一种上下boat机制造技术

本发明专利技术涉及半导体芯片技术领域，尤其是一种上下boat机，包括：机架，所述机架的顶部设有供料装置；上料机构，位于所述机架的内部，所述上料机构用以纵向输送料盒；推料机构，与所述机架固定连接，所述推料机构用以横向推动所述料盒内部的板料；定位机构与所述机架固定连接，所述定位机构用以接收所述推料机构推出的板料；吸取机构，位于所述定位机构的上方，通过上料机构控制料盒进行上料工作，减少了人工单次上料的人力成本，推料机构配合上料，与吸料机构定位机构进行吸取组装的配合，可以一人操作多台设备，提高的此装置的生产产能，此装置机构间的配合保证了boat自动上下料的可靠运行，体现了此装置的全自动化功能，完美实现了国产设备的替代。国产设备的替代。国产设备的替代。

【技术实现步骤摘要】
一种上下boat机


[0001]本专利技术涉及半导体芯片
，尤其涉及一种上下boat机。

技术介绍

[0002]半导体芯片：在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件；不只是硅芯片，常见的还包括砷化镓，锗等半导体材料；
[0003]尽管国内每年要投入3500亿美元左右进口芯片，但芯片供给依旧不足，国产芯片需求剧增，对芯片制造业必不可少的上下boat机的需求量随之加大，目前国内主要依赖进口，价格昂贵；
[0004]经检索中国专利公开号为CN209396563U的一种取放TOP
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cover机构，包括底座和机体，所述机体安装在底座上，所述机体沿X轴方向上一侧设置有抓取Boat机构，所述抓取Boat机构上设置有吸盘，所述抓取Boat机构底部设置有升降丝杆，所述机体沿X轴方向上设置有线性滑轨，所述线性滑轨与抓取Boat机构配合设置，所述底座上还设置有电机，所述电机通过同步轮和同步带构成的同步传送机构驱动抓取Boat机构在线性滑轨上移动，所述机体沿X轴方向上另一侧设置有Boat定位机构，所述Boat定位机构上设置有磁性金属托盘，所述Boat定位机构的对角位置设置有定位装置，其中，boat定位机构是通过内部的磁性金属托盘对boat进行磁吸定位，不仅对需要在定位前提前人工预放基板与盖板，而且此方案不具备对boat上料，定位调节与下料的功能，导致现有对boat加工全自动化设备出现断层的问题。

