干燥室制造技术

本实用新型专利技术公开一种干燥室，包括干燥室本体，干燥室本体设有真空腔室，真空腔室内设有烘干设备和支撑架，支撑架上设有多个支撑销，用于支撑玻璃基板，支撑销包括销本体和支撑部，销本体设置有安装腔，安装腔内设置有升降机构，升降机构与支撑部连接，以使支撑部沿竖直方向移动，销本体背离支撑架的一侧设有用于检测玻璃基板的位置的第一检测件。本实用新型专利技术的干燥室通过可升降的支撑销及第一检测件配合，当第一检测件检测到玻璃基板，支撑销能够自动上升并支撑玻璃基板，调节玻璃基板与支撑架上表面的间距，同时在玻璃基板放置后能二次调节支撑销的高度，减小玻璃基板的下垂量，从而降低机械手与玻璃基板干涉而造成玻璃基板损坏的风险。损坏的风险。损坏的风险。

【技术实现步骤摘要】
干燥室


[0001]本技术涉及玻璃基板生产工艺
，尤其涉及一种干燥室。

技术介绍

[0002]显示器中的玻璃基板在进行蒸镀之前需要进行清洗以去除表面附着的杂质，清洗后再进行干燥，以确保后续工序中不会有水汽产生。目前玻璃基板通常是在真空环境的干燥室进行干燥的。
[0003]如图1和图2所示，现有的干燥室包括干燥室本体1
′
，干燥室本体1
′
内设置有用于放置玻璃基板100
′
的支撑架2
′
、烘干设备3
′
，支撑架2
′
上设置有多个呈矩阵排布的支撑销4
′
，玻璃基板100
′
放置在支撑销4
′
上，其中，玻璃基板100
′
通过机械手装置200
′
取放于支撑销4
′
上。但由于玻璃基板100
′
具有一定柔性，玻璃基板100
′
放置在支撑销4
′
上会发生下垂，而在高温干燥过程中会更容易下垂，增大玻璃基板100
′
的下垂量，当干燥结束后取出玻璃基板100
′
时，机械手装置200
′
容易与玻璃基板100
′
的下垂部分发生干涉，导致玻璃基板100
′
损坏。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于：提供一种干燥室，其能够减少玻璃基板的下垂量，减少玻璃基板与机械手发生干涉而损坏的风险。
[0005]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]提供一种干燥室，包括干燥室本体，所述干燥室本体设置有真空腔室，所述真空腔室内设置有烘干设备和支撑架，所述支撑架上设置有多个支撑销，用于支撑玻璃基板，所述支撑销包括销本体和支撑部，所述销本体设置有安装腔，所述安装腔内设置有升降机构，所述升降机构与所述支撑部连接，以驱使所述支撑部沿竖直方向移动，所述销本体背离所述支撑架的一侧设置有第一检测件，用于检测玻璃基板的位置。
[0007]作为干燥室的一种优选方案，所述升降机构包括第一驱动件和第一升降杆，所述第一升降杆的一端与所述第一驱动件连接，另一端与所述支撑部连接，所述第一升降杆的外侧设置有缓冲套，所述缓冲套位于所述安装腔内，且所述缓冲套的一端与所述第一驱动件连接，另一端与所述第一升降杆连接。
[0008]作为干燥室的一种优选方案，所述支撑部为圆柱型，所述支撑部的一端设置有第一螺纹孔，所述第一升降杆远离所述第一驱动件的一端的外周设置有外螺纹，所述第一升降杆旋拧至所述第一螺纹孔内，以使所述支撑部安装在所述第一升降杆的端部。
[0009]作为干燥室的一种优选方案，所述支撑部为球型，所述第一升降杆的一端设置凹陷设置有弧形槽，所述支撑部活动设置在所述弧形槽内，且至少部分所述支撑部位于所述弧形槽外。
[0010]作为干燥室的一种优选方案，所述支撑销呈矩阵排布在所述支撑架上，所述支撑架上还设置有多个辅助支撑销，所述辅助支撑销支撑于所述玻璃基板的下垂点。
[0011]作为干燥室的一种优选方案，还包括用于检测所述玻璃基板下垂点的第二检测件，所述支撑架的内部设置有容纳腔，所述容纳腔内设置有第二驱动件，所述辅助支撑销与所述第二驱动件连接，所述辅助支撑销与所述第二驱动件一一对应连接，以使所述辅助支撑销移动设置在所述容纳腔内，所述支撑架的上表面设置有多个开孔，所述开孔与所述玻璃基板的下垂点一一对应，所述辅助支撑销能根据玻璃基板的下垂点移动并穿过所述开孔伸出所述支撑架的外侧。
[0012]作为干燥室的一种优选方案，每个所述辅助支撑销上均设置有第三检测件，所述第三检测件用于检测所述辅助支撑销与所述开孔是否对齐。
[0013]作为干燥室的一种优选方案，所述支撑销包括多个第一销和多个第二销，所有所述第一销围设在所述玻璃基板的外周，所述第二销位于所述第一销围设的区域内，所述第一销固定设置在所述支撑架上，所述第二销通过第三驱动件可移动设置在所述支撑架上。
