本实用新型专利技术涉及半导体器件技术领域，公开一种可测电的微型片转移装置，微型片转移装置包括：用于转移微型片的触头；用于驱动所述触头调整位姿的探针，且所述探针与所述触头固定连接或一体成型；以及用于测量所述微型片电特性的导电组件，所述导电组件的检测端设置于所述触头。本实用新型专利技术提供的微型片转移装置能够同步实现微型片的转移和电特性检测，简化作业工序，提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。
【技术实现步骤摘要】
一种可测电的微型片转移装置
[0001]本技术涉及半导体器件的
，尤其涉及一种可测电的微型片转移装置。
技术介绍
[0002]结构超滑是解决摩擦磨损问题的理想方案之一，结构超滑是指两个原子级光滑且非公度接触的范德华固体表面(如石墨烯、二硫化钼等二维材料表面)之间摩擦、磨损几乎为零的现象。超滑片是能够实现结构超滑的材料之一，超滑片的电特性是其重要的参数指标，但是由于其尺寸一般为微米级，因此其电特性测量较为复杂，尤其是在需要超滑片的组装作业中，对每个超滑片的电特性均有要求，因此需要对每个待转移的超滑片进行电测试。目前，在对超滑片样品进行电特性测试的时候，采用AFP(原子力纳米探针)的针尖接触样品表面，通过对原子力纳米探针施加电压来对样品加压，样品加压后启动工作产生几百微安的电流，以实现用原子力纳米探针对样品进行测试。
[0003]由于目前超滑片的电特性测量是组装等作业中的一个独立工序，在超滑片的电特性测量完成后，方可转移超滑片作业，操作较为麻烦，工作效率低。
[0004]因此亟需一种可测电的微型片转移装置，以解决上述的技术问题。
技术实现思路
[0005]基于以上所述，本技术的目的在于提供一种可测电的微型片转移装置，能够同步实现微型片的转移和电特性检测，简化作业工序，提高工作效率。
[0006]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]提供一种可测电的微型片转移装置，包括：
[0008]用于转移微型片的触头；
[0009]用于驱动所述触头调整位姿的探针，且所述探针与所述触头固定连接或一体成型；以及
[0010]用于测量所述微型片电特性的导电组件，所述导电组件的检测端设置于所述触头。
[0011]作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，所述触头的底部设置有用于粘取微型片的粘取部。
[0012]作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，所述粘取部采用具有吸附力的弹性透明材料制成，所述检测端嵌设于所述粘取部的内部或贴合于所述粘取部的外侧面。
[0013]作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，所述触头朝向所述微型片的一侧面设有导电涂层，或者在所述触头的底部中间区域设有导电涂层。
[0014]作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，所述导电组件还包括测电通道，所述触头上的所述检测端与外部设备通过所述测电通道电连接。
[0015]作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，所述外部设备包括用于向所述微型
片通电的通电组件和用于检测所述微型片电特性的检测组件，所述通电组件、所述检测组件均与所述微型片电连通。
[0016]作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，所述检测组件包括电压检测元件、电流检测元件和电导率仪中的任一种或多种。
[0017]作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，所述测电通道包括第一导电层、第二导电层和绝缘轴套，所述第一导电层包覆于所述探针的外周，所述第二导电层包覆于所述第一导电层的外周，所述绝缘轴套包覆于所述第二导电层的外周，所述第一导电层与所述第二导电层之间相互绝缘。
[0018]作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，所述外部设备的一个导电端通过导线和所述测电通道与所述触头上的所述检测端电连接，所述外部设备的另一个所述导电端通过导线与所述微型片电连接，所述触头粘取所述微型片时，所述检测端与所述微型片导通。
[0019]作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，所述微型片转移装置还包括用于检测所述触头受力的力传感器，所述力传感器与所述探针相连接。
