一种合成炉加热桶结构制造技术

技术编号:37009276 阅读:14 留言:0更新日期:2023-03-25 18:37
本实用新型专利技术实施例提供的一种合成炉加热桶结构,涉及合成炉技术领域。该一种合成炉加热桶结构,包括用于进行加工的合成炉体和安装在合成炉体内部的用于放置原料的加热桶,加热桶活动安装在合成炉体内部,通过定位滑块和安装滑槽的搭配将桶体进行固定,加热部侧壁的加热管进行加热,通过贴合桶体的导热板将热量向桶体进行传导,活动安装的桶体可将其进行拆卸清洗或是更换,在将桶体抽出合成炉体时,固定脚可辅助提拉,方便操作,在桶体上端设置了保温层,其与放置槽卡合安装,避免在加热管对加热桶加热时热量从上端散失,保温效果更好。保温效果更好。保温效果更好。

【技术实现步骤摘要】
一种合成炉加热桶结构


[0001]本技术涉及合成炉
,尤其是涉及一种合成炉加热桶结构。

技术介绍

[0002]合成炉是用于合成在熔点有高离解压的化合物半导体材料的装置,为高压单晶炉提供多晶料,已在生产中使用的半导体材料专用设备。高压合成炉实际上是带高压炉室的水平三温区炉,即合成炉内存在高温区、中温区和低温区,在合成炉使用时,需要通过外部加热管对其内部进行加热合成。合成炉内部的加热炉在高温环境下工作,时间久了容易造成腐蚀损坏,在使用一段时间后,需要对加热炉进行更换保证合成炉的正常工作。
[0003]在现有技术(申请号为CN202123034724.2、专利名称为一种便于调温的多晶合成炉的中国专利技术专利申请。)中,一种便于调温的多晶合成炉,包括炉体和加热炉,所述加热炉竖直位于炉体的内部上方,所述加热炉与炉体连通,所述加热炉的底部设有用于升降加热炉的升降机构,所述加热炉的外部套接有定位环并水平设置,所述加热炉与定位环活动连接,所述定位环的两端均固定连接有固定柱并竖直设置,两个所述固定柱的底部固定连接有同一个底板并水平设置,所述底板的顶部中心位置固定连接有U型固定块并水平设置,所述U型固定块的内部两端活动连接有两个对称设置的夹物块并竖直设置,两个所述夹物块的一侧均与加热炉贴合,两个所述夹物块与加热炉活动连接。通过将加热炉安装进定位环内,两个夹物块的一侧形状为圆弧形,与加热炉贴合,可以更好的进行固定,拧紧螺丝,将两个夹物块进行固定,两个夹物块通过螺丝的挤压更好的将加热炉进行固定,由于加热炉在高温环境下工作,时间久了容易造成腐蚀损坏,如果不能方便更换,若发生损坏将造成一定的损失。在实现该技术方案的过程中,专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题:
[0004]将在加热炉拆卸时,由于整个炉体嵌入在合成炉内部,不方便将加热炉进行拆卸取下,加热炉上端若是延伸出合成炉,则容易造成加热炉内部热量从上端散失,加工较为不便。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种合成炉加热桶结构,能够避免由于整个炉体嵌入在合成炉内部,不方便将加热炉进行拆卸取下,加热炉上端若是延伸出合成炉,则容易造成加热炉内部热量从上端散失的问题。
[0006]本技术提供一种合成炉加热桶结构,包括:
[0007]合成炉体,所述合成炉体的内腔布置有加热部,所述合成炉体的内腔侧壁开设有安装滑槽,所述安装滑槽的上端内部布置有定位组件;
[0008]加热桶,所述加热桶包括桶体和安装在桶体侧壁的定位滑块,所述定位滑块均匀布置在桶体的上端。
[0009]在一种具体的实施方案中,所述定位滑块和安装滑槽均设置有四组,所述定位滑块滑动安装在安装滑槽内部,且大小相匹配。
[0010]在一种具体的实施方案中,所述加热部包括安装在合成炉体内腔的固定环,所述固定环的外壁设置有加热管,所述加热管环绕安装在固定环外壁。
[0011]在一种具体的实施方案中,所述固定环的内壁布置有导热板,所述导热板与加热管相连接。
[0012]在一种具体的实施方案中,所述安装滑槽贯穿固定环和导热板开设,所述导热板贴合桶体安装。
[0013]在一种具体的实施方案中,所述桶体的上端设置有保温层,所述保温层的直径大于桶体的直径,且与所述合成炉体内腔上端布置的放置槽大小相匹配。
[0014]在一种具体的实施方案中,所述保温层的侧壁布置有固定脚,所述固定脚布置有四组,所述固定脚均匀布置在保温层的侧壁上端。
[0015]在一种具体的实施方案中,所述定位滑块的上端开设有定位孔,所述定位孔与定位组件位置相匹配。
[0016]在一种具体的实施方案中,所述定位组件包括开设在合成炉体内腔的活动腔和布置在活动腔一端的伸缩杆,所述伸缩杆的一端布置有吸附磁铁,所述吸附磁铁活动安装在活动腔的内腔中,所述活动腔的内腔一侧布置有通电磁铁,所述通电磁铁的一侧布置有吸附部,所述活动腔的内部环绕安装有伸缩弹簧。
[0017]在一种具体的实施方案中,所述伸缩杆的一端呈圆锥状,且与所述定位孔大小相匹配。
[0018]本技术实施例提供的一种合成炉加热桶结构,在使用合成炉体和内部的加热桶进行加工时,桶体通过侧壁安装的定位滑块滑动安装在合成炉体内部,通过定位滑块和安装滑槽的搭配将桶体进行固定,加热部侧壁的加热管进行加热,通过贴合桶体的导热板将热量向桶体进行传导,活动安装的桶体可将其进行拆卸清洗或是更换,在将桶体抽出合成炉体时,固定脚可辅助提拉,方便操作,在桶体上端设置了保温层,其与放置槽卡合安装,避免在加热管对加热桶加热时热量从上端散失,保温效果更好,利于加工。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案,下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本技术的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0020]图1为本技术实施例的整体结构示意图。
[0021]图2为本技术实施例的合成炉体结构示意图。
[0022]图3为本技术实施例的加热部结构示意图。
[0023]图4为本技术实施例的加热桶结构示意图。
[0024]图5为本技术实施例的定位组件结构示意图。
[0025]图标:100

