本实用新型专利技术公开了一种石英盖板加料装置，属于单晶硅生产设备技术领域，本实用新型专利技术通过将盖板单元盖合在石英加料筒上，且多个固定杆分别插入限位框中，使得定位销插入限位框上的定位孔中，保证了盖板单元安装在石英加料筒上的稳定性，避免因钼杆加料过程中或者石英加料筒处于倾斜状态时造成盖板掉落，防止污染物落入石英加料筒内会对原料造成污染。包括石英加料筒、置于石英加料筒内的钼杆以及与钼杆底端相连接的石英锥；所述石英加料筒的上端端口内盖合有盖板单元，所述盖板单元上设置有供钼杆穿出的通孔，所述盖板单元的顶部设置有多个固定杆，所述固定杆的竖直段插设在石英加料筒外壁连接的限位框中。壁连接的限位框中。壁连接的限位框中。
【技术实现步骤摘要】
一种石英盖板加料装置
[0001]本技术属于单晶硅生产设备
，具体涉及一种石英盖板加料装置。
技术介绍
[0002]单晶硅生长炉是生产单晶硅的拉晶装置，但通过单次加料使石英坩埚的装硅料量接近容量是难以实现的，因此，目前采用单晶炉生产硅棒时普遍会通过石英加料器进行多次复投，以提高单机的产能来降低生产成本。石英加料器一般由以下部件构成：石英加料筒、石英法兰、设于石英加料筒上方的不锈钢法兰盘、设于石英加料筒内的钼杆，与钼杆连接的石英锥，以及连接于法兰盘和石英锥之间的不锈钢连杆等部件组成。
[0003]例如公开号为CN215757724U中国专利公开了一种盖板及石英加料装置；包括对接的至少两个盖板单元，所述盖板单元包括面板以及设于所述面板下方的限位部；所述面板包括内侧壁以及设于所述内侧壁的外围并和所述内侧壁连接的外侧壁，所述内侧壁上开设有第一避让槽，各个所述盖板单元的所述第一避让槽拼接成用于避让所述石英加料筒中钼杆的槽孔；所述限位部限位在所述石英加料筒的侧壁上。
[0004]上述方案中，直接将盖板盖合在石英加料筒，在钼杆加料过程中或者石英加料筒处于倾斜状态，都容易造成盖板脱落，使得污染物落入石英加料筒内会对原料造成污染。
技术实现思路
[0005](1)要解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种石英盖板加料装置，通过将盖板单元盖合在石英加料筒上，且多个固定杆分别插入限位框中，使得定位销受到挤压，且伸缩弹簧受到挤压，通过伸缩弹簧的弹性效果，使得定位销插入限位框上的定位孔中，保证了盖板单元安装在石英加料筒上的稳定性，避免因钼杆加料过程中或者石英加料筒处于倾斜状态时造成盖板掉落，防止污染物落入石英加料筒内会对原料造成污染。
[0007](2)技术方案
[0008]为了解决上述技术问题，本技术提供了这样一种石英盖板加料装置，包括石英加料筒、置于石英加料筒内的钼杆以及与钼杆底端相连接的石英锥；
[0009]所述石英加料筒的上端端口内盖合有盖板单元，所述盖板单元上设置有供钼杆穿出的通孔，所述盖板单元的顶部设置有多个固定杆，所述固定杆的竖直段插设在石英加料筒外壁连接的限位框中，所述固定杆两侧外壁均开设有安装槽，且安装槽中滑动连接有滑动块，所述滑动块与安装槽内壁之间连接有两个伸缩弹簧，所述滑动块远离伸缩弹簧的一端连接有定位销，所述定位销的定位端插设在限位框外壁开设的定位孔中，通过将盖板单元盖合在石英加料筒上，且多个固定杆分别插入限位框中，使得定位销受到挤压，且伸缩弹簧受到挤压，通过伸缩弹簧的弹性效果，使得定位销插入限位框上的定位孔中，保证了盖板单元安装在石英加料筒上的稳定性，避免因钼杆加料过程中或者石英加料筒处于倾斜状态时造成盖板掉落，防止污染物落入石英加料筒内会对原料造成污染。
[0010]优选地，所述盖板单元包括面板以及连接在面板底部的密封板，所述密封板的外壁上粘接有密封圈，所述面板和密封板之间形成凸字形结构，通过盖板单元的设置，避免污染物落入石英加料筒内会对原料造成污染。
[0011]优选地，所述石英加料筒的内壁上设置有导向机构，所述导向机构包括连接在石英加料筒内壁上的连接环以及位于连接环内侧的导向环，所述连接环和导向环之间通过多个连接杆相连接，通过连接杆、导向环和连接环的配合使用，使钼杆在石英加料筒内运动且保持垂直状态，避免石英加料筒内受到碰撞而损坏。
[0012]优选地，所述导向环的内径与钼杆的外径相适配，所述连接杆设置有四个，四个所述连接杆以导向环的中心点为环形阵列排列设置，通过导向环保证了钼杆竖向移动的稳定性。