[0020]作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，所述触头与所述探针可拆卸连接。
[0021]本技术的有益效果为：
[0022]本技术提供的可测电的微型片转移装置通过触头粘取超滑片，触头在空间内活动并能够压抵于平台上待转移的微型片，使得微型片能够粘接于粘取部，以实现转移微型片的功能。同时，微型片转移装置中还设有导电组件，导电组件的检测端设置于触头中，当触头抵接于微型片时，导电组件测量该微型片的电特性，以判断微型片的电特性是否在规格内，且该导电组件还可以在不进行检测时实现电吸附微型片的效果。本技术提供的可测电的微型片转移装置能够同步实现微型片的转移和电特性检测，微型片转移装置可根据微型片的电特性是否在规格内而选择性将其转移至组装位置或废弃位置，简化了作业工序，提高工作效率。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0024]图1是本技术实施例提供的微型片转移装置的结构示意图；
[0025]图2是本技术实施例提供的测电通道的结构示意图；
[0026]图3是本技术另一实施例提供的微型片转移装置的结构示意图；
[0027]图4是本技术提供的触头的局部剖视图；
[0028]图5是本技术实施例提供的触头与探针的连接结构示意图。
[0029]图中：
[0030]1、触头；11、粘取部；2、探针；3、测电通道；31、第一导电层；32、第二导电层；33、绝缘轴套；4、外部设备；5、导线；6、转移驱动机构；7、磁吸组件；8、力传感器；81、法向力传感器；82、侧向力传感器；100、微型片。
具体实施方式
[0031]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本技术实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0032]本实施例提供了一种可测电的微型片转移装置，与显微镜配合使用，用于小批量转移超滑片或其他颗粒状的微型片100，如图1
‑
图4所示，微型片转移装置包括触头1、探针2和导电组件，触头1用于转移微型片100，探针2用于驱动触头1调整位姿，且探针2与触头1固定连接或一体成型，导电组件用于测量微型片100的电流、电压、电阻等电特性，导电组件的检测端设置于触头1。
[0033]具体而言，本实施例提供的可测电的微型片转移装置通过触头1粘取超滑片，触头1在空间内活动并能够压抵于平台上待转移的微型片100，使得微型片100能够粘接于触头1，以实现转移微型片100的功能。同时，微型片转移装置中还设有导电组件，导电组件的检测端设置于触头1中，当触头1抵接于微型片100时，导电组件测量该微型片100的电特性，以判断微型片100的电特性是否在规格内，且该导电组件还可以在不进行检测时实现电吸附微型片1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可测电的微型片转移装置，其特征在于，包括：用于转移微型片(100)的触头(1)；用于驱动所述触头(1)调整位姿的探针(2)，且所述探针(2)与所述触头(1)固定连接或一体成型；以及用于测量所述微型片(100)电特性的导电组件，所述导电组件的检测端设置于所述触头(1)。2.根据权利要求1所述的微型片转移装置，其特征在于，所述触头(1)的底部设置有用于粘取所述微型片(100)的粘取部(11)。3.根据权利要求2所述的微型片转移装置，其特征在于，所述粘取部(11)采用具有吸附力的弹性透明材料制成，所述检测端嵌设于所述粘取部(11)的内部或贴合于所述粘取部(11)的外侧面。4.根据权利要求1所述的微型片转移装置，其特征在于，所述触头(1)朝向所述微型片(100)的一侧面设有导电涂层，或者在所述触头(1)的底部中间区域设有导电涂层。5.根据权利要求1所述的微型片转移装置，其特征在于，所述导电组件还包括测电通道(3)，所述触头(1)上的所述检测端与外部设备(4)通过所述测电通道(3)电连接。6.根据权利要求5所述的微型片转移装置，其特征在于，所述外部设备(4)包括用于向所述微型片(100)通电的通电组件和用于检测所述微型片(100)电特性的检测组...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨鼎麟，聂锦辉，郑泉水，
申请(专利权)人：深圳清华大学研究院，
类型：新型
国别省市：
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