本实用新型专利技术公开了一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装，包括：主体支架；承托机构，承托机构与主体支架沿上下方向滑移配合，承托机构包括托板和挂接母座，托板的前端具有适于内置加料器的支撑轴通过的贯穿孔一，托板与主体支架沿上下方向滑移配合，托板上可拆卸固定挂接母座，挂接母座呈上端敞口的圆筒状，挂接母座的内部限定形成容纳接头的内腔，挂接母座的底部中心开设有与贯穿孔一相对应的贯穿孔二；抱夹机构，抱夹机构包括两个对称设置的第一抱夹和第二抱夹，第一抱夹和第二抱夹沿水平方向间隔开，第一抱夹和第二抱夹分别与主体支架水平滑移配合；传动机构，传动机构有两个，传动机构的一端与托板连接，其另一端与抱夹机构连接。夹机构连接。夹机构连接。
【技术实现步骤摘要】
适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装
[0001]本技术涉及硬轴单晶炉领域，尤其是涉及一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装。
技术介绍
[0002]随着科技不断进步，对单晶材料的品质要求也越来越高。硬轴单晶炉不存在软轴单晶炉软轴系统类似于单摆和弹簧振子容易产生固有共振干扰的结构特点，在提高单晶材料生长的成晶率和晶体内在品质方面相对软轴系统更有优势。但是硬轴系统结构相对复杂，为保证高位置精度，籽晶硬轴固定到炉机架上，因此当籽晶硬轴下降到副炉室内时是不允许副炉室移动的。同时单晶炉的内置加料器是一个长度大于1.5米，装料后重量大于150Kg的、易损坏的石英玻璃圆柱体，因此将装料的内置加料器放置入固定的副炉室内是困难的，给硬轴单晶炉加料过程带来不便。
[0003]现有的转移工装主要为包裹式工装，由于内置加料器长度较大、体积较大，所以现有的转移装置体积较大，使用不方便。
[0004]料管悬挂起来时，由于惯性作用下，料管会出现类似单摆的运动。而料管是易碎的石英玻璃，在转移过程中料管容易撞到周围物体。
技术实现思路
[0005]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
[0006]为此，本技术在于提出一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装，所述转移工装，包括：
[0007]承托机构，用于承托内置加料器的接头，所述承托机构与所述主体支架沿上下方向滑移配合，所述承托机构包括托板和挂接母座，所述托板的前端具有适于内置加料器的支撑轴通过的贯穿孔一，所述托板左右两端与所述主体支架沿上下方向滑移配合，所述托板上可拆卸固定所述挂接母座，所述挂接母座呈上端敞口的圆筒状，所述挂接母座的内部限定形成容纳所述接头的内腔，所述挂接母座的底部中心开设有与所述贯穿孔一相对应的贯穿孔二；
[0008]抱夹机构，所述抱夹机构包括两个对称设置的第一抱夹和第二抱夹，所述第一抱夹和所述第二抱夹沿水平方向间隔开，所述第一抱夹和所述第二抱夹分别与所述主体支架水平滑移配合；
[0009]传动机构，所述传动机构有两个，所述传动机构的一端与所述托板连接，其另一端与所述抱夹机构连接，当所述内置加料器放置于所述托板上时，所述托板下降，所述托板通过所述传动机构带动所述第一抱夹和所述第二抱夹相向运动，以使所述第一抱夹和所述第二抱夹对所述内置加料器环抱夹持，所述抱夹机构呈夹紧状态。
[0010]在本技术的一些实施例中，所述转移工装还包括弹性复位机构，所述弹性复位机构底部固定在所述主体支架上，所述弹性复位机构顶部与所述托板相连，当所述内置
加料器放置于所述托板上时，所述托板下降，所述弹性复位机构向下压缩，以使所述第一抱夹和所述第二抱夹对所述内置加料器环抱夹持，所述内置加料器脱离所述托板时，弹性复位机构向上复位带动托板、传动机构向上运动，所述第一抱夹和所述第二抱夹背向运动，以使所述第一抱夹和所述第二抱夹具有允许所述内置加料器通过的开口，所述抱夹机构呈打开状态。
[0011]在本技术的一些实施例中，所述弹性复位机构包括底板、压缩弹簧和导向杆，所述底板通过多个调节螺栓水平固定于所述主体支架上端水平杆上，多个所述导向杆从下而上依次穿过水平杆、底板和托板，多个所述导向杆的底部固定在所述水平杆上，多个所述导向杆上套设压缩弹簧，多个所述导向杆的顶部穿过所述托板，并与托板固定连接，多个所述压缩弹簧的上端与所述托板的下表面连接，其下端与所述底板连接。
[0012]在本技术的一些实施例中，所述主体支架上部的左右两端对称固定一个滑轨一，两个所述滑轨一竖向设置，所述托板的左右两端垂直对称固定有与两个所述滑轨一相对应的滑块一，所述托板通过所述滑块一与所述滑轨一滑移配合。
[0013]在本技术的一些实施例中，所述主体支架的下部水平固定水平滑轨，所述第一抱夹和所述第二抱夹分别安装一个水平滑块，两个所述水平滑块与所述水平滑轨滑移配合。
[0014]在本技术的一些实施例中，所述传动机构包括竖向连杆、倾斜连杆、连接块一、连接块二和连接块三，两个所述滑块一上分别固定有连接块一，两个所述水平滑块相互靠近的一端对称固定有连接块三，所述主体支架下部的左右两端对称固定一个滑轨二，两个所述滑轨二竖向设置，所述滑轨二位于所述滑轨一和所述水平滑轨之间，两个所述滑轨二上分别滑移配合滑块二，两个所述滑块二上对称固定所述连接块二，所述竖向连杆的上端与所述连接块一转动连接，所述竖向连杆的下端与所述连接块二的一端转动连接，所述倾斜连杆的上端与所述连接块二转动连接，所述倾斜连杆的下端与所述连接块三转动连接。
