传动机构和晶棒的下方,夹持机构的传动结构上掉落的油液或者晶棒上掉落的切削液等,会落进收集盒内,进而避免掉落在其他位置,无需在进行后期的擦拭,省时省力,有助于提升工作车间的洁净。间的洁净。间的洁净。

【技术实现步骤摘要】
晶棒运输或切割滴液防护装置


[0001]本申请涉及晶片生产
,尤其是涉及一种晶棒运输或切割滴液防护装置。

技术介绍

[0002]目前,硅晶片的生产流程为先在铸锭炉中铸锭形成晶锭,再将晶锭在开方机上开方形成晶棒,然后将晶棒粘接在晶托上,最后将载有晶棒的晶托装于切片机上进行切片,制成硅晶片,最后经过脱胶、清洗、烘干后得到硅晶片成品。其中在机械手运输晶棒的过程中,机械手的传动机构会出现滴油的问题,当晶棒自身残留切削液或者清洗液时,在传送过程中,也会出现滴切削液的问题。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种晶棒运输或切割滴液防护装置,在一定程度上解决了现有技术中存在的晶棒切割生产过程中,在机械手运输晶棒时,存在滴油或者切削液等技术问题。
[0004]本申请提供了一种晶棒运输或切割滴液防护装置,包括:收集盒、防护板件以及连接构件;其中,所述防护板件的一端与所述收集盒相连接,所述防护板件的相对的另一端与所述连接构件相连接。
[0005]在上述技术方案中,进一步地,所述收集盒为内部中空且顶部开口的盒体,所述盒体的底部包括倾斜板件、孔板以及收集板;
[0006]其中,所述倾斜板件的数量为多个,且多个所述倾斜板件围设成漏斗状结构;
[0007]所述孔板设置于所述漏斗状结构的顶部开口处,所述收集板围设在孔板的下方以形成收纳腔。
[0008]在上述任一技术方案中,进一步地,所述收纳腔的远离所述孔板的一侧形成有排出口,且所述排出口设置有排泄阀。
[0009]在上述任一技术方案中,进一步地,所述盒体呈方形,所述倾斜板件的数量为四个且分别与方形的所述盒体的四边相一一对应。
[0010]在上述任一技术方案中,进一步地,所述防护板件与所述连接构件可拆卸连接。
[0011]在上述任一技术方案中,进一步地,所述防护板件与所述连接构件相卡接。
[0012]在上述任一技术方案中,进一步地,所述连接构件的一侧形成有卡槽,所述防护板件的端部形成有卡设部,且所述卡设部卡设于所述卡槽内。
[0013]在上述任一技术方案中,进一步地,所述连接构件的另一侧形成有延伸卡设部,且所述延伸卡设部用于卡设在目标位置。
[0014]在上述任一技术方案中,进一步地,所述防护板件与所述连接构件同向延伸,且所述防护板件的长度小于所述连接构件的长度。
[0015]在上述任一技术方案中,进一步地,所述防护板件的数量为两个,且两个所述防护板件分别设置于所述收集盒的相对的两侧部;和/或
[0016]所述连接构件与所述收集盒通过紧固构件可拆卸连接。
[0017]与现有技术相比,本申请的有益效果为:
[0018]本申请提供的晶棒运输或切割滴液防护装置可应用在移动晶棒的机械手系统上,当安装有本晶棒运输或切割滴液防护装置的机械手系统的夹持机构夹持并运输晶棒时,晶棒位于夹持机构的下方,防护板件通过连接构件安装在夹持机构的传动结构的外壳上,防护板件位于晶棒的一侧,避免油液或者切削液崩落到其他地方,收集盒则位于传动机构和晶棒的下方,夹持机构的传动结构上掉落的油液或者晶棒上掉落的切削液或者清洗液,会在重力的作用下落进收集盒内,也即被收集进收集盒内,进而避免掉落在其他位置,无需在进行后期的擦拭,省时省力,有助于提升工作车间的洁净。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本申请的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本申请实施例提供的晶棒运输或切割滴液防护装置的结构示意图;
[0021]图2为本申请实施例提供的晶棒运输或切割滴液防护装置的又一结构示意图。
[0022]附图标记:
[0023]1‑
收集盒,11

倾斜板件,12

孔板,2

防护板件,21

卡设部,3

连接构件,31

第一安装部,32

第二安装部,33

第三安装部,34

延伸卡设部,35

卡槽。
具体实施方式
[0024]下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0025]通常在此处附图中描述和显示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此,以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围,而是仅仅表示本申请的选定实施例。
[0026]基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
[0027]在本申请的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0028]在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0029]下面参照图1和图2描述根据本申请一些实施例所述的晶棒运输或切割滴液防护装置。
[0030]参见图1所示,本申请的实施例提供了一种晶棒运输或切割滴液防护装置,包括:收集盒1、防护板件2以及连接构件3;其中,防护板件2的一端与收集盒1相连接,防护板件2的相对的另一端与连接构件3相连接。
[0031]基于以上描述的结构可知,本申请提供的晶棒运输或切割滴液防护装置可应用在移动晶棒的机械手系统上,当安装有本晶棒运输或切割滴液防护装置的机械手系统的夹持机构夹持并运输晶棒时(注意:夹持机构具体是夹持晶托,晶棒安装在晶托上),晶棒位于夹持机构的下方,防护板件2通过连接构件3安装在夹持机构的传动结构的外壳上,防护板件2位于晶棒的一侧,避免油液或者切削液崩落到其他地方,收集盒1则位于传动机构和晶棒的下方,夹持机构的传动结构上掉落的油液或者晶棒上掉落的切削液或者清洗液,会在重力的作用下落进收集盒1内,也即被收集进收集盒1内,进而避免掉落在其他位置,无需在进行后期的擦拭,省时省力,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒运输或切割滴液防护装置,其特征在于,包括:收集盒、防护板件以及连接构件;其中,所述防护板件的一端与所述收集盒相连接,所述防护板件的相对的另一端与所述连接构件相连接。2.根据权利要求1所述的晶棒运输或切割滴液防护装置,其特征在于,所述收集盒为内部中空且顶部开口的盒体,所述盒体的底部包括倾斜板件、孔板以及收集板;其中,所述倾斜板件的数量为多个,且多个所述倾斜板件围设成漏斗状结构;所述孔板设置于所述漏斗状结构的顶部开口处,所述收集板围设在所述孔板的下方以形成收纳腔。3.根据权利要求2所述的晶棒运输或切割滴液防护装置,其特征在于,所述收纳腔的远离所述孔板的一侧形成有排出口,且所述排出口设置有排泄阀。4.根据权利要求2所述的晶棒运输或切割滴液防护装置,其特征在于,所述盒体呈方形,所述倾斜板件的数量为四个且分别与方形的所述盒体的四侧壁相一一对应。5.根据权利要求1所述的晶棒运输或切割滴液防护装置,其...

【专利技术属性】
技术研发人员:请求不公布姓名
申请(专利权)人:广东利元亨智能装备股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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