一种单晶炉用密封炉盖制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉用密封炉盖，包括炉盖，所述炉盖的盖体外侧设有炉盖下法兰，沿着所述炉盖的盖体内设有一圈L型内壁，所述炉盖底部的延伸段上设有可拆卸的第一L型密封圈，所述L型内壁底部的延伸段上设有可拆卸的第二L型密封圈，所述第一L型密封圈和第一L型密封圈相对应设置，通过一组相对设置的第一L型密封圈和第一L型密封圈，能够将炉体壁的内外两侧同时进行密封，大大提高了密封性能，而且第一L型密封圈和第一L型密封与炉盖之间为可拆卸设计，维修替换起来也非常的方便。维修替换起来也非常的方便。维修替换起来也非常的方便。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用密封炉盖


[0001]本技术涉及单晶炉
，具体为一种单晶炉用密封炉盖。

技术介绍

[0002]单晶炉是单晶硅生产过程中必不可少的装置，现有的炉盖通常都是在盖体内黏贴固定一层密封圈来与炉体进行密封，由于炉盖与炉体之间经常需要打开过闭合，再使用一定时长后，密封圈容易老化，导致密封效果下降，另外，更换密封圈也比较麻烦。
技术
[0003]本技术的目的在于提供一种单晶炉用密封炉盖，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶炉用密封炉盖，包括炉盖，所述炉盖的盖体外侧设有炉盖下法兰，沿着所述炉盖的盖体内设有一圈L型内壁，所述炉盖底部的延伸段上设有可拆卸的第一L型密封圈，所述L型内壁底部的延伸段上设有可拆卸的第二L型密封圈，所述第一L型密封圈和第二L型密封圈相对应设置。
[0005]优选的，所述炉盖底部的延伸段上设有多个第一定位孔，所述炉盖的盖壁上设有多个第一螺纹槽；
[0006]所述第一L型密封圈的底部设有多个第一定位销，所述第一L型密封圈的上壁上设有多个第一安装孔。
[0007]优选的，所述第一定位销插于第一定位孔内，所述第一L型密封圈的上壁紧贴于炉盖的盖壁，所述第一螺纹槽与第一安装孔相对应，且通过螺栓固定。
[0008]优选的，所述L型内壁底部的延伸段上设有多个第二定位孔，所述L型内壁的壁体上设多个第二螺纹槽；
[0009]所述第二L型密封圈的底部设有多个第二定位销，所述第二L型密封圈的上壁上设有多个第二安装孔。
[0010]优选的，所述第二定位销插于第二定位孔内，所述第二L型密封圈的上壁与L型内壁紧贴，所述第一螺纹槽与第一安装孔相对应，同样也通过螺栓固定。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术结构简单，设计新颖，通过一组相对设置的第一L型密封圈和第二L型密封圈，能够将炉体壁的内外两侧同时进行密封，大大提高了密封性能，而且第一L型密封圈和第二L型密封圈与炉盖之间为可拆卸设计，维修替换起来也非常的方便。
附图说明
[0012]图1为本技术整体结构示意图；
[0013]图2为本技术炉盖内部结构剖视示意图；
[0014]图3为本技术炉盖的局部结构示意图；
[0015]图4为本技术第一L型密封圈的局部结构示意图；
[0016]图5为本技术L型内壁的结构示意图；
[0017]图6为本技术第二L型密封圈的局部结构示意图。
实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1
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6，本技术提供一种技术方案：一种单晶炉用密封炉盖，包括炉盖1，所述炉盖1的盖体外侧设有炉盖下法兰5，用于与炉体相连接。
[0020]再沿着所述炉盖1的盖体内设置一圈L型内壁2，这样炉盖1的盖壁与L型内壁2之间，所形成的区域正好方便于炉体的炉壁插入。
[0021]在所述炉盖1底部的延伸段上设置一个可拆卸的第一L型密封圈3，同样在所述L型内壁2底部的延伸段上也设置一个可拆卸的第二L型密封圈4，且第一L型密封圈3和第二L型密封圈4相对应设置，这样就可以将炉体壁的内外两侧同时进行密封。
[0022]本实施例中，在所述炉盖1底部的延伸段上开设多个第一定位孔11，所述炉盖1的盖壁上开设多个第一螺纹槽12；
[0023]另外，在所述第一L型密封圈3的底部设置多个第一定位销31，并在所述第一L型密封圈3的上壁上设置多个第一安装孔32；
[0024]将上述的第一定位销31插于第一定位孔11内，此时第一L型密封圈3的上壁紧贴于炉盖1的盖壁，且第一螺纹槽12与第一安装孔32相对应，就可以通过螺栓将第一螺纹槽12与第一安装孔32进行固定，即可将第一L型密封圈安装于炉盖1的盖壁上。
[0025]本实施例中，在所述L型内壁2底部的延伸段上开设多个第二定位孔21，并在所述L型内壁2的壁体上开设多个第二螺纹槽22；
[0026]另外，在所述第二L型密封圈4的底部设置多个第二定位销41，并在所述第二L型密封圈4的上壁上设置多个第二安装孔42；
[0027]将上述的第二定位销41插于第二定位孔21内，此时第二L型密封圈4的上壁与L型内壁2紧贴，且第二螺纹槽22与第二安装孔42相对应，然后就可以通过螺栓将第二螺纹槽22与第二安装孔42进行固定，即可将第二L型密封圈安装于L型内壁上。
[0028]综上所述，通过一组相对设置的第一L型密封圈和第二L型密封圈，能够将炉体壁的内外两侧同时进行密封，大大提高了密封性能，而且第一L型密封圈和第二L型密封圈与炉盖之间为可拆卸设计，维修替换起来也非常的方便。
[0029]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用密封炉盖，包括炉盖（1），所述炉盖（1）的盖体外侧设有炉盖下法兰（5），其特征在于：沿着所述炉盖（1）的盖体内设有一圈L型内壁（2），所述炉盖（1）底部的延伸段上设有可拆卸的第一L型密封圈（3），所述L型内壁（2）底部的延伸段上设有可拆卸的第二L型密封圈（4），所述第一L型密封圈（3）和第二L型密封圈（4）相对应设置。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用密封炉盖，其特征在于：所述炉盖（1）底部的延伸段上设有多个第一定位孔（11），所述炉盖（1）的盖壁上设有多个第一螺纹槽（12）；所述第一L型密封圈（3）的底部设有多个第一定位销（31），所述第一L型密封圈（3）的上壁上设有多个第一安装孔（32）。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉用密封炉盖，其特征在于：所述第一定...

【专利技术属性】
技术研发人员：周航，耿伟，顾少俊，余珺，
申请(专利权)人：鑫德斯特电子设备安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：