一种太阳能级硅片净化控制方法技术

本发明专利技术提供一种太阳能级硅片净化控制方法，步骤包括：将硅片置于封闭的储存腔内；控制所述储存腔内的颗粒度达到设定标准并使其内的气压达到正压状态；控制载有所述硅片的所述储存腔移动至目标位置处。本发明专利技术控制方法，可使硅片长时间储存在千级洁净的密闭空间内，以保证硅片在特殊工作环境中表面洁净度的要求，以提高硅片表面质量，可使硅片良品率可使硅片良品率从现有的92.5％上升到92.8％。良品率从现有的92.5％上升到92.8％。良品率从现有的92.5％上升到92.8％。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能级硅片净化控制方法


[0001]本专利技术属于太阳能硅片净化
，尤其是涉及一种太阳能级硅片净化控制方法。

技术介绍

[0002]现有电池组件在制绒、扩散及镀膜工序中，对硅片表面质量要求极高，虽然是在无尘车间内生产，但对于长距离周转运输时，硅片敞开放置时还是很容易被空气中的灰尘污染，导致硅片表面形成小黑点，影响硅片制绒、扩散及镀膜的效果，更加速硅片的报废，生产成本加大。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供一种太阳能级硅片净化控制方法，尤其是适用于太阳能硅片制程过程中的中转运输的保存，解决了现有技术中相邻工序之间运输时硅片容易被灰尘污染的技术问题。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：
[0005]一种太阳能级硅片净化控制方法，步骤包括：
[0006]将硅片置于封闭的储存腔内；
[0007]控制所述储存腔内的颗粒度达到设定标准并使其内的气压达到正压状态；
[0008]控制载有所述硅片的所述储存腔移动至目标位置处。
[0009]进一步的，所述将硅片置于封闭的储存腔内，步骤包括：
[0010]打开所述储存腔内的过滤系统和排气系统；
[0011]持续打开所述过滤系统并间断打开排气系统；
[0012]测试所述储存腔内的颗粒度，并使所述颗粒度不小于所述设定标准；
[0013]再控制所述储存腔内的气压，并使所述储存腔内外气压一致；
[0014]把所述硅片置于气压调整后的所述储存腔内。<br/>[0015]进一步的，所述设定标准为每立方米中所述颗粒度的个数不超过1000个，且所述颗粒度的大小不大于0.5μm。
[0016]进一步的，所述过滤系统包括带有风机的过滤器。
[0017]进一步的，所述控制所述储存腔内的颗粒度达到设定标准并使其内的气压达到正压状态，步骤包括：
[0018]先测试所述储存腔内的颗粒度；
[0019]若达到所述设定标准，则再调整所述储存腔内的气压为正压状态。
[0020]进一步的，若未达到所述设定标准，则先排出所述储存腔内的气体，再继续检测，直至所述颗粒度达到所述设定标准。
[0021]进一步的，所述控制载有所述硅片的所述储存腔移动至目标位置处，步骤包括：
[0022]控制所述储存腔的导航系统对所述储存腔四周进行探测扫描，并按照设定路线自
动避障行进；
[0023]基于所述导航系统，再控制所述储存腔的移动系统将载有所述硅片的所述储存腔移动至目标位置处。进一步的，所述导航系统包括配设为激光SLAM的导航仪；
[0024]所述移动系统包括若干滚轮。
[0025]进一步的，在所述储存腔内设置用于监控所述储存腔内的洁净度的粒子检测仪和用于监控所述储存腔内温度和湿度的温湿度检测仪。
[0026]进一步的，在所述储存腔内还设置用于测量所述储存腔内气压的压力传感器。
[0027]采用本专利技术设计的控制方法，可使硅片长时间储存在千级洁净的密闭空间内，以保证硅片在特殊工作环境中表面洁净度的要求，以提高硅片表面质量，可使硅片良品率从现有的92.5％上升到92.8％。
附图说明
[0028]图1是本专利技术一实施例的一种太阳能级硅片净化控制方法的流程图；
[0029]图2是本专利技术一实施例的储存腔的结构示意图；
[0030]图3是本专利技术一实施例的过滤网的结构示意图；
[0031]图4是本专利技术一实施例的储存腔的电路连接图。
[0032]图中：
[0033]10、储存腔
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
20、过滤器
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
30、过滤网
[0034]40、排风扇
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
50、排气口
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
