芯片封装结构制造技术

本申请公开了一种芯片封装结构，该芯片封装结构包括基板、焊盘、绝缘层和重布线层。其中，所述第一钝化层覆盖于所述基板上，所述第一钝化层具有至少一个暴露所述基板的通孔；所述焊盘设置于所述通孔内，所述焊盘在垂直方向的投影面积小于2500um2；所述重布线层覆盖于所述第一钝化层和所述焊盘上。本方案可以提高芯片的导电性。芯片的导电性。芯片的导电性。

【技术实现步骤摘要】
芯片封装结构


[0001]本申请涉及芯片封装
，具体涉及一种芯片封装结构。

技术介绍

[0002]随着新能源汽车的迅猛发展，消费者对于车舱体验要求越来越高，汽车音响喇叭的数量也从传统燃油车的6～8个，到现在新能源车的12～20个，甚至更多。这就对汽车音响芯片的功耗及散热就提出了越来越高的要求。
[0003]传统的芯片封装结构是在芯片顶层做铝焊垫窗口，其余地方覆盖钝化层来保护芯片表面电路，并用铝焊垫焊接打线以连接外部的芯片引脚，另外再做一层塑封作为整个芯片的外部保护。然而，这种传统的芯片封装结构在芯片功率较大，需要通过铝焊垫传导大电流时，会受到铝焊垫窗口大小和材质的限制，导致无法满足高功率芯片的导电性要求。

技术实现思路

[0004]本申请提供了一种芯片封装结构，可以提高芯片的导电性。
[0005]本申请提供了一种芯片封装结构，包括：
[0006]基板；
[0007]第一钝化层，所述第一钝化层覆盖于所述基板上，所述第一钝化层具有至少一个暴露所述基板的通孔；
[0008]焊盘，所述焊盘设置于所述通孔内，所述焊盘在垂直方向的投影面积小于2500um2；
[0009]重布线层，所述重布线层覆盖于所述第一钝化层和所述焊盘上。
[0010]在本申请提供的芯片封装结构中，所述焊盘在垂直方向的投影为矩形，所述矩形的宽和/或长小于50um。
[0011]在本申请提供的芯片封装结构中，所述矩形的长和宽分别为20um和10um。
[0012]在本申请提供的芯片封装结构中，所述重布线层包括从下至上依次层叠设置的第一金属层、第二金属层和第三金属层。
[0013]在本申请提供的芯片封装结构中，所述第一金属层为铜金属层，所述第二金属层为镍金属层，所述第三金属层为金金属层。
[0014]在本申请提供的芯片封装结构中，所述第一金属层的厚度大于所述第二金属层，所述第二金属层的厚度大于所述第三金属层的厚度。
[0015]在本申请提供的芯片封装结构中，所述第一金属层的厚度为8um～10um，所述第二金属层的厚度为1um～3um，所述第三金属层的厚度为0.2um～0.8um。
[0016]在本申请提供的芯片封装结构中，所述芯片封装结构还包括第二钝化层，所述第二钝化层设置于所述重布线层上，所述第一钝化层上具有暴露所述重布线层的第二窗口。
[0017]在本申请提供的芯片封装结构中，所述重布线层上设置有第三窗口。
[0018]在本申请提供的芯片封装结构中，所述芯片封装结构为散热板外露的芯片封装结
构。
[0019]综上，本申请提供的芯片封装结构包括基板、第一钝化层、焊盘和重布线层。其中，所述第一钝化层覆盖于所述基板上，所述第一钝化层具有至少一个暴露所述基板的通孔；所述焊盘设置于所述通孔内，所述焊盘在垂直方向的投影面积小于2500um2；所述重布线层覆盖于所述第一钝化层和所述焊盘上。本方案通过形成覆盖第一钝化层和焊盘的重布线层，从而使得焊盘可以通过较大电流。也即，本方案可以提高芯片的导电性。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1是本申请实施例提供的芯片封装结构的第一结构示意图。
[0022]图2是本申请实施例提供的芯片封装结构的第二结构示意图。
[0023]图3是本申请实施例提供的芯片封装结构的第三结构示意图
具体实施方式
[0024]这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本申请相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的装置和方法的例子。
[0025]需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素，此外，本申请不同实施例中具有同样命名的部件、特征、要素可能具有相同含义，也可能具有不同含义，其具体含义需以其在该具体实施例中的解释或者进一步结合该具体实施例中上下文进行确定。
[0026]应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0027]在后续的描述中，使用用于表示元件的诸如“模块”、“部件”或者“单元”的后缀仅为了有利于本申请的说明，其本身没有特定的意义。因此，“模块”、“部件”或者“单元”可以混合地使用。
[0028]需要说明的是，在本申请的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0029]以下将通过具体实施例对本申请所示的技术方案进行详细说明。需要说明的是，以下实施例的描述顺序不作为对实施例优先顺序的限定。
[0030]传统的芯片封装结构是在芯片顶层做铝焊垫窗口，其余地方覆盖钝化层来保护芯片表面电路，并用铝焊垫焊接打线以连接外部的芯片引脚，其间做一层塑封作为整个芯片的外部保护。然而，这种传统的芯片封装结构在芯片功率较大，需要通过铝焊垫传导大电流时，会受到铝焊垫窗口大小和材质的限制，导致无法满足高功率芯片的导电性要求。并且，由于传统的芯片封装结构的封装厚度较厚，无法满足高功率汽车芯片的散热性。
[0031]基于此，本申请提供了一种芯片封装结构，请参阅图1，该芯片封装结构可以包括基板10、焊盘20、第一钝化层30和重布线层40。
[0032]其中，第一钝化层30覆盖于基板10上，第一钝化层30具有至少一个暴露基板的通孔31；焊盘20设置于通孔31内；重布线层40覆盖于第一钝化层30和焊盘20上。
[0033]在本申请实施例中，通过形成覆盖第一钝化层30和焊盘20的重布线层40，从而使焊盘20的导电性摆脱通孔31的限制，可以通过较大电流，进而提高芯片的导电性。并且，本申请实施例通过该重布线层40可以间接增大焊盘20与外界的接触面积，从而增加该芯片的散热性。
[0034]在一些实施例中，该焊盘20的高度小于通孔31的深度，使得形成覆盖第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片封装结构，其特征在于，包括：基板；第一钝化层，所述第一钝化层覆盖于所述基板上，所述第一钝化层具有至少一个暴露所述基板的通孔；焊盘，所述焊盘设置于所述通孔内，所述焊盘在垂直方向的投影面积小于2500um2；重布线层，所述重布线层覆盖于所述第一钝化层和所述焊盘上。2.如权利要求1所述的芯片封装结构，其特征在于，所述焊盘在垂直方向的投影为矩形，所述矩形的宽和/或长小于50um。3.如权利要求2所述的芯片封装结构，其特征在于，所述矩形的长和宽分别为20um和10um。4.如权利要求1所述的芯片封装结构，其特征在于，所述重布线层包括从下至上依次层叠设置的第一金属层、第二金属层和第三金属层。5.如权利要求4所述的芯片封装结构，其特征在于，所述第一金属层为铜金属层，所述第二金属层为镍金...

【专利技术属性】
技术研发人员：张静芳，
申请(专利权)人：上海芯聆半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：