本实用新型专利技术公开了半导体加工制造领域内的一种晶圆铁框堆叠防滑落装置，包括若干堆叠放置的晶圆铁框，所述晶圆铁框的四周分别设置有前直线边、后直线边、左直线边和右直线边，所述前直线边与后直线边对称平行，所述左直线边与右直线边对称平行，对应所述晶圆铁框的左直线边、后直线边、右直线边均设置有固定器，所述固定器为空心圆柱体结构，所述固定器上下侧均同轴设置有圆环限位板，所述圆环限位板内径与固定器的内径相同，所述圆环限位板的外径大于固定器的外径，所述下侧圆环限位板上设置有若干沉头孔。本实用新型专利技术能够固定晶圆铁框的摆放位置，限制晶圆铁框的叠放高度，可有效预防晶圆铁框滑落风险。圆铁框滑落风险。圆铁框滑落风险。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆铁框堆叠防滑落装置
[0001]本技术属于半导体加工制造领域，特别涉及一种晶圆铁框堆叠防滑落装置。
技术介绍
[0002]现有技术中，晶圆铁框在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆铁框来搬运和储存晶圆，闲置的晶圆铁框通常堆叠放置在货架或工作桌面上，其不足之处在于：晶圆铁框的摆放位置无限制，晶圆铁框堆叠的高度无管控，当闲置的数量较多时，位于高处的晶圆铁框会出现滑落现象，有滑落砸到人员的风险。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是提供一种晶圆铁框堆叠防滑落装置，能够固定晶圆铁框的摆放位置，限制晶圆铁框的叠放高度，可有效预防晶圆铁框滑落风险。
[0004]本技术的目的是这样实现的：一种晶圆铁框堆叠防滑落装置，包括若干堆叠放置的晶圆铁框，所述晶圆铁框的四周设置分别设置有前直线边、后直线边、左直线边和右直线边，所述前直线边与后直线边对称平行，所述左直线边与右直线边对称平行，其特征在于，对应所述晶圆铁框的左直线边、后直线边、右直线边均设置有固定器，所述固定器为空心圆柱体结构，所述固定器上下侧均同轴设置有圆环限位板，所述圆环限位板内径与固定器的内径相同，所述圆环限位板的外径大于固定器的外径，所述下侧圆环限位板上设置有若干沉头孔。
[0005]本技术使用时，在货架或者工作桌面安装三个固定器，放置第一个晶圆铁框时，使晶圆铁框的左直线边、后直线边、右直线边分别与左固定器、后固定器、右固定器的外壁接触，从而形成稳定的三角放置区域，再通过在沉头孔中安装紧固件，紧固件优选螺钉，将固定器与货架或者工作桌面固定，后续收纳晶圆铁框时，从下至上依次叠放，直至晶圆铁框接触到上圆环限位板的下侧。与现有技术相比，本技术的有益效果在于：固定了晶圆铁框的摆放位置，使铁框治具摆放更整齐，为后续拿取晶圆铁框治具节约了时间；限制了晶圆铁框的摆放高度，避免堆叠过高增加安全隐患，有效预防物料滑落风险。
[0006]作为本技术的进一步改进，所述沉头孔的数量为2，两个所述沉头孔对称分布在下圆环限位板上。
[0007]作为本技术的进一步改进，所述晶圆铁框的直线边与固定器的接触点与直线边的中点重叠。
[0008]作为本技术的进一步改进，还包括三通支撑座，所述支撑座的通孔上均设置有光轴，所述光轴的另一端均设置有支架，所述光轴上均套有滑块，所述滑块上设置有定位柱，所述定位柱的外径与固定器的内径适配，所述定位柱伸入固定器内部。可通过移动滑块来调整三个固定器之间的距离，以满足不同尺寸晶圆铁框的左直线边、后直线边、右直线边均与对应固定器外壁接触。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述固定器的高度为155mm，所述圆环限位板的内径为72mm，所述圆环限位板的外径为105mm。
附图说明
[0010]图1为本技术的立体结构示意图。
[0011]图2为固定器与晶圆铁框的位置示意图。
[0012]图3为固定器的剖面图。
[0013]图4为三通支撑座的左视图。
[0014]图5为三通支撑座的俯视图。
[0015]图6为滑块的立体结构示意图。