[0013]优选地，多个所述固定杆之间连接有固定环，所述固定环的底面与面板的顶面相连接。
[0014]优选地，所述密封圈与石英加料筒的上端口内壁为紧密贴合设置，保证了盖板单元与石英加料筒之间的密封性。
[0015]优选地，所述石英锥的形状为内部镂空的圆台，通过内部镂空且圆台状的设计，防止物料从石英加料筒掉落。
[0016](3)有益效果
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
[0018]本技术通过将盖板单元盖合在石英加料筒上，且多个固定杆分别插入限位框中，使得定位销受到挤压，且伸缩弹簧受到挤压，通过伸缩弹簧的弹性效果，使得定位销插入限位框上的定位孔中，保证了盖板单元安装在石英加料筒上的稳定性，避免因钼杆加料过程中或者石英加料筒处于倾斜状态时造成盖板掉落，防止污染物落入石英加料筒内会对原料造成污染。
[0019]通过连接杆、导向环和固定环的配合使用，使钼杆在石英加料筒内运动且保持垂直状态，避免石英加料筒内受到碰撞而损坏。
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
附图说明
[0021]图1为本技术的结构示意图；
[0022]图2为本技术中石英加料筒的纵向剖视图；
[0023]图3为本技术中图2中A处结构的放大图；
[0024]图4为本技术中导向机构的俯视图；
[0025]图5为本技术中连接杆和限位框结合的纵向剖视图。
[0026]附图中的标记为：1、石英加料筒；2、钼杆；3、限位框；4、固定环；5、导向机构；51、连接环；52、连接杆；53、导向环；6、石英锥；7、盖板单元；71、面板；72、密封板；73、密封圈；8、固定杆；9、滑动块；10、伸缩弹簧；11、定位销。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]本具体实施方式是一种石英盖板加料装置，其结构示意图如图1、图2和图5所示，包括石英加料筒1、置于石英加料筒1内的钼杆2以及与钼杆2底端相连接的石英锥6，石英锥 6与石英加料筒1内壁为活塞连接，石英锥6的形状为内部镂空的圆台，通过内部镂空且圆台状的设计，防止物料从石英加料筒1掉落；石英加料筒1的上端端口内盖合有盖板单元7，盖板单元7上设置有供钼杆2穿出的通孔，盖板单元7的顶部设置有多个固定杆8，多个固定杆8之间连接有固定环4，固定环4的底面与面板71的顶面相连接，固定杆8的竖直段插设在石英加料筒1外壁连接的限位框3中，固定杆8两侧外壁均开设有安装槽，且安装槽中滑动连接有滑动块9，滑动块9与安装槽内壁之间连接有两个伸缩弹簧10，滑动块9远离伸缩弹簧10的一端连接有定位销11，定位销11的定位端插设在限位框3外壁开设的定位孔中，通过将盖板单本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英盖板加料装置，包括石英加料筒(1)、置于石英加料筒(1)内的钼杆(2)以及与钼杆(2)底端相连接的石英锥(6)；其特征在于：所述石英加料筒(1)的上端端口内盖合有盖板单元(7)，所述盖板单元(7)上设置有供钼杆(2)穿出的通孔，所述盖板单元(7)的顶部设置有多个固定杆(8)，所述固定杆(8)的竖直段插设在石英加料筒(1)外壁连接的限位框(3)中，所述固定杆(8)两侧外壁均开设有安装槽，且安装槽中滑动连接有滑动块(9)，所述滑动块(9)与安装槽内壁之间连接有两个伸缩弹簧(10)，所述滑动块(9)远离伸缩弹簧(10)的一端连接有定位销(11)，所述定位销(11)的定位端插设在限位框(3)外壁开设的定位孔中。2.根据权利要求1所述的一种石英盖板加料装置，其特征在于，所述盖板单元(7)包括面板(71)以及连接在面板(71)底部的密封板(72)，所述密封板(72)的外壁上粘接有密封圈(73)，所述面板(71)和密封板(72)之间形成凸字形结构。3.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：王铁新，
申请(专利权)人：辽宁盛新航半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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