一种新型磁控溅射镀膜载具制造技术

本实用新型专利技术公开一种新型磁控溅射镀膜载具，真空舱、舱门，所述舱门对真空舱进行密封，其特征在于：所述舱门上安装有上底座与下底座，所述舱门处设有设有分别穿入上底座与下底座内部的靶材，所述下底座端部安装有靶材驱动旋转的驱动机构。本申请将舱门与真空舱的底部转动连接，让开启后的舱门呈水平放置状态展开，舱门上安装的上底座与下底座，分别开设第一通孔与第二通孔，靶材通过插拔的方式穿过第一通孔并穿入第二通孔内部，在第一通孔上填上密封塞对靶材以挤压的方式进行固定，并对靶材内部进行密封，可实现对靶材进行注射冷却以及转动控制，与靶材直接接触的固定部件具备旋转特性，让靶材具备稳定可旋转效果的同时拆卸更加方便。加方便。加方便。

【技术实现步骤摘要】
一种新型磁控溅射镀膜载具


[0001]本技术涉及磁控溅射镀膜
，尤其涉及一种新型磁控溅射镀膜载具。

技术介绍

[0002]磁控溅射镀膜时，是将基板与靶材放置于溅射镀膜舱中，在将溅射镀膜舱内的空气利用真空泵抽走，在不断的向腔体中引入氩气，产生一种低压氩气环境，高电压施加到靶材中，产生等离子体，等离子体中由氩原子和带正电荷的氩离子和自由电子组成，电子不断撞击氩原子从而不断产生带正电荷的氩离子，让溅射靶材带负电荷，氩离子被吸引飞向靶材表面，氩离子撞击靶材，从靶材表面弹出靶体原子，弹射处的靶体原子沉积到基板上。溅射镀膜通过控制好电流，可实现多次重复镀膜，且每次镀膜厚度均匀不会变化，镀膜的后端具有良好的可控性与重复性。
[0003]溅射系统根据基板需要有不同的尺寸，镀膜材料来自旋转的溅射靶材，靶材在使用时需要对靶材进行固定同时具备旋转效果，因此每次靶材的更换步骤就变的很繁琐，更换效率难以提高。

