一种拆卸装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及晶圆反应设备技术领域，具体涉及一种拆卸装置。本发明专利技术提供的拆卸装置包括锁板、锁块和顶推件，所述锁板与穹顶可拆卸连接；在拆卸穹顶时，先将锁板与穹顶相连，再将锁块连接在喷淋盘上，然后驱动顶推件带动穹顶向上移动，由于顶推件下端抵在锁块上，而锁块与喷淋盘相连，因此喷淋盘不动，进而使穹顶与喷淋盘分离，可以比较省力、高效的单独拆卸穹顶，并且拆卸过程中不需要是用橡胶锤，且顶推件也没有抵在喷淋盘上，因此不会造成穹顶和喷淋盘出现拆痕或损坏。现拆痕或损坏。现拆痕或损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种拆卸装置


[0001]本专利技术涉及晶圆反应设备
，具体涉及一种拆卸装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造工艺中，通常需要使用镀膜设备对晶圆进行镀膜。现有的镀膜设备通常为一个密闭的反应腔，在反应腔的顶端设有盖板，在盖板上侧设有喷淋盘和穹顶，穹顶盖合在喷淋盘上并通过销钉定位，然后通过螺钉固定，且二者之间设置密封圈，以使穹顶和喷淋盘之间形成密闭的容纳腔；穹顶中部设有与所述容纳腔连通的进气孔，一组反应气组通过进气孔分散后穿过喷淋盘与另一组反应气组从喷淋盘侧进入喷淋盘夹层并从喷淋盘第二组孔进入反应腔内后进行混合。
[0003]然而现有技术中没有专门拆卸穹顶的设备，由于穹顶与喷淋盘之间设有密封圈，且二者之间通过两个销钉定位，因此在拆卸穹顶时，通常会将喷淋盘连带拆卸下来；故现有技术中拆卸穹顶时，需要先将穹顶和喷淋盘之间的螺钉拧下来，然后通过橡胶锤锤击喷淋盘，使穹顶和喷淋盘之间的密封状态破开，然后才能够将穹顶拆卸下来，需要30
‑
60分钟完成一只穹顶的拆卸，拆卸效率低，且对穹顶与喷淋盘的外表面会造成伤害，留下拆卸痕迹。