[0015]在本技术的一些实施例中，所述竖向连杆包括连杆一和连杆二，所述连杆一和所述连杆二呈半径相等的圆杆状，所述连杆一的一端被构造成矩形板一，其另一端被构造成半径小于连杆一的螺纹杆，所述连杆二的一端开设有与所述螺纹杆相配适的螺纹孔，其另一端被构造成矩形板二，所述螺纹杆与所述螺纹孔螺纹连接，并通过紧固螺母螺纹紧固，通过调整螺纹杆旋入螺纹孔的深度，以使得所述竖向连杆的整体长度可调。
[0016]在本技术的一些实施例中，所述主体支架的底部垂直固定半环形板，所述半环形板具有与所述内置加料器相配适的半圆形槽。
[0017]在本技术的一些实施例中，所述内腔的底部呈倒圆锥状，所述贯穿孔二从所述挂接母座的底部中心延伸至边沿。
[0018]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0019](1)本技术的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装，包括主体支架、承托机构、抱夹机构和传动机构，承托机构与主体支架沿上下方向滑移配合，承托机构包括托板和挂接母座，抱夹机构与主体支架水平滑移配合，传动机构的一端与托板连接，其另一端与抱夹机构连接，本技术通过将接头固定在挂接母座中，只需要一组抱夹机构即能实现内置加料器的抱紧效果，因此大大缩短了转移工装的长度，减小了体积，同时由于内置加料
器顶部的接头被固定，内置加料器侧壁也被固定，因此可以避免出现类似单摆的运动，防止料管在转移过程中撞到周围物体，延长内置加料器的使用寿命。
[0020](2)本技术的转移工装还包括弹性复位机构，弹性复位机构包括底板、压缩弹簧、导向杆和调节螺栓，使得接头向上运动离开托板时，弹性复位机构自动复位，抱夹机构打开。弹性复位机构是利用压缩弹簧弹力使托板恢复原位，通过调节四个调节螺栓的旋入和旋出可以调节底板的位置，进而调节压缩弹簧的压缩量、达到调节弹力和调节托板运动行程的目的，可以控制内置加料器的运动行程和抱夹机构的抱紧程度，以此适应不同直径的内置加料器。
[0021](3)竖向连杆包括连杆一和连杆二，连杆一的一端被构造成半径小于连杆一的螺纹杆，连杆二的一端开设有与螺纹杆相配适的螺纹孔，通过调整螺纹杆旋入螺纹孔的深度来调整竖向连杆的整体长度，进而使得第一抱夹和第二抱夹对称，同时还可以对第一抱夹和第二抱夹的抱紧程度进行微调。
[0022](4)主体支架的底部垂直固定半环形板，半环形板具有本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装，其特征在于，包括：主体支架；承托机构，用于承托内置加料器的接头，所述承托机构与所述主体支架沿上下方向滑移配合，所述承托机构包括托板和挂接母座，所述托板的前端具有适于内置加料器的支撑轴通过的贯穿孔一，所述托板左右两端与所述主体支架沿上下方向滑移配合，所述托板上可拆卸固定所述挂接母座，所述挂接母座呈上端敞口的圆筒状，所述挂接母座的内部限定形成容纳所述接头的内腔，所述挂接母座的底部中心开设有与所述贯穿孔一相对应的贯穿孔二；抱夹机构，所述抱夹机构包括两个对称设置的第一抱夹和第二抱夹，所述第一抱夹和所述第二抱夹沿水平方向间隔开，所述第一抱夹和所述第二抱夹分别与所述主体支架水平滑移配合；传动机构，所述传动机构有两个，所述传动机构的一端与所述托板连接，其另一端与所述抱夹机构连接，当所述内置加料器放置于所述托板上时，所述托板下降，所述托板通过所述传动机构带动所述第一抱夹和所述第二抱夹相向运动，以使所述第一抱夹和所述第二抱夹对所述内置加料器环抱夹持，所述抱夹机构呈夹紧状态。2.根据权利要求1所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装，其特征在于，还包括弹性复位机构，所述弹性复位机构底部固定在所述主体支架上，所述弹性复位机构顶部与所述托板相连，当所述内置加料器放置于所述托板上时，所述托板下降，所述弹性复位机构向下压缩，以使所述第一抱夹和所述第二抱夹对所述内置加料器环抱夹持，所述内置加料器脱离所述托板时，弹性复位机构向上复位带动托板、传动机构向上运动，所述第一抱夹和所述第二抱夹背向运动，以使所述第一抱夹和所述第二抱夹具有允许所述内置加料器通过的开口，所述抱夹机构呈打开状态。3.根据权利要求2所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移工装，其特征在于，所述弹性复位机构包括底板、压缩弹簧和导向杆，所述底板通过多个调节螺栓水平固定于所述主体支架上端的水平杆上，多个所述导向杆从下而上依次穿过水平杆、底板和托板，多个所述导向杆的底部固定在所述水平杆上，多个所述导向杆上套设压缩弹簧，多个所述导向杆的顶部穿过所述托板，并与托板固定连接，多个所述压缩弹簧的上端与所述托...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋涛，张理杰，汪佳，王晓明，蒋玉娇，
申请(专利权)人：徐州鑫晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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