60、粒子检测仪
[0035]70、压力传感器
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
80、导航仪
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
90、温湿度检测仪
具体实施方式
[0036]下面结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细说明。
[0037]本实施例提出一种太阳能级硅片净化控制方法，如图1所示，步骤包括：
[0038]将硅片置于封闭的储存腔内。
[0039]在本实施例中，储存腔10可用于放置硅片的空腔，结构如图2所示，前后有可自动打开的卷帘门，在其顶部设有过滤系统、并在其底部设有排气系统，从过滤系统进入的气流经过滤后再流经储存腔10后从排气系统排出，从而形成一个气流循环通道；同时过滤后的气体进入储存腔10后可对硅片进行千级纯净度的干燥保存。
[0040]其中，过滤系统包括两层过滤结构，置于上方的过滤网30和置于过滤网下方的过滤器20，其中，过滤网20为中间高周围低的锥形结构，结构如图3所示，并在过滤网20的周围设有用于收集灰尘的凹槽，被过滤网20过滤的大颗粒灰尘沿过滤网20的斜面下落至凹槽中。同时，过滤器20为FFU风机的过滤器，可直接从外部吸附空气进入储存腔10内并对空气进行千级的过滤，使进入储存腔10内的颗粒度不大于0.5μm，为硅片的储存提供质量保证。
[0041]排气系统包括若干排气口50和排风扇40，其中排风扇40的数量少于排气口50的数量，且其中排风扇40与排气口50错位设置，排风扇40也可作为排气孔进行排气。当储存腔10内的气压较大时，在设定时间内需要全部排出，基于压力差和时间，系统可自动计算出需要打开的通气面积，从而即可算出需要打开几个排气口50，在若干个排气口50中随机挑选几个排气口50，以排出气流；多余的排气口50还可作为备选孔，以备紧急情况使辅助使用。
[0042]为了保证储存腔10气密性，在每个排气口50中均设有单向控制阀，以使整个储存腔10可形成微正压的状态，即使储存腔10内部产生一个略高于储存腔10外部的大气压的干燥气压差，迫使外部环境中的潮气、灰尘、粉尘等不能侵入到储存腔10内，使存储硅片的储存腔10内的环境始终保持洁净、干燥的状态，避免出现漏气现象，以保护硅片表面质量，保证硅片存储的密封性和安全性。
[0043]在储存腔10内部还设有用于监控储存腔10内的洁净度的粒子检测仪60、用于监控储存腔10内温度和湿度的温湿度检测仪和用于测量储存腔10内气压的压力传感器70，其中，粒子检测仪60的型号可以为MET ONEHHPC2+，是千级空气粒子计数器；压力传感器70为常规的压力测试仪。
[0044]在储存腔10四侧面周围还设有由若干激光SLAM的导航仪组成的导航系统，目的是为了识别储存腔10移动加载时周围的环境；并在储存腔10的外壁面设有触摸屏的控制单元，其中控制单元分别与洁净单元、排气单元、卷帘门、导航单元、粒子检测仪60、压力传感器70、温湿度检测仪90和移动单元连接，电路连接如图4所示。通过激光SLAM导航议的设置可进一步确定储存腔10的精准位置，并可灵活敏捷地自主规本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太阳能级硅片净化控制方法，其特征在于，步骤包括：将硅片置于封闭的储存腔内；控制所述储存腔内的颗粒度达到设定标准并使其内的气压达到正压状态；控制载有所述硅片的所述储存腔移动至目标位置处。2.根据权利要求1所述的一种太阳能级硅片净化控制方法，其特征在于，所述将硅片置于封闭的储存腔内，步骤包括：打开所述储存腔内的过滤系统和排气系统；持续打开所述过滤系统并间断打开排气系统；测试所述储存腔内的颗粒度，并使所述颗粒度不小于所述设定标准；再控制所述储存腔内的气压，并使所述储存腔内外气压一致；把所述硅片置于气压调整后的所述储存腔内。3.根据权利要求2所述的一种太阳能级硅片净化控制方法，其特征在于，所述设定标准为每立方米中所述颗粒度的个数不超过1000个，且所述颗粒度的大小不大于0.5μm。4.根据权利要求2所述的一种太阳能级硅片净化控制方法，其特征在于，所述过滤系统包括带有风机的过滤器。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的一种太阳能级硅片净化控制方法，其特征在于，所述控制所述储存腔内的颗粒度达到设定标准并使其内的气压达到正压状态，步骤包括：先测试所述储存腔内的颗粒度；若达到所述设定标准，则再...

【专利技术属性】
技术研发人员：马擎天，仇慧生，任亚寅，
申请(专利权)人：环晟光伏江苏有限公司，
类型：发明
国别省市：