技术实现思路

[0004](一)本专利技术所要解决的技术问题是：目前没有专门拆卸穹顶的结构，拆卸穹顶时需要橡胶锤敲击喷淋盘和穹顶，拆卸效率低，且会对穹顶和喷淋盘表面造成破坏，留下拆卸痕迹。
[0005](二)技术方案
[0006]为了解决上述技术问题，本专利技术一方面实施例提供了一种拆卸装置，所述拆卸装置包括锁板、锁块和顶推件，所述锁板与穹顶可拆卸连接；所述锁块与喷淋盘可拆卸连接；所述顶推件穿过所述锁板，下端抵在所述锁块上，且所述顶推件能够带动所述穹顶向上移动与所述喷淋盘分离。
[0007]根据本专利技术的一个实施例，所述顶推件包括顶丝，所述锁板上设有与所述顶丝配合的第一螺孔，所述顶丝的下端与第一螺孔旋合伸至所述锁板的下侧并与所述锁块相抵。
[0008]根据本专利技术的一个实施例，所述穹顶包括圆柱状的本体，在所述本体下端边缘形成向外侧延伸的圆环状的连接板。
[0009]根据本专利技术的一个实施例，所述锁板上设有第一通孔，所述连接板上设有第二螺孔，螺钉穿过所述第一通孔与所述第二螺孔配合，以连接所述锁板和所述穹顶。
[0010]根据本专利技术的一个实施例，所述锁板侧边缘上开设有弧形的凹口，圆柱状所述本体卡合于所述凹口内。
[0011]根据本专利技术的一个实施例，所述锁板设有两个，两个所述锁板对称设于所述本体的两侧。
[0012]根据本专利技术的一个实施例，所述锁板上设有握持孔。
[0013]根据本专利技术的一个实施例，所述喷淋盘的侧壁上设有卡孔，所述锁块与所述卡孔卡接配合。
[0014]根据本专利技术的一个实施例，所述锁块包括第一块体和第二块体，所述第一块体的上端与所述第二块体的一端垂直连接，所述第二块体卡合与所述卡孔内。
[0015]根据本专利技术的一个实施例，所述锁块设有四个，所述喷淋盘呈圆盘状，所述喷淋盘侧壁上均匀分布有四个所述卡孔；和/或，所述第一块体和第二块体一体成型。
[0016]本专利技术的有益效果：本专利技术提供的拆卸装置包括锁板、锁块和顶推件，所述锁板与穹顶可拆卸连接；在拆卸穹顶时，先将锁板与穹顶相连，再将锁块连接在喷淋盘上，然后驱动顶推件带动穹顶向上移动，由于顶推件下端抵在锁块上，而锁块与喷淋盘相连，因此喷淋盘不动，进而使穹顶与喷淋盘分离，可以比较省力、高效的单独拆卸穹顶，并且拆卸过程中不需要是用橡胶锤，且顶推件也没有抵在喷淋盘上，因此不会造成穹顶和喷淋盘出现拆痕或损坏。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0018]图1为本专利技术一个实施例提供的拆卸装置的立体图；
[0019]图2为本专利技术一个实施例提供的拆卸装置的爆炸图；
[0020]图3为本专利技术一个实施例提供的锁板的结构示意图；
[0021]图4为本专利技术一个实施例提供的锁块的结构示意图；
[0022]图5为喷淋盘与穹顶配合在一起的结构示意图；
[0023]图6为本专利技术一个实施例提供的穹顶的结构示意图；
[0024]图7为本专利技术一个实施例提供的喷淋盘的结构示意图。
[0025]图标：1
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锁板；11
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凹口；12
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第一螺孔；13
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第一通孔；14
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握持孔；
[0026]2‑
锁块；21
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第一块体；22
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第二块体；
[0027]3‑
喷淋盘；31
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卡孔；
[0028]4‑
穹顶；41
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本体；42
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连接板；421
‑
第二螺孔；
[0029]5‑
盖板；6
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顶丝。
具体实施方式
[0030]为了能够更清楚地理解本专利技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术进行进一步的详细描述，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0031]如图1至图7所示，本专利技术一方面实施例提供了一种拆卸装置，所述拆卸装置用于拆卸穹顶4，其中所述穹顶4为晶圆反应室的结构，晶圆反应室用于晶圆镀膜，其中在反应室
的上端设有盖板5，喷淋盘3设置在盖板5上，穹顶4通过螺钉与喷淋盘3固定，同时二者之间设有密封圈，内部形成一个密闭的容纳腔，其中喷淋盘3上设有喷淋孔，在穹顶4上设有进气孔，一组反应气组通过进气孔分散后穿过喷淋盘3与另一组反应气组从喷淋盘3侧进入喷淋盘夹层并从喷淋盘3上第二组孔进入反应腔内后进行混合喷淋盘3用于将反应气体混合均匀；本实施例提供的拆卸装置包括，锁板1、锁块2和顶推件，所述锁板1与穹顶4可拆卸连接；所述锁块2与喷淋盘3可拆卸连接；所述顶推件穿过所述锁板1，下端抵在所述锁块2上，且所述顶推件能够带动所述穹顶4向上移动与所述喷淋盘3分离。
[0032]本实施例提供的拆卸装置包括锁板1、锁块2和顶推件，在拆卸穹顶4时，先将锁板1与穹顶4相连，再将锁块2连接在喷淋盘3上，然后驱动顶推件带动穹顶4向上移动，由于顶推件下端抵在锁块2上，而锁块2与喷淋盘3相连，因此喷淋盘3不动，进而使穹顶4与喷淋盘3分离，可以比较省力、高效的单独拆卸穹顶4，不会将喷淋盘3拆卸下来，并且拆卸过程中不需要是用橡胶锤，且顶推件也没有抵在喷淋盘3上，因此不会造成穹顶4和喷本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种拆卸装置，其特征在于，所述拆卸装置包括锁板(1)、锁块(2)和顶推件，所述锁板(1)与穹顶(4)可拆卸连接；所述锁块(2)与喷淋盘(3)可拆卸连接；所述顶推件穿过所述锁板(1)，下端抵在所述锁块(2)上，且所述顶推件能够带动所述穹顶(4)向上移动与所述喷淋盘(3)分离。2.根据权利要求1所述的拆卸装置，其特征在于，所述顶推件包括顶丝(6)，所述锁板(1)上设有与所述顶丝(6)配合的第一螺孔(12)，所述顶丝(6)的下端与第一螺孔(12)旋合伸至所述锁板(1)的下侧并与所述锁块(2)相抵。3.根据权利要求1所述的拆卸装置，其特征在于，所述穹顶(4)包括圆柱状的本体(41)，在所述本体(41)下端边缘形成向外侧延伸的圆环状的连接板(42)。4.根据权利要求3所述的拆卸装置，其特征在于，所述锁板(1)上设有第一通孔(13)，所述连接板(42)上设有第二螺孔(421)，螺钉穿过所述第一通孔(13)与所述第二螺孔(421)配合，以连接所述锁板(1)和所述穹顶(4)。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙少东，黄勇，刘淞瑞，
申请(专利权)人：拓荆科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：