一种硅片制造用尺寸检测机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片制造用尺寸检测机构，包括机体和量尺，所述机体的下端设置有底座，所述底座的左端固定对称安装有第一固定板，所述底座的右端固定安装有L形板，所述L形板的对称设置有第二固定板，且固定安装于底座的上表面，所述底座的左侧固定对称安装有第一支撑杆，所述底座的左侧上表面固定对称设置有第二支撑杆，所述底座的左侧设置有输出板，所述第一支撑杆与第二支撑杆分别连接于输出板的下端，将硅片放入传送带表面设置的放置孔内，通过上端的第一推杆与第二推杆下端设置的测量机器对放置孔内的硅片进行测量，测量不通过的可以直接将硅片取出，测量通过的顺着传送带掉入输出板，通过输出板滑入放置的收集箱内。内。内。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片制造用尺寸检测机构


[0001]本技术涉及硅片制造用尺寸检测机构的
，具体为一种硅片制造用尺寸检测机构。

技术介绍

[0002]硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制作成各种半导体器件，用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，科学技术的发展不断推动着半导体的发展，自动化和计算机等技术发展，使硅片这种高技术产品的造价以降到十分低廉的程度，这使得硅片已广泛应用于航天航空、工业、农业和国防，但是在使用硅片前也需要精准的使硅片的尺寸变得更加精确。
[0003]现有的技术通过人工的方法去测量硅片，人工的测量肯定会有很大的误差出现，长期会使硅片的使用率降低，也有通过传感器来测量的，这种方法也不是唯一一种精准的测量方式，传感器也是有失误的阶段。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种硅片制造用尺寸检测机构，解决了能够对硅片尺寸检测减少误差的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种硅片制造用尺寸检测机构，包括机体和量尺，所述机体的下端设置有底座，所述底座的左端固定对称安装有第一固定板，所述底座的右端固定安装有L形板，所述L形板的对称设置有第二固定板，且固定安装于底座的上表面，所述底座的左侧固定对称安装有第一支撑杆，所述底座的左侧上表面固定对称设置有第二支撑杆，所述底座的左侧设置有输出板，所述第一支撑杆与第二支撑杆分别连接于输出板的下端，所述底座的下端安装有支撑柱，所述底座的上端设置有传送带，所述传送带的表面设置有放置孔，所述底座与机体的右侧壁的下端固定连接，所述机体的右侧壁前端设置有显示屏，所述机体的上端设置有第一推杆，所述第一推杆的输出端贯穿于机体的上端，所述机体的上端设置有第二推杆，所述第二推杆的输出端贯穿于机体的上端，所述机体的输出端连接有第三连接杆，所述量尺固定连接于第三连接杆的杆壁，所述机体的内部设置有传动机构。
[0008]优选的，所述传动机构包括电机、第一滚动辊和第二滚动辊，所述电机安装于L形板内，所述第一滚动辊的一端固定连接于电机的输出端，所述第一滚动辊的另一端固定连接于第一连接杆，所述第一连接杆的一端转动连接于第二固定板，且第一滚动辊设置于传送带的右端内部，所述第二滚动辊设置于传送带的左端内部，所述第二滚动辊的两端固定对称安装有第二连接杆，所述第二连接杆转动连接于第一固定板，所述L形板的前端安装有开关。
[0009]优选的，所述量尺的下端设置有螺纹杆，所述螺纹杆对称转动连接于第三连接杆的杆壁，所述螺纹杆的杆壁套接有夹板，所述夹板的上端固定安装有指针，所述螺纹杆的一端固定连接有旋钮。
[0010]优选的，所述第一推杆的输出端固定对称设置有固定杆，所述第一推杆的下端设置有测量圆盘，所述测量圆盘通过固定杆固定于第二推杆的下端，所述第二推杆的输出端下端设置有第一摄像头，所述测量圆盘的外部设置有第二摄像头。
[0011]优选的，所述机体的右侧壁上端固定设置有连接管。
[0012]优选的，所述开关控制于电机，所述电机为步进电机。
[0013](三)有益效果
[0014]本技术提供了一种硅片制造用尺寸检测机构。具备以下有益效果：
[0015](1)、该一种硅片制造用尺寸检测机构，将硅片放入传送带表面设置的放置孔内，通过上端的第一推杆与第二推杆下端设置的测量机器对放置孔内的硅片进行测量，测量不通过的可以直接将硅片取出，测量通过的顺着传送带掉入输出板，通过输出板滑入放置的收集箱内。
[0016](2)、该一种硅片制造用尺寸检测机构，通过第一摄像头与第二摄像头，可以检测硅片的形状规不规则，使勘测的图像传输到显示屏上，便捷的观察到硅片的形状。
附图说明
[0017]图1为本技术整体结构示意图；
[0018]图2为本技术侧视图；
[0019]图3为本技术传动结构示意图；
[0020]图4为本技术第一推杆结构示意图；
[0021]图5为本技术支撑板结构示意图。
[0022]图中，1
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机体、2
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第一推杆、3
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第二推杆、4
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量尺、5
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连接杆、6
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旋钮、7
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夹板、8
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传送带、9
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输出板、10