合成炉体;110

加热部;111

固定环;112

加热管;113

导热板;120

安装滑槽;130

定位组件;131

活动腔;132

伸缩杆;133

吸附磁铁;134

伸缩弹簧;135

通电磁铁;136

吸附部;140

放置槽;200

加热桶;210

桶体;211

保温层;212

固定脚;220

定位滑块;221

定位孔;230

盖体。
具体实施方式
[0026]由于整个炉体嵌入在合成炉内部,不方便将加热炉进行拆卸取下,加热炉上端若是延伸出合成炉,则容易造成加热炉内部热量从上端散失。因此,专利技术人经研究提供了一种合成炉加热桶结构,在使用合成炉体和内部的加热桶进行加工时,桶体通过侧壁安装的定位滑块滑动安装在合成炉体内部,通过定位滑块和安装滑槽的搭配将桶体进行固定,加热部侧壁的加热管进行加热,通过贴合桶体的导热板将热量向桶体进行传导,活动安装的桶体可将其进行拆卸清洗或是更换,在将桶体抽出合成炉体时,固定脚可辅助提拉,方便操作,在桶体上端设置了保温层,其与放置槽卡合安装,避免在加热管对加热桶加热时热量从上端散失本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种合成炉加热桶结构,其特征在于,包括:合成炉体,所述合成炉体的内腔布置有加热部,所述合成炉体的内腔侧壁开设有安装滑槽,所述安装滑槽的上端内部布置有定位组件;加热桶,所述加热桶包括桶体和安装在桶体侧壁的定位滑块,所述定位滑块均匀布置在桶体的上端。2.根据权利要求1所述的一种合成炉加热桶结构,其特征在于,所述定位滑块和安装滑槽均设置有四组,所述定位滑块滑动安装在安装滑槽内部,且大小相匹配。3.根据权利要求2所述的一种合成炉加热桶结构,其特征在于,所述加热部包括安装在合成炉体内腔的固定环,所述固定环的外壁设置有加热管,所述加热管环绕安装在固定环外壁。4.根据权利要求3所述的一种合成炉加热桶结构,其特征在于,所述固定环的内壁布置有导热板,所述导热板与加热管相连接。5.根据权利要求4所述的一种合成炉加热桶结构,其特征在于,所述安装滑槽贯穿固定环和导热板开设,所述导热板贴合桶体安装。6.根据权利要求5所述的一种合成炉加热...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨定永李超杰周凡
申请(专利权)人:云南全控机电有限公司
类型:新型
国别省市:

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