[0016]图7为本技术的正视图。
[0017]其中，1晶圆铁框，101左直线边，102后直线边，103右直线边，104前直线边，2固定器，3圆环限位板，301沉头孔，4三通支撑座，401通孔，5光轴，6支架，7滑块，701定位柱。
具体实施方式
[0018]如图1
‑
7所示，一种晶圆铁框堆叠防滑落装置，包括若干堆叠放置的晶圆铁框1，晶圆铁框1的四周分别设置有前直线边104、后直线边102、左直线边101和右直线边103，前直线边104与后直线边102对称平行，左直线边101与右直线边103对称平行，对应晶圆铁框1的左直线边101、后直线边102、右直线边103均设置有高度为155mm的固定器2，固定器2为空心圆柱体结构，晶圆铁框1直线边与固定器2外壁的接触点均与对应直线边的中点重叠，实际操作时，考虑到晶圆铁框1的重量，工作人员可调整左直线边101和右直线边103与固定器2接触的位置，使左接触点和右接触点处于对应直线边中点的前侧，以获得更稳定的三角结构；固定器2上下侧均同轴设置有圆环限位板3，圆环限位板3内径与固定器2的内径均为72mm，圆环限位板3的外径大于固定器2的外径，圆环限位板3的外径优选为105mm；下侧圆环限位板3上设置有两个对称分布的沉头孔301；还包括三通支撑座4，支撑座的三个通孔401上均设置有光轴5，三根光轴5的另一端均设置有支架6，三根光轴5上均套设有滑块7，滑块7上设置有外径与固定器2的内径适配的定位柱701，三个定位柱701均伸入对应固定器2内部。
[0019]本技术在使用时，当闲置的晶圆铁框1尺寸单一且数量较多时，可以仅使用三个固定器2，通过设置在沉头孔301内的螺钉将固定器2安装在货架或工作桌面上；当闲置的晶圆铁框1尺寸较多且存放时间较短时，可以将固定器2和光轴5导轨组合使用，通过对应定位柱701将三个固定器2安装在对应滑块7上，可移动滑块7来调整三个固定器2之间的距离，以满足不同尺寸晶圆铁框1的左直线边101、后直线边102、右直线边103均能与对应固定器2外壁接触，收纳晶圆铁框1时，从下至上依次叠放，直至晶圆铁框1接触到上圆环限位板3的下侧。本技术的优点在于：固定了晶圆铁框1的摆放位置，使铁框治具摆放更整齐，为后续拿取铁框治具节约了时间；限制了晶圆铁框1的摆放高度，避免堆叠过高增加安全隐患，有效预防物料滑落风险。
[0020]本技术并不局限于上述实施例，在本技术公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的
技术实现思路
，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特
征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本技术的保护范围内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆铁框堆叠防滑落装置，包括若干堆叠放置的晶圆铁框，所述晶圆铁框的四周分别设置有前直线边、后直线边、左直线边和右直线边，所述前直线边与后直线边对称平行，所述左直线边与右直线边对称平行，其特征在于，对应所述晶圆铁框的左直线边、后直线边、右直线边均设置有固定器，所述固定器为空心圆柱体结构，所述固定器上下侧均同轴设置有圆环限位板，所述圆环限位板内径与固定器的内径相同，所述圆环限位板的外径大于固定器的外径，所述下侧圆环限位板上设置有若干沉头孔。2.根据权利要求1所述的一种晶圆铁框堆叠防滑落装置，其特征在于，所述沉头孔的数量为2，两个所述沉头孔对称分布在下圆环...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈立梅，朱锦健，蒋菲菲，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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