器件的制造方法及器件制造装置、器件以及电子机器制造方法及图纸

一种器件的制造方法及器件制造装置，其中，器件制造装置（Ｓ）包括能够在基板Ｐ上配置液体状材料的喷墨装置（１０）、以及能够使加热到一定温度的气体与基板相接触的预干燥装置（８０）。能够在对多层布线器件进行预干燥处理时，保持高的工作效率，及低成本。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是涉及具有在基板上层叠的材料层的器件的制造方法及器件制造装置，以及器件及电子机器。专利文献1特开平11-274671号公告。专利文献2特开2000-216330号公告。但是，在现有技术中，为了制造多层布线的器件，是通过交替地进行将液体状材料配置在基板上的工序、和使用扁平烤盘或电炉对所述配置的液体状材料进行预干燥的工序，从而形成多层的材料层。并且，通过对形成有多层的材料层的基板进行烧结处理，从而形成多层布线器件。但是，在现有技术的制造方法中，一直存在以下的问题。在现有技术中，在向基板上供给液体状材料的工序中采用了喷墨装置等材料供给装置，基板是在被支承在装置的台架的状态下供给液体状材料。而在对供给到基板上的液体状材料进行干燥的工序中，采用了扁平烤盘或电炉等干燥装置，基板被从描画装置的台架暂时卸下之后，保持在干燥装置内进行干燥。而且，经干燥处理后的基板，被再次搬送并支承在描画装置的台架上，进行供给液体状材料的处理。这样，在分别进行供给液体状材料处理与干燥处理时，基板是在受到不同的台架支承下来进行的。在这种情况下，基板必须相应处理而从台架上卸下，例如，每次装载于材料供给装置的台架时，材料供给装置就必须对基板进行定位校正。这样会使工作效率下降。为了解决上述问题，本专利技术的器件的制造方法，具有向基板上供给液体状材料从而在该基板上层叠多层的材料层的工序，其特征在于具有将所述液体状材料配置在所述基板上的制膜工序、和通过使配置有所述液体状材料的所述基板与加热至所定温度的气体接触，从而对所述液体状材料进行预干燥的预干燥工序。根据本专利技术，由于在对基板上配置的液体状材料进行预干燥处理时，是将配置有所述液体状材料的所述基板与加热至所定温度的气体接触，使所述膜状材料预干燥，所以在预干燥处理时，即使不将基板从为了配置液体状材料的装置的台架上卸下，也能够简单地进行预干燥处理。另外，在本专利技术的器件的制造方法中，采用了在所述制膜工序与所述预干燥工序分别进行所定的次数之后，具有对所述基板进行烧结的烧结工序的构成。这样，由经预干燥且层叠的多层材料层可以制造多层布线器件。另外，在本专利技术的器件的制造方法中，采用了所述液体状材料是将器件形成用材料分散配置在所定的溶剂中的，并根据所述溶剂来设定所述所定的温度的构成。这样，在预干燥处理中，可以以适当的温度高效率地去除液体状材料中的溶剂。另外，在本专利技术的器件的制造方法中，采用了采用能够定量滴下所述液体状材料的液滴喷出装置进行所述制膜工序的构成。这样，能够进行器件的少量多品种的生产。另外，本专利技术的器件的制造方法，具有向基板上供给液体状材料从而在该基板上层叠多层的材料层的工序，其特征在于具有将所述液体状材料配置在所述基板上的制膜工序、和通过使配置有所述液体状材料的所述基板的表面上的气体针对该基板产生相对移动，从而对所述液体状材料进行预干燥的预干燥工序。根据该器件的制造方法，由于是在对配置在基板上的液体状材料进行预干燥时，使配置有所述液体状材料的所述基板的表面上的气体、相对于该基板产生相对移动而进行预干燥，所以即使不将基板从为了配置液体状材料的装置的台架上卸下，也能够简单地进行预干燥处理。也就是说，通过基板的表面上的气体相对于该基板的移动，使基板表面的气压下降，促进液体状材料的蒸发。而且，由于在预干燥时并非一定要对基板加热，所以能够减轻对基板与材料等的热负担。另外，在本专利技术的器件的制造方法中，既可以通过使所述气体接触所述基板从而进行所述预干燥工序，也可以通过使所述基板移动从而进行所述预干燥工序。在每一种情况下，都是通过基板的表面上的气体相对于该基板的移动，促进液体状材料的蒸发。本专利技术中器件的制造装置，具有可向基板上供给液体状材料的制膜装置，其特征在于具有将所述基板与加热至所定温度的气体接触的预干燥装置。