[0014]作为干燥室的一种优选方案，所述支撑架上凹陷设置有滑槽，所述第三驱动件和所述第二销滑动设置在所述滑槽内。
[0015]作为干燥室的一种优选方案，所述第三驱动组件上设置有用于避障的第四检测件。
[0016]本技术的有益效果为：当第一检测件检测到玻璃基板，升降机构能够驱使支撑部上升，所有支撑销的顶面位于同一水平面并支撑玻璃基板，可升降的支撑部能够调节玻璃基板与支撑架上表面的间距，而且在玻璃基板放置在支撑销后，升降机构能够根据玻璃基板的下垂量调节支撑销的高度，以减小玻璃基板的下垂量，从而减少机械手在取出玻璃基板时与玻璃基板发生干涉的情况，降低玻璃基板发生损坏的风险。
附图说明
[0017]下面根据附图和实施例对本技术作进一步详细说明。
[0018]图1为现有技术干燥室的结构示意图。
[0019]图2为现有技术支撑架上的支撑架的俯视图。
[0020]图3为本技术的干燥室的结构示意图。
[0021]图4为本技术的一种实施例支撑销的剖视图。
[0022]图5为本技术的另一种实施例支撑销的剖视图。
[0023]图6为本技术的一种实施例支撑架的俯视图。
[0024]图7为本技术的一种实施例支撑架的剖视图。
[0025]图8为本技术的另一种实施例支撑架俯视图。
[0026]图9为本技术的另一种实施例支撑架的剖视图。
[0027]图1和图2中：
[0028]1′
、干燥室本体；2
′
、支撑架；3
′
、烘干设备；4
′
、支撑销；
[0029]100
′
、玻璃基板；200
′
、机械手装置；
[0030]图3至图9中：
[0031]1、干燥室本体；11、真空腔室；2、烘干设备；3、支撑架；31、容纳腔；32、滑槽；4、支撑销；41、销本体；411、安装腔；42、支撑部；43、第一销；44、第二销；5、升降机构；51、第一驱动件；52、第一升降杆；6、缓冲套；7、辅助支撑销；8、第二驱动件；81、移动座；82、第二升降杆；
9、第三驱动件；100、玻璃基板；200、机械手；300、第一检测件。
具体实施方式
[0032]参考下面结合附图详细描述的实施例，本技术的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本技术不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本技术的公开并且使本领域技术人员充分地了解本技术的范围，并且本技术仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
[0033]以下，参照附图来详细描述本技术。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种干燥室，包括干燥室本体，所述干燥室本体设置有真空腔室，所述真空腔室内设置有烘干设备和支撑架，所述支撑架上设置有多个支撑销，所述支撑销用于支撑玻璃基板，其特征在于，所述支撑销包括销本体和支撑部，所述销本体设置有安装腔，所述安装腔内设置有升降机构，所述升降机构与所述支撑部连接，以驱使所述支撑部沿竖直方向移动，所述销本体的顶端设置有第一检测件，用于检测所述玻璃基板的位置。2.根据权利要求1所述的干燥室，其特征在于，所述升降机构包括第一驱动件和第一升降杆，所述第一升降杆的一端与所述第一驱动件连接，另一端与所述支撑部连接，所述第一升降杆的外侧设置有缓冲套，所述缓冲套位于所述安装腔内，且所述缓冲套的一端与所述第一驱动件连接，另一端与所述第一升降杆连接。3.根据权利要求2所述的干燥室，其特征在于，所述支撑部为圆柱型，所述支撑部的一端设置有第一螺纹孔，所述第一升降杆远离所述第一驱动件的一端的外周设置有外螺纹，所述第一升降杆旋拧至所述第一螺纹孔内，以使所述支撑部安装在所述第一升降杆的端部。4.根据权利要求2所述的干燥室，其特征在于，所述支撑部为球型，所述第一升降杆远离所述第一驱动件的一端设置凹陷设置有弧形槽，所述支撑部活动设置在所述弧形槽内，且至少部分所述支撑部位于所述弧形槽外。5.根据权利要求1至4任一项所述的干燥室，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：许灿宏，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：