本实用新型专利技术提供一种散热装置，包括第一平台和支撑结构，第一平台固定在所述支撑结构上，第一平台上能够放置至少一个待降温的陶瓷盘，且第一平台的内部铺设有至少两个对称设置的第一流通通道，所有第一流通通道均匀且独立设置；在对待降温的陶瓷盘进行降温处理时，每个第一流通通道中均流通有冷却液，以减低冷却液在进入第一流通通道时对平整度的影响，同时将第一平台上的所有待降温的陶瓷盘的热量快速带走，从而达到对待降温的陶瓷盘快速降温冷却的目的，并提高了陶瓷盘的周转率，消除了因陶瓷盘的流通对生产效率的影响，提高了LED晶圆的生产效率。圆的生产效率。圆的生产效率。
【技术实现步骤摘要】
一种散热装置
[0001]本技术涉及发光二极管制造领域，特别涉及一种散热装置。
技术介绍
[0002]随着LED(Light Emitting Diode，发光二极管)在显示和照明领域的广泛应用，LED的市场需求数量呈现几何级数增加，这对LED的生产效率和生产成本提出了更高的要求，在目前的LED市场中，普遍以4寸LED晶圆为主，为了获得更大的产能，用于LED晶圆散热的陶瓷盘的尺寸越做越大，已经从原来的φ160mm发展到现在的φ360mm，其中，φ160mm的陶瓷盘只能承载一片4寸晶圆，φ360mm的陶瓷盘可以承载7片4寸晶圆。
[0003]目前，在LED晶圆的加工环节特别是减薄工程下蜡工序中，需要将加热后的陶瓷盘进行降温处理。陶瓷盘的通常冷却方式是：将陶瓷盘直接放置在不锈钢桌面进行自然冷却，其所需冷却时间长，而随着陶瓷盘的尺寸的增大，陶瓷盘自然冷却的时间更长，由于实际生产过程中陶瓷盘的数量有限，这就严重影响了下道上蜡工序的流畅性，从而降低了陶瓷盘的周转率和生产效率。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于，提供一种散热装置，可以解决加热的陶瓷盘自然冷却的时间长，降低了陶瓷盘的周转率，提高了LED晶圆的生产效率。
[0005]为了解决上述问题，本技术提供一种散热装置，包括第一平台和支撑结构，所述第一平台固定在所述支撑结构上，所述第一平台上能够放置至少一个待降温的陶瓷盘，且所述第一平台的内部铺设有至少两个对称设置的第一流通通道，所有所述第一流通通道独立设置；在对所述待降温的陶瓷盘进行降温处理时，每个所述第一流通通道中均流通有冷却液。
[0006]可选的，所有所述第一流通通道均匀且独立设置，所有所述第一流通通道的铺设区域覆盖了所述第一平台上能够放置所有所述待降温的陶瓷盘的所有区域，使得所有所述待降温的陶瓷盘的放置区域均铺设有所述第一流通通道。
[0007]可选的，还包括至少一个第二平台，所有所述第二平台和所述第一平台沿所述支撑结构的高度方向依次平行设置，且所述第一平台位于所有所述第二平台的上方，每个所述第二平台上能够放置至少一个所述待降温的陶瓷盘，每个所述第二平台的内部均铺设有至少一个第二流通通道，所有所述第二流通通道独立设置；在对所述待降温的陶瓷盘进行降温处理时，每个所述第二流通通道中均流通有冷却液。
[0008]进一步的，所有所述第二流通通道均匀且独立设置，所有所述第二流通通道的铺设区域覆盖了所述第二平台上能够放置所有所述待降温的陶瓷盘的所有区域，使得所有所述待降温的陶瓷盘的放置区域均铺设有所述第二流通通道。
[0009]进一步的，所述第一平台包括第一上板和第一下板，所述第一上板固定在所述第一下板上，所述第一上板朝向所述第一下板的表面上设置有第一导流槽，和/或，所述第一
下板朝向所述第一上板的表面上设置有第二导流槽；以及
[0010]每个所述第二平台均包括第二上板和第二下板，所述第二上板固定在所述第二下板上，所述第二上板朝向所述第二下板的表面上设置有第三导流槽，和/或，所述第二下板朝向所述第二上板的表面上设置有第四导流槽。
[0011]进一步的，所述第一流通通道和所述第二流通通道均具有第一端和第二端，所述第一流通通道的第一端和所述第二流通通道的第一端均输入所述冷却液，所述第一流通通道的第二端和所述第二流通通道的第二端均输出所述冷却液。
[0012]进一步的，所述第一流通通道的第一端设置有第一输入端，所述第一流通通道的第二端设置有第一输出端，所述第一输入端和第一输出端间隔设置，且所述第一输入端和第一输出端均设置在所述第一平台的侧壁上或者所述第一下板远离所述第一上板的表面上；以及
[0013]所述第二流通通道的第一端设置有第二输入端，所述第二流通通道的第二端设置有第二输出端，所述第二输入端和第二输出端间隔设置，且所述第二输入端和第二输出端均设置在所述第二平台的侧壁上或者所述第二下板远离所述第二上板的表面上。
[0014]进一步的，每个所述第一流通通道的外侧均设置有第一密封装置，所述第一密封装置从所述第一流通通道的外侧密封每个所述第一流通通道；以及
[0015]每个所述第二流通通道的外侧均设置有第二密封装置，所述第二密封装置从所述第二流通通道的外侧密封所述第二流通通道。
[0016]进一步的，所述第一平台的第一上板在远离所述第一平台的第一下板的表面的边缘处设置有第一挡板结构，所述第一挡板结构从外侧包围所述第一平台，并将所述第一平台上的所有所述待降温的陶瓷盘限位在其内侧，且所述第一挡板结构内侧的区域为所有所述第一流通通道的铺设区域；以及
[0017]所述第二上板在远离所述第二下板的表面的边缘处设置有第二挡板结构，所述第二挡板结构从外侧包围所述第二平台，并将所述第二平台上的所有所述待降温的陶瓷盘限位在其内侧，且所述第二挡板结构内侧的区域为所有所述第二流通通道的铺设区域。