技术实现思路

[0005]针对现有技术中对于存在的上述问题，现提供一种上下boat机。
[0006]具体技术方案如下：
[0007]设计一种上下boat机，包括：
[0008]机架，所述机架的顶部设有供料装置；
[0009]上料机构，位于所述机架的内部，所述上料机构用以纵向输送料盒；
[0010]推料机构，与所述机架固定连接，所述推料机构用以横向推动所述料盒内部的板料；
[0011]定位机构，与所述机架固定连接，所述定位机构用以接收所述推料机构推出的板料；
[0012]吸取机构，位于所述定位机构的上方，所述吸取机构用以吸取所述供料装置内部的基板，以使所述基板被移动至所述定位机构的内部。
[0013]优选的，所述上料机构的底部设有第三滑轨，所述第三滑轨的一端设有第一电机，所述第一电机活动连接所述上料机构，所述上料机构外部固定连接第一滑轨，所述第一滑轨的顶部设有第二电机，所述第二电机的下方活动连接储物架，所述储物架嵌入连接所述第一滑轨。
[0014]优选的，所述推料机构的顶部设有第一皮带，所述第一皮带的一端活动连接所述第三电机，所述第一皮带的内侧活动连接第一滑块，所述第一滑块的外部设有推杆。
[0015]优选的，所述吸取机构的底部固定连接底板，所述底板的下方设有吸盘，所述吸盘呈等间距分布形式，所述吸取机构的背部固定连接第二滑块，所述第二滑块的顶部活动连接第四电机。
[0016]优选的，所述定位机构的内侧设有支撑板，所述支撑板的两侧设有第二皮带，所述定位机构的外部设有第五电机，所述第二电机活动连接所述第二皮带，所述支撑板的底部活动连接所述第六电机。
[0017]优选的，所述定位机构的底部通过紧固件连接底座，所述底座固定连接所述机架。
[0018]优选的，所述机架的顶部固定连接支撑柱，所述支撑柱的外部固定连接横向轨道，所述横向轨道活动连接纵向轨道，所述纵向轨道外部滑动连接所述第二滑块。
[0019]优选的，所述机架的内部设有下料机构，所述下料机构位于所述定位机构的背部，所述下料机构的底部滑动连接第二滑轨，所述第二滑轨的一端设有第七电机，所述第七电机活动连接所述下料机构，所述下料机构的内部设有储物板。
[0020]优选的，所述机架的顶部设有输送轨道，所述输送轨道位于所述供料装置的上方。
[0021]优选的，所述机架的背部设置有立杆，所述立杆通过紧固件连接视觉感应装置，所述视觉感应装置位于所述吸取机构的上方。
[0022]上述技术方案具有如下优点或有益效果：
[0023]1.通过上料机构位于机架的内部，上料机构用以纵向输送料盒；推料机构与机架固定连接，推料机构用以横向推动料盒内部的板料；定位机构与机架固定连接，定位机构用以接收推料机构推出的板料；吸取机构位于定位机构的上方，吸取机构用以吸取供料装置内部的基板，以使基板被移动至定位机构的内部，此装置通过上料机构控制料盒进行上料工作，减少了人工单次上料的人力成本，而且通过推料机构配合上料，与吸料机构定位机构进行吸取组装的配合，可以一人操作多台设备，提高的此装置的生产产能，此装置机构间的配合保证了boat自动上下料的可靠运行，体现了此装置的全自动化功能，完美实现了国产设备的替代。
[0024]2.通过吸取机构的底部固定连接底板，底板的下方设有吸盘，吸盘呈等间距分布形式，吸取机构的背部固定连接第二滑块，第二滑块的顶部活动连接第四电机，通过驱动设备为吸取机构提供动力，使得吸取机构可以多角度移动，对基板与盖板进行输送工作，而且通过底座与吸取机构采用卡扣连接的方式，使得吸取机构可以根据不同宽度的boat进行更换，体现了此装置对boat吸取的兼容性与适配性。
[0025]3.通过定位机构的内侧设有支撑板，支撑板的两侧设有第二皮带，定位机构的外部设有第五电机，第二电机活动连接第二皮带，支撑板的底部活动连接第六电机，此装置设置的定位机构不仅可以通过内侧的槽与支撑板对boat、基板与盖板进行定位支撑，而且通过横纵电机的带动可以对顶部的三层板进行调节贴合工作，实现三者的可靠定位，体现了此装置定位机构的实用性与可靠性。
附图说明
[0026]参考所附附图，以更加充分的描述本专利技术的实施例。然而，所附附图仅用于说明和
阐述，并不构成对本专利技术范围的限制。
[0027]图1为本专利技术提出的一种上下boat机的结构示意图；
[0028]图2为本专利技术提出的一种上下boat机的结构俯视图；
[0029]图3为本专利技术提出的一种上下boat机上料机构的结构示意图；
[0030]图4为本专利技术提出的一种上下boat机吸取机构与定位机构的结构示意图；
[0031]图5为本专利技术提出的一种上下boat机吸取机构的结构示意图；
[0032]图6为本专利技术提出的一种上下boat机推料机构的结构示意图；
[0033]图7为本专利技术提出的一种上下boat机下料机构的结构示意图；
[0034]图8为本专利技术提出的一种上下boat机定位机构的结构示意图；
[0035]图9为本专利技术提出的一种上下boat机定位机构的结构侧视图；
[0036]图10为本专利技术提出的一种上下boat机图5A部位的结构放大图。
[0037]上述附图标记表示：机架1、支撑柱2、输送轨道3、上料机构4、第一滑轨41、第一电机42、第二电机43、储物架44、第三滑轨45、推料机构5、第三电机51、第一皮带5本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种上下boat机，其特征在于：包括：机架(1)，所述机架(1)的顶部设有供料装置(8)；上料机构(4)，位于所述机架(1)的内部，所述上料机构(4)用以纵向输送料盒；推料机构(5)，与所述机架(1)固定连接，所述推料机构(5)用以横向推动所述料盒内部的板料；定位机构(7)，与所述机架(1)固定连接，所述定位机构(7)用以接收所述推料机构(5)推出的板料；吸取机构(6)，位于所述定位机构(7)的上方，所述吸取机构(6)用以吸取所述供料装置(8)内部的基板，以使所述基板被移动至所述定位机构(7)的内部。2.根据权利要求1所述的一种上下，其特征在于：所述上料机构(4)的底部设有第三滑轨(45)，所述第三滑轨(45)的一端设有第一电机(42)，所述第一电机(42)活动连接所述上料机构(4)，所述上料机构(4)外部固定连接第一滑轨(41)，所述第一滑轨(41)的顶部设有第二电机(43)，所述第二电机(43)的下方活动连接储物架(44)，所述储物架(44)嵌入连接所述第一滑轨(41)。3.根据权利要求1所述的一种上下，其特征在于：所述推料机构(5)的顶部设有第一皮带(52)，所述第一皮带(52)的一端活动连接所述第三电机(51)，所述第一皮带(52)的内侧活动连接第一滑块(53)，所述第一滑块(53)的外部设有推杆(54)。4.根据权利要求1所述的一种上下，其特征在于：所述吸取机构(6)的底部固定连接底板(63)，所述底板(63)的下方设有吸盘(64)，所述吸盘(64)呈等间距分布形式，所述吸取机构(6)的背部固定连接第二滑块(61)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：万昌海，
申请(专利权)人：象平半导体设备苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：