根据本专利技术，由于是使在制膜装置中对基板上设置的液体状材料进行预干燥的装置，具有由加热至所定温度的气体与所述基板接触的构成，所以在进行预干燥处理过程中，即使不将基板从为了配置液体状材料的装置的台架上卸下，也能够简单地进行预干燥处理。另外，在本专利技术的器件的制造方法中，采用了所述预干燥装置包括支承所述基板的台架、可以向受到所述台架支承的所述基板供给所述气体的气体供给部、以及使所述台架与所述气体供给部产生相对移动的移动装置的构成。这样，由于能够例如在对基板进行扫描的同时进行干燥处理，所以能够对基板全面均匀地进行高效率的干燥。另外，通过在接触与分离的方向上移动台架与气体供给部，能够容易地改变干燥条件。另外，在本专利技术的器件的制造方法中，采用了所述制膜装置，包括能够定量滴下所述液体状材料的液滴喷出装置的构成。这样，能够进行器件的少量多品种的生产。另外，本专利技术中器件的制造装置，具有可向基板上供给液体状材料的制膜装置，其特征在于具有使所述基板表面上的气体针对所述基板产生相对移动的预干燥装置。根据本专利技术中器件的制造装置，由于是使在制膜装置中对基板上设置的液体状材料进行预干燥的预干燥装置，具有由加热至所定温度的气体与所述基板产生相对移动的构成，所以即使不将基板从为了配置液体状材料的装置的台架上卸下，也能够简单地进行预干燥处理。而且，由于在预干燥时并非一定要对基板加热，所以能够减轻对基板与材料等的热负担。另外，因可以省去加热装置所以能实现低成本化。本专利技术的器件的特征是由所述的器件制造装置而制造。根据本专利技术，由于是由本专利技术的器件制造装置所制造，所以能够提供低成本且廉价的器件。本专利技术的电子机器的特征是安装有所述的器件。根据本专利技术，能够提供低成本且廉价的电子机器。这里，本专利技术中的液滴喷出装置包括设置有喷头的喷墨装置。喷墨装置的喷头是，能够由喷墨法定量地喷出液体状材料、例如能够定量、断续地滴下1～300纳克的液体状材料(流动体)的装置。通过采用喷墨法作为材料层的层叠方法，因而能够以廉价的设备在任意位置以任意厚度配置材料层。此外，作为液滴喷出装置，也可以是分配器(dispenser)。作为喷墨的方式，既可以是由压电体元件的体积变化而引起流动体(液体状材料)喷出的压电射出方式，也可以是通过施加热而急剧产生气泡从而使流动体喷出的方式。这里，所谓流动体是指具有从喷头的喷嘴能够喷出(能滴下)的粘度的介质。与是水性还是油性没有关系。只要是满足了能够从喷嘴等喷出的粘度就已经足够，即使是混入固体的物质，只要作为全体是流动体即可。而且，流动体中所包含的材料，除了溶剂中作为微粒的被分散物之外，还可以有被加热到熔点以上而溶解的物质，还可以有溶剂以外的染料、颜料等其它所添加的功能性材料。另外，所谓布线图形(电路)是指构成电路元件间的电连接关系的电路，它具有特定的电特征及一定的电特性等。另外，基板除了是指平面基板之外，也可以是曲面状的基板。并且，图形形成面的硬度并不一定是硬的，除了玻璃、塑料、金属等之外，还可以是具有可挠性的薄膜、纸、橡胶等的表面。图2是喷头的分解立体图。图3是喷头主要部分的立体图的局部剖面图。图4是表示本专利技术中器件制造方法的一实施例的流程图。图5是用于说明本专利技术中器件制造方法的模式图。图6是表示有源矩阵型有机EL显示装置的电路图。图7是表示图6的显示装置中像素部的平面结构的放大图。图8是表示由本专利技术的电光学装置的制造方法而本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种器件的制造方法，具有向基板上供给液体状材料从而在该基板上层叠多层的材料层的工序，其特征在于：具有将所述液体状材料配置在所述基板上的制膜工序、和通过使配置有所述液体状材料的所述基板与加热至所定温度的气体接触，从而对所述液体状材料进 行预干燥的预干燥工序。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：长谷井宏宣，平井利充，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]