技术实现思路

[0004]本技术针对现有技术中的不足，提供一种新型磁控溅射镀膜载具，采用插拔安装的方式装卸靶材，并挤压的方式对靶材进行固定，让与靶材直接接触的固定部件具备旋转特性，让靶材具备稳定可旋转效果的同时拆卸更加方便。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术通过下述技术方案得以解决让靶材拆卸连接方式复杂，拆卸不便的问题
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种新型磁控溅射镀膜载具，真空舱、舱门，所述舱门对真空舱进行密封，其特征在于：所述舱门上安装有上底座与下底座，所述舱门处设有设有分别穿入上底座与下底座内部的靶材，所述下底座端部安装有靶材驱动旋转的驱动机构。
[0008]优选的，所述上底座上贯穿开设有第一通孔，所述第一通孔侧壁开安装有导电片，所述靶材呈管状设置可穿过第一通孔。
[0009]优选的，所述第一通孔上安装有密封塞，所述密封塞端部转动连接有与导电片连通的金属件，所述金属件对靶材进行固定。
[0010]优选的，所述金属件呈环状结构设置，所述密封塞端部固定有穿过金属件的磁铁柱。
[0011]优选的，所述磁铁柱穿过靶材进入下底座中。
[0012]优选的，所述下底座上贯穿开设有第二通孔，所述第二通孔内安装有转动座，所述靶材可穿入第二通孔内部并与转动座接触。
[0013]优选的，所述转动座一端穿出第二通孔并与驱动器连接，所述金属件与转动座由两端通过挤压的方式对靶材进行固定，所述驱动器通过转动座控制靶材旋转。
[0014]优选的，所述转动座中部贯穿开设有输液孔，所述输液孔端部连接有穿出舱门的输液管。
[0015]优选的，所述舱门与真空舱转动连接。
[0016]优选的，所述真空舱内部开设有与真空泵连接的排气孔。
[0017]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0018]本申请提供一种新型磁控溅射镀膜载具，将舱门与真空舱的底部转动连接，让开启后的舱门呈水平放置状态展开，舱门上安装的上底座与下底座，分别开设第一通孔与第二通孔，靶材通过插拔的方式穿过第一通孔并穿入第二通孔内部，在第一通孔上填上密封塞对靶材以挤压的方式进行固定，并对靶材内部进行密封，可实现对靶材进行注射冷却以及转动控制，与靶材直接接触的固定部件具备旋转特性，让靶材具备稳定可旋转效果的同时拆卸更加方便。
[0019]本实用通过将多个磁铁柱并排偏心设于靶材中，让带正电的等离子体向靶材一侧集中，并控制靶材旋转，让带正电的氩离子均匀高效的撞击靶材。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术的整体前视结构示意图；
[0022]图2为本技术的整体后视结构示意图；
[0023]图3为本技术的整体舱门开启后结构示意图；
[0024]图4为本技术的整体舱门开启后为安装靶材时结构示意图；
[0025]图5为本技术的上底座与下底座剖面后舱门上相关组件结构示意图；
[0026]图6为本技术的上底座与下底座剖面后舱门上相关组件拆分结构示意图。
[0027]图号说明：100、真空舱；200、舱门；300、上底座；301、第一通孔；302、导电片；303、密封塞；304、金属件；305、磁铁柱；400、下底座；401、第二通孔；500、靶材；600、驱动机构；601、转动座；602、输液孔；603、输液管。
具体实施方式
[0028]下面结合附图进一步详细描述本技术。
[0029]以下描述用于揭露本技术以本领域技术人员能够实现本技术。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变形。在以下描述中界定的本技术的基本原理可以用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本技术的精神和范围的其他技术方案。
[0030]本领域技术人员应理解的是，在本技术的揭露中，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置是基于附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本技术的简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或原件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此上
述术语不能理解为对本技术的限制。
[0031]可以理解的是，术语“一”应理解为“至少一”或“一个或多个”，即在一个实施例中，一个元件的数量可以为一个，而在另外的实施例中，该元件的数量可以为多个，术语“一”不能理解为对数量的限制。
[0032]实施例：
[0033]请参阅图1
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6，本申请提供一种新型磁控溅射镀膜载具，包括真空舱100、舱门200，舱门200与真空舱100底部转动连接。靶材500被固定在舱门200上，在舱门200关闭后，通过真空泵对真空舱100内进行抽气，形成真空状态，向真空舱100中通过氩粒子，利用带正电的氩粒子撞击靶材500。
[0034]其中舱门200开启时可展开呈水平放置状态，在舱门200上安装用于固定靶材500的上底座300与下底座400。上底座300与下底座400上分别开设第一通孔301与第二通孔401。第二通孔401一端安装了驱动机构600，靶材500可沿水平方向穿过第一通孔301，靶材500一端穿入第二通孔401中、一端停留在第一通孔301中，将第一通孔301的一端用密封塞303封住，可对靶材500进行固定。
[0035]本申请中，密封塞303的端部转动连接了金属件304，金属件304对靶材500挤压固定，第一通孔301内壁上安装了与金属件304连接的导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型磁控溅射镀膜载具，真空舱（100）、舱门（200），所述舱门（200）对真空舱（100）进行密封，其特征在于：所述舱门（200）上安装有上底座（300）与下底座（400），所述舱门（200）处设有设有分别穿入上底座（300）与下底座（400）内部的靶材（500），所述下底座（400）端部安装有靶材（500）驱动旋转的驱动机构（600）。2.根据权利要求1所述的一种新型磁控溅射镀膜载具，其特征在于：所述上底座（300）上贯穿开设有第一通孔（301），所述第一通孔（301）侧壁开安装有导电片（302），所述靶材（500）呈管状设置可穿过第一通孔（301）。3.根据权利要求2所述的一种新型磁控溅射镀膜载具，其特征在于：所述第一通孔（301）上安装有密封塞（303），所述密封塞（303）端部转动连接有与导电片（302）连通的金属件（304），所述金属件（304）对靶材（500）进行固定。4.根据权利要求3所述的一种新型磁控溅射镀膜载具，其特征在于：所述金属件（304）端部固定有磁铁柱（305）。5.根据权利要求4所述的一种新型磁控溅射镀膜载具，其特征在于：所述磁铁柱（305）穿过靶材（500）进入下底座（40...

【专利技术属性】
技术研发人员：励佩燕，
申请(专利权)人：宁波新鑫玻璃科技有限公司，
类型：新型
国别省市：