一种清洗槽加液控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种清洗槽加液控制装置，所述清洗槽加液控制装置包括槽体以及设置在槽体上的控制器，所述槽体内可旋转地设置摆动组件，所述摆动组件包括电机以及与所述电机输出端旋转连接的框架，所述框架近端设置撑脚，所述撑脚用于固定花篮，所述槽体近端设置加药装置，所述加药装置包括储药箱，所述储药箱通过管道连接至所述槽体内，所述管道上设置电子阀，所述框架上还设置计数装置，所述控制器分别与计数装置和电子阀连接，当花篮放置在框架上并触发计数装置达到设定的次数后，控制器控制所述电子阀打开使所述储药箱向所述槽体内加药，结构简单，无需人工操作，加药工作效率高。高。高。

【技术实现步骤摘要】
一种清洗槽加液控制装置


[0001]本技术涉及硅片生产
，尤其涉及一种清洗槽加液控制装置。

技术介绍

[0002]硅片加工需要将单晶硅棒切成片，厚度在180微米～220微米之间，硅片经过磨边机抛磨、清洗机清洗等工序，制成待加工的原料硅片。
[0003]现有技术中，清洗机的清洗槽中加液控制装置都是凭工人的经验对清洗槽内的pH值进行调整，例如人工观察硅片装篮片数，达到一定片数进行加药操作，通过打开阀门使出药箱内的碱液经连通管进入清洗槽内，但是人工经验有时不准确，并且操作繁琐，工作效率低。