[0018]进一步的，所述第一上板螺纹固定在所述第一下板上，且螺纹固定的区域位于所述第一挡板结构和第一密封装置之间，所述第一平台螺纹固定在所述支撑结构上，且螺纹固定的区域位于所述第一挡板结构所在区域；以及
[0019]所述第二上板螺纹固定在所述第二下板上，且螺纹固定的区域位于所述第二挡板结构和第二密封装置之间，所有所述第二平台均螺纹固定在所述支撑结构上，且螺纹固定的区域位于所述第二挡板结构所在区域。进一步的，所述支撑结构包括一支撑柱组件、一第一支撑框架、至少一个第二支撑框架和一第三支撑框架，所述第一支撑框架和第三支撑框架分别固定在所述支撑柱组件的两端，所有所述第二支撑框架平行固定在所述第一支撑框架和第三支撑框架之间，所述第一平台设置在所述第一支撑框架上，每个所述第二平台设置在一个所述第二支撑框架上，所述第三支撑框架用于辅助所述支撑柱组件增加所述支撑结构的稳固性和承载力。
[0020]进一步的，所述支撑结构能够转移并固定至预设位置处，所述支撑柱组件的另一端还设置有可移动组件，所述可移动组件位于所有所述第二平台远离所述第一平台的一侧；
[0021]其中，所述可移动组件包括多个滑轮，每个所述滑轮上设置有止动件，所述滑轮用于带动所述散热装置移动至预设位置处，所述止动件用于将所述散热装置固定在所述预设位置处。
[0022]进一步的，所述第一流通通道和第二流通通道的形状为直线形状、曲线形状、波浪线形状、迷宫状、蛇形或平面螺旋形中的至少一种。
[0023]进一步的，还包括冷却液供给装置，与所述第一输入端、第一输出端、第二输入端和第二输出端连接。
[0024]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0025]本技术提供一种散热装置，包括第一平台和支撑结构，所述第一平台固定在所述支撑结构上，所述第一平台上能够放置至少一个待降温的陶瓷盘，且所述第一平台的内部铺设有至少两个对称设置的第一流通通道，所有所述第一流通通道独立设置；在对所述待降温的陶瓷盘进行降温处理时，每个所述第一流通通道中均本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种散热装置，其特征在于，包括第一平台和支撑结构，所述第一平台固定在所述支撑结构上，所述第一平台上能够放置至少一个待降温的陶瓷盘，且所述第一平台的内部铺设有至少两个对称设置的第一流通通道，所有所述第一流通通道独立设置；在对所述待降温的陶瓷盘进行降温处理时，每个所述第一流通通道中均流通有冷却液。2.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所有所述第一流通通道均匀且独立设置，所有所述第一流通通道的铺设区域覆盖了所述第一平台上能够放置所有所述待降温的陶瓷盘的所有区域，使得所有所述待降温的陶瓷盘的放置区域均铺设有所述第一流通通道。3.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于，还包括至少一个第二平台，所有所述第二平台和所述第一平台沿所述支撑结构的高度方向依次平行设置，且所述第一平台位于所有所述第二平台的上方，每个所述第二平台上能够放置至少一个所述待降温的陶瓷盘，每个所述第二平台的内部均铺设有至少一个第二流通通道，所有所述第二流通通道独立设置；在对所述待降温的陶瓷盘进行降温处理时，每个所述第二流通通道中均流通有冷却液。4.如权利要求3所述的散热装置，其特征在于，所有所述第二流通通道均匀且独立设置，所有所述第二流通通道的铺设区域覆盖了所述第二平台上能够放置所有所述待降温的陶瓷盘的所有区域，使得所有所述待降温的陶瓷盘的放置区域均铺设有所述第二流通通道。5.如权利要求3所述的散热装置，其特征在于，所述第一平台包括第一上板和第一下板，所述第一上板固定在所述第一下板上，所述第一上板朝向所述第一下板的表面上设置有第一导流槽，和/或，所述第一下板朝向所述第一上板的表面上设置有第二导流槽；以及每个所述第二平台均包括第二上板和第二下板，所述第二上板固定在所述第二下板上，所述第二上板朝向所述第二下板的表面上设置有第三导流槽，和/或，所述第二下板朝向所述第二上板的表面上设置有第四导流槽。6.如权利要求5所述的散热装置，其特征在于，所述第一流通通道和所述第二流通通道均具有第一端和第二端，所述第一流通通道的第一端和所述第二流通通道的第一端均输入所述冷却液，所述第一流通通道的第二端和所述第二流通通道的第二端均输出所述冷却液。7.如权利要求6所述的散热装置，其特征在于，所述第一流通通道的第一端设置有第一输入端，所述第一流通通道的第二端设置有第一输出端，所述第一输入端和第一输出端间隔设置，且所述第一输入端和第一输出端均设置在所述第一平台的侧壁上或者所述第一下板远离所述第一上板的表面上；以及所述第二流通通道的第一端设置有第二输入端，所述第二流通通道的第二端设置有第二输出端，所述第二输入端和第二输出端间隔设置，且所述第二输入端和第二输出端均设置在所述第二平台的侧壁上或者所述第二下板远离所...
【专利技术属性】
技术研发人员：束伟，陶胜，蒋敏，葛银良，陈挺，
申请(专利权)人：杭州士兰明芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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