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第一支撑杆、11
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传动机构、12
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第二支撑杆、13
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指针、14
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第一固定板、15
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放置孔、16
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底座、17
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支撑柱、18
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L形板、19
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开关、20
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显示屏、21
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第二固定板、22
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螺纹杆、23
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连接管、24
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电机、25
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第一滚动辊、26
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第二滚动辊、27、第一连接杆、28
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第二连接杆、29
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测量圆盘、30
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固定杆、31
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第一摄像头、32
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第二摄像头。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]请参阅图1
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5，本技术实施例提供一种技术方案：一种硅片制造用尺寸检测机构，包括机体1和量尺4，所述机体1的下端设置有底座16，所述底座16的左端固定对称安装有第一固定板14，所述底座16的右端固定安装有L形板18，所述L形板18的对称设置有第二固定板21，且固定安装于底座16的上表面，所述底座16的左侧固定对称安装有第一支撑杆10，所述底座16的左侧上表面固定对称设置有第二支撑杆12，所述底座16的左侧设置有输
出板9，所述第一支撑杆10与第二支撑杆12分别连接于输出板9的下端，所述底座16的下端安装有支撑柱17，所述底座16的上端设置有传送带8，所述传送带8的表面设置有放置孔15，所述底座16与机体1的右侧壁的下端固定连接，所述机体1的右侧壁前端设置有显示屏20，所述机体1的上端设置有第一推杆2，所述第一推杆2的输出端贯穿于机体1的上端，所述机体1的上端设置有第二推杆3，所述第二推杆3的输出端贯穿于机体1的上端，所述机体1的输出端连接有第三连接杆5，所述量尺4固定连接于第三连接杆5的杆壁，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片制造用尺寸检测机构，其特征在于：包括机体(1)和量尺(4)，所述机体(1)的下端设置有底座(16)，所述底座(16)的左端固定对称安装有第一固定板(14)，所述底座(16)的右端固定安装有L形板(18)，所述L形板(18)的对称设置有第二固定板(21)，且固定安装于底座(16)的上表面，所述底座(16)的左侧固定对称安装有第一支撑杆(10)，所述底座(16)的左侧上表面固定对称设置有第二支撑杆(12)，所述底座(16)的左侧设置有输出板(9)，所述第一支撑杆(10)与第二支撑杆(12)分别连接于输出板(9)的下端，所述底座(16)的下端安装有支撑柱(17)，所述底座(16)的上端设置有传送带(8)，所述传送带(8)的表面设置有放置孔(15)，所述底座(16)与机体(1)的右侧壁的下端固定连接，所述机体(1)的右侧壁前端设置有显示屏(20)，所述机体(1)的上端设置有第一推杆(2)，所述第一推杆(2)的输出端贯穿于机体(1)的上端，所述机体(1)的上端设置有第二推杆(3)，所述第二推杆(3)的输出端贯穿于机体(1)的上端，所述机体(1)的输出端连接有第三连接杆(5)，所述量尺(4)固定连接于第三连接杆(5)的杆壁，所述机体(1)的内部设置有传动机构(11)。2.根据权利要求1所述一种硅片制造用尺寸检测机构，其特征在于：所述传动机构包括电机(24)、第一滚动辊(25)和第二滚动辊(26)，所述电机(24)安装于L形板(18)内，所述第一滚动辊(25)的一端固定连...

【专利技术属性】
技术研发人员：霍育强，
申请(专利权)人：池州首开新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：