薄膜图案的制造方法、有机场致发光元件的制造方法技术

本发明专利技术提供一种薄膜图案的制造方法、有机场致发光元件的制造方法、滤色片的制造方法、等离子显示面板的制造方法、液晶显示面板的制造方法及电子设备。其特征是，具有在具有长轴及短轴的象素区域（１）内用液滴喷出方式涂布液状体材料的液状体涂布处理、和在液状体涂布处理中将液滴喷出装置的喷嘴头沿象素区域（１）的短轴方向（扫描线Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３的方向）扫描，在该扫描过程中从设于该喷嘴头上的黑喷嘴向象素区域（１）喷出液滴的短轴方向喷出处理。由此，在使用液滴喷出方式形成构成象素的薄膜图案时，可以减少在该薄膜图案上产生的条状不均或可以使该条状不均分散。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使用液滴喷出方式的、滤色片的制造方法、等离子显示面板的制造方法、液晶显示面板的制造方法及电子设备。
技术介绍
以往研究出了使用有机场致发光元件的显示面板。有机场致发光元件的基本构成为，将包含荧光性有机分子的固体薄膜(发光层)用2片电极(阴极和阳极)夹持。当在该电极上加上电压时，空穴即从阳极注入发光层，电子即从阴极注入发光层，从该发光层发出荧光。但是，由于仅由发光层构成的单层型构造元件发光效率低，在耐久性上也有问题，因此提出了在阳极和发光层间设置有密接性良好的空穴注入层(空穴注入输送层)的双层构造元件。通过采用该叠层构造，利用载流子的注入/输送平衡及载流子的复合部位的控制，就可以提高有机场致发光元件的发光效率及耐久性。另外，根据该叠层构造，由于使发光、注入/输送之类的功能分担在各个材料上，因此有可以实现材料及元件的最佳设计的优点。另外，作为以往的双层叠层型有机场致发光元件的空穴注入输送层化合物，已经提出有使用卟啉化合物、苯胺或吡啶及它们的衍生物低分子或者碳层的空穴注入输送层等。在使用了这些低分子类材料的空穴注入输送层的形成中，一般采用利用真空蒸镀或溅射的成膜法。作为高分子材料已知有聚苯胺等，用旋涂法等湿式法进行成膜。但是，由于利用真空蒸镀或溅射的成膜法是批处理，需要很长时间，因而批量生产效率较差。另外，对于低分子材料的情况，有成膜后容易结晶化、元件的可靠性降低之类的问题。另一方面，对于高分子材料的情况，虽然有分子设计上的自由度较高，并且由于是湿式方法，因此容易实现材料的最佳化之类的优点，但是，旋涂法等成膜法会有将材料的大部分都浪费掉的较大的问题。而且，当需要进行全色显示等材料的微细图案形成等时，利用蒸镀法难以进行高精度的图案形成，另外，在利用光刻的图案形成工序中，有材料缺乏耐久性之类的问题。这对于高分子材料也同样是问题。另外，作为空穴注入层或缓冲层使用的材料由于是具有导电性的材料，因此如果不能实现完全的图案形成，则会成为导致设于同一基板上的相邻象素间的漏电的原因。另一方面，为了解决所述问题，即为了可以进行材料或元件设计的最佳化，并且能够简便、快速并以低成本进行高精度的图案成膜，已经研发出使用液滴喷出方式的空穴注入层及发光层等的制造方法。使用该液滴喷出方式的制造方法是从墨喷嘴将由空穴注入层的成分和溶剂构成的液滴向所需区域喷出而形成薄膜图案的方法(例如参照专利文献1)。特开2000-106278号公报但是，一直以来，当使用液滴喷出方式形成构成象素的薄膜图案时，由于使墨喷嘴沿着象素区域的长轴方向扫描而进行液滴喷出，因此在该象素的长轴方向会产生条纹形状的不均(条状不均)。图12是表示利用以往的液滴喷出方式的象素区域的涂布方法的说明图。如图12所示，一般来说，象素区域1采用具有长轴及短轴的纵向形状，沿着象素区域1的长轴，设定有墨喷嘴的扫描线L100。一边使墨喷嘴沿着该扫描线L100移动，一边从该墨喷嘴逐次喷出液滴。该多个液滴在象素区域1内命中在线上，在象素区域1内形成具有条状不均的薄膜图案。当产生此种条状不均时，由于薄膜图案的膜厚变得不均匀，因此当将该薄膜图案作为例如象素的空穴注入层、发光层或滤色片使用时，就会产生条纹状的发光不均。另外，在使用了以往的液滴喷出方式的构成象素的薄膜图案的形成中，由于在对1个象素区域的1次扫描中，使用1个墨喷嘴喷出液滴，因此有为了形成该薄膜图案要花费较多时间的问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于所述问题而进行的，目的在于提供一种在使用液滴喷出方式形成构成象素的薄膜图案时，可以减少该薄膜图案上产生的条状不均或可以使该条状不均分散的、滤色片的制造方法、等离子显示面板的制造方法、液晶显示面板的制造方法及电子设备。