技术实现思路

[0004]针对上述现有技术的缺点，本技术的目的是提供一种清洗槽加液控制装置，以解决现有技术中的一个或多个问题。
[0005]为实现上述目的，本技术的技术方案如下：
[0006]一种清洗槽加液控制装置，所述清洗槽加液控制装置包括槽体以及设置在槽体上的控制器，所述槽体内可旋转地设置摆动组件，所述摆动组件包括电机以及与所述电机输出端旋转连接的框架，所述框架近端设置撑脚，所述撑脚用于固定花篮，所述槽体近端设置加药装置，所述加药装置包括储药箱，所述储药箱通过管道连接至所述槽体内，所述管道上设置电子阀，所述框架上还设置计数装置，所述控制器分别与计数装置和电子阀连接，当花篮放置在框架上并触发计数装置达到设定的次数后，控制器控制所述电子阀打开使所述储药箱向所述槽体内加药。
[0007]进一步的，所述花篮包括两块固定板以及设置在所述固定板之间的若干支撑杆，所述支撑杆与固定板围成放置硅片的空间。
[0008]进一步的，所述计数装置设置在固定板远端，所述计数装置近端具有按钮伸出所述框架，每次把花篮放置在框架上时，所述固定板压下所述按钮触发计数装置。
[0009]进一步的，所述固定板侧面具有吊耳。
[0010]进一步的，所述框架开设有第一框部和第二框部，所述撑脚分别设置在第一框部近端的两侧和第二框部近端的两侧。
[0011]进一步的，所述撑脚包括竖挡板以及连接在竖挡板两端的横挡板。
[0012]进一步的，所述电机输出端连接转轴，所述转轴穿过所述框架与槽体可旋转地连接。
[0013]进一步的，所述槽体近端设置进水管，所述槽体远端设置出水管。
[0014]进一步的，所述计数装置为按键计数器。
[0015]进一步的，所述清洗槽加液控制装置还包括显示屏，所述显示屏与控制器连接。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益技术效果如下：
[0017]本技术的清洗槽加液控制装置工作时，每次将花篮放入框架中，花篮的固定板压住计数装置的按钮触发一次计数，控制器接收计数装置的计数信息，当计数达到设置值时，控制器控制电子阀打开，储药箱通过管道向槽体内加药，结构简单，无需人工操作，加药工作效率高。
附图说明
[0018]图1示出了本技术实施例一提供的一种清洗槽加液控制装置的正视结构示意图。
[0019]图2示出了本技术实施例一提供的一种清洗槽加液控制装置的俯视结构示意图。
[0020]图3示出了本技术实施例一提供的一种清洗槽加液控制装置工作状态的结构示意图。
[0021]图4示出了本技术实施例一提供的一种清洗槽加液控制装置的连接关系图。
[0022]图5示出了本技术实施例一提供的一种清洗槽加液控制装置中计数装置的轴测图。
[0023]附图中标记：
[0024]1、槽体；11、进水管；12、出水管；2、框架；21、第一框部；22、第二框部；23、撑脚；231、横挡板；232、竖挡板；24、电机；25、转轴；3、计数装置；31、按钮；4、花篮；41、固定板；42、支撑杆；43、吊耳；5、硅片；6、加药装置；61、储药箱；62、管道；63、电子阀；7、控制器；8、显示屏。
具体实施方式
[0025]为了使本技术的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
能涵盖的范围内。
[0026]在本技术的描述中，限定术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0027]为了更加清楚地描述上述清洗槽加液控制装置的结构，本技术限定术语“远端”和“近端”，具体而言，“远端”表示靠近地面的一端，“近端”表示远离地面的一端，以图1为例，图1中槽体1的上端为近端，图1中槽体1的下端为远端。
[0028]实施例一
[0029]请参考图1、图2、图3和图4，一种清洗槽加液控制装置，所述清洗槽加液控制装置包括槽体1以及设置在槽体1上的控制器7，所述槽体1内可旋转地设置摆动组件，所述摆动组件包括电机24以及与所述电机24输出端旋转连接的框架2，所述框架2近端设置撑脚23，
所述撑脚23用于固定花篮4，所述槽体1近端设置加药装置6，所述加药装置6包括储药箱61，所述储药箱61通过管道62连接至所述槽体1内，所述管道62上设置电子阀63，所述框架2上还设置计数装置3，所述控制器7分别与计数装置3和电子阀63连接，当花篮4放置在框架2上并触发计数装置3达到设定的次数后，控制器7控制所述电子阀63打开使所述储药箱61向所述槽体1内加药。
[0030]下面描述所述摆动组件的具体结构如下：
[0031]请参考图1和图3，进一步的，所述花篮4包括两块固定板41以及设置在所述固定板41之间的若干支撑杆42，所述支撑杆42与固定板41围成放置硅片5的空间。
[0032]请参考图1、图2和图5，进一步的，所述计数装置3设置在固定板41远端位于固定板41下方。优选的，在本实施例一所述清洗槽加液控制装置中，所述计数装置3为市售的按键计数器，例如OMCH沪立计数器，所述控制器7为市售的PLC控制器7，采用现有技术中的软件及控制程序进行控制，所述计数装置3近端具有按钮31伸出所述框架2，每次把花篮4放置在框架2上时，所述固定板41压下所述按钮31触发计数装置3计数一次。
[0033]请参考图1和图3，进一步的，所述固定板41侧面具有吊耳43，用于吊起移动花篮4。
[0034]请参考图2，进一步的，所述框架2开设有第一框部21和第二框部22，所述撑脚23分别对称设置在第一框部21近端的两侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洗槽加液控制装置，其特征在于：所述清洗槽加液控制装置包括槽体以及设置在槽体上的控制器，所述槽体内可旋转地设置摆动组件，所述摆动组件包括电机以及与所述电机输出端旋转连接的框架，所述框架近端设置撑脚，所述撑脚用于固定花篮，所述槽体近端设置加药装置，所述加药装置包括储药箱，所述储药箱通过管道连接至所述槽体内，所述管道上设置电子阀，所述框架上还设置计数装置，所述控制器分别与计数装置和电子阀连接，当花篮放置在框架上并触发计数装置达到设定的次数后，控制器控制所述电子阀打开使所述储药箱向所述槽体内加药。2.如权利要求1所述的一种清洗槽加液控制装置，其特征在于：所述花篮包括两块固定板以及设置在所述固定板之间的若干支撑杆，所述支撑杆与固定板围成放置硅片的空间。3.如权利要求2所述的一种清洗槽加液控制装置，其特征在于：所述计数装置设置在固定板远端，所述计数装置近端具有按钮伸出所述框架，每次把花篮放置在框架上时，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱仁德，冯培良，
申请(专利权)人：无锡京运通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：