另外，本专利技术的目的还在于，提供一种可以利用液滴喷出方式高速地形成构成象素的薄膜图案的、滤色片的制造方法、等离子显示面板的制造方法、液晶显示面板的制造方法及电子设备。为了达成所述目的，本专利技术的薄膜图案的制造方法的特征是，具有在具有长轴及短轴的象素区域内以液滴喷出方式涂布液状体材料的液状体涂布处理、在所述液状体涂布处理中将液滴喷出装置的喷嘴头沿所述象素区域的短轴方向扫描，在该扫描过程中从设于该喷嘴头上的墨喷嘴向该象素区域喷出液滴的短轴方向喷出处理。根据本专利技术，通过将喷嘴头沿象素区域的短轴方向扫描，从该喷嘴头的墨喷嘴向该象素区域喷出液滴，就可以形成成为象素的构成要素的薄膜。这样，与将喷嘴头沿象素区域的长轴方向扫描的情况相比，就很容易地利用设于喷嘴头上的多个墨喷嘴向1个象素区域进行多个液滴的喷出。这是因为，例如当将喷嘴头沿象素区域的长轴方向扫描时，仅1个墨喷嘴横穿该象素区域，而当将喷嘴头沿象素的短轴方向扫描时，则有等间隔地配置在喷嘴头上的多个墨喷嘴横穿象素区域。另外，根据本专利技术，如上所示，由于很容易利用多个墨喷嘴向1个象素区域喷出液滴，因此很容易分散各墨喷嘴间的喷出量的差，从而可以使在构成象素的薄膜上产生的「条状不均」等减少。所以，根据本专利技术，很容易使构成象素的薄膜的膜厚均匀化，从而可以减少发光不均等。另外，根据本专利技术，由于很容易利用相邻的多个墨喷嘴向1个象素区域近似同时或逐次地喷出多个液滴，因此很容易使利用液滴喷出方式进行的向象素区域的液状体的涂布高速化。另外，本专利技术的薄膜图案的制造方法最好在所述短轴方向喷出处理中，对1个所述象素区域进行多次的液滴喷出，该多次的液滴喷出由至少2个不同的所述墨喷嘴进行。根据本专利技术，由于用2个以上的墨喷嘴进行针对1个象素区域的多次液滴喷出，因此可以使各墨喷嘴间的液滴喷出量等的差(误差)分散。以往，仅用喷出量较少的墨喷嘴对例如某个象素区域进行多次液滴喷出，而对其他的象素区域仅用喷出量较大的墨喷嘴进行多次液滴喷出，因此误差被累积，对于每个象素区域液滴喷出(涂布)量的差增大，从画面整体来看很容易出现「条状不均」。根据本专利技术，由于可以减少每个象素区域的液滴喷出量的差，因此可以使得从画面整体来看难以出现「条状不均」。另外，本专利技术的薄膜图案的制造方法中，最好所述喷嘴头具有多个所述墨喷嘴，对所述1个象素区域的多次液滴喷出由至少2个相邻的所述墨喷嘴近似同时或逐次地进行。根据本专利技术，由于用多个相邻的墨喷嘴对1个象素区域近似同时或逐次地进行液滴喷出，因此可以使墨喷嘴间的液滴喷出量的差分散而减少「条状不均」，并且可以对象素区域整体(也对于配置在基板整体上的多个各象素区域)高速地涂布液状体。另外，本专利技术的薄膜图案的制造方法中，对所述1个象素区域的多次液滴喷出最好以至少2种液滴喷出量来进行。根据本专利技术，通过对各墨喷嘴的液滴喷出量进行控制，就能够以2种以上的液滴喷出量向1个象素区域喷出液滴。这样，例如通过使对象素区域的角部的液滴喷出量较少，对象素区域的中央部的液滴喷出量较多等，就可以在象素区域整体高速地形成均匀厚度的高精度的薄膜。另外，本专利技术的薄膜图案的制造方法中，对所述1个象素区域的多次液滴喷出最好采用至少2种粘度的该液滴来进行。根据本专利技术，例如通过改变向各墨喷嘴供给的液状体的粘度，就可以在象素区域的所需位置涂布所需粘度的液状体。所以，根据本专利技术，可以在象素区域整体形成膜厚更加均匀的高精度的薄膜。另外，本专利技术的薄膜图案的制造方法中，最好所述喷嘴头具有多个所述墨喷本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜图案的制造方法，其特征是，具有在具有长轴及短轴的象素区域内以液滴喷出方式涂布液状体材料的液状体涂布处理、和在所述液状体涂布处理中将液滴喷出装置的喷嘴头沿所述象素区域的短轴方向扫描，在该扫描过程中从设于该喷嘴头上的墨喷 嘴向该象素区域喷出液滴的短轴方向喷出处理。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：酒井宽文，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]