基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法、装置制造方法及图纸

本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，该方法包括：获取扫描电子显微镜图像；基于扫描电子显微镜图像利用缺陷识别方法获取扫描电子显微镜图像的缺陷信息；其中，缺陷信息包括：缺陷位置信息、缺陷周边图形分组信息以及缺陷位置版图上下层连接关系信息中的至少一种；基于缺陷信息对缺陷进行分类。本申请能够有效地提高缺陷分类的准确率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法、装置


[0001]本申请涉及缺陷分类
，尤其是一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质。

技术介绍

[0002]目前芯片生产过程中，随着芯片生产技术节点不断推进，生产过程中产生的缺陷越来越小，电子束缺陷检测设备的应用越来越普遍。
[0003]现有技术中，一般基于获取到的图像信息对扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope，SEM)图像中的缺陷进行分类。具体地，首先由电子束缺陷检测设备采集硅片的SEM图像；然后由图像比较方法判断是否有缺陷；最后基于SEM图像信息(比如：缺陷尺寸信息，缺陷材料与硅片图形材料是否一致的信息，缺陷位于硅片图形下层或者上层的信息)进行缺陷分类。
[0004]从图像比较和分析中，根据已有的生产和工艺信息，能获得硅片上缺陷材料、来源、尺寸等信息，并利用这些信息对缺陷进行分类。其中，结合图1
‑
图5所示，现有技术对SEM图像中的缺陷分类主要有图形桥型缺陷、图形断线型缺陷、图形剥落型缺陷、表面外来材料型缺陷以及嵌入型缺陷等大类。
[0005]但是，现有技术中仅根据获得硅片上缺陷材料、来源、尺寸信息对缺陷进行分类的方式，无法结合硅片设计版图对缺陷更有效地分类，从而导致缺陷分类的准确率低。
[0006]因此，如何有效地提高缺陷分类的准确率是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

技术实现思路

[0007]本申请的目的是提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，能够有效地提高缺陷分类的准确率。
[0008]根据本申请的第一方面，提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，该方法包括：获取扫描电子显微镜图像；
[0009]基于扫描电子显微镜图像利用缺陷识别方法获取扫描电子显微镜图像的缺陷信息；其中，缺陷信息包括：缺陷位置信息、缺陷周边图形分组信息以及缺陷位置版图上下层连接关系信息中的至少一种；
[0010]基于缺陷信息对缺陷进行分类。
[0011]可选的，基于扫描电子显微镜图像利用缺陷识别方法获取扫描电子显微镜图像的缺陷信息，包括：
[0012]基于扫描电子显微镜图像利用缺陷检测算法获取扫描电子显微镜图像的缺陷位置信息。
[0013]可选的，基于扫描电子显微镜图像利用缺陷识别方法获取扫描电子显微镜图像的缺陷信息，包括：
[0014]基于扫描电子显微镜图像利用图像分组算法获取扫描电子显微镜图像的缺陷周边图形分组信息。
[0015]可选的，基于扫描电子显微镜图像利用图像分组算法获取电子显微镜图像的缺陷周边图形分组信息，包括：
[0016]基于扫描电子显微镜图像根据缺陷的第一预设范围利用图像分组算法获取第一个缺陷周边图形分组信息；其中，第一预设范围用于表征缺陷的比较半径；
[0017]基于第一个缺陷周边图形分组信息根据第二预设范围利用图像分组算法获取第二个缺陷周边图形分组信息；其中，第二预设范围大于第一预设范围。
[0018]可选的，图像分组算法包括以下四项中至少一项：
[0019]贪婪分组策略、孤儿分组策略、Rich分组策略、weak
‑
rich分组策略。
[0020]可选的，基于扫描电子显微镜图像利用缺陷识别方法获取扫描电子显微镜图像的缺陷信息，包括：
[0021]基于扫描电子显微镜图像利用版图位置的上下层连接关系识别算法获取扫描电子显微镜图像的缺陷位置版图上下层连接关系信息。
[0022]可选的，基于缺陷信息对缺陷进行分类，包括：
[0023]基于缺陷位置信息对缺陷进行分类，生成第一分类结果；其中，第一分类结果用于表征处于图形线条中位置相同的缺陷分为一类，处于图形线条中位置不相同的缺陷分为不同类。
[0024]可选的，第一分类结果包括以下六项中至少一项：
[0025]图形线条型缺陷、空白型缺陷、端部型缺陷、拐角型缺陷、连接孔型缺陷以及门形区域缺陷。
[0026]可选的，图形线条型缺陷为缺陷位于图形线条上。
[0027]可选的，空白型缺陷为缺陷位于两个图形线条之间空白的位置。
[0028]可选的，端部型缺陷为缺陷位于图形线条端部。
[0029]可选的，拐角型缺陷为缺陷位于图形线条的拐角的位置。
[0030]可选的，连接孔型缺陷为缺陷位于连接孔内的位置。
[0031]可选的，门形区域缺陷为缺陷位于图形线条的门型区域的位置。
[0032]可选的，基于缺陷信息对缺陷进行分类，包括：
[0033]基于缺陷周边图形分组信息对缺陷进行分类，生成第二分类结果；其中，第二分类结果用于表征周边图形相同的缺陷分为一类，周边图形不同的缺陷分为不同类。
[0034]可选的，基于缺陷信息对缺陷进行分类，包括：
[0035]基于版图位置的上下层连接关系对缺陷进行分类，生成第三分类结果；其中，第三分类结果用于表征版图位置的上下层连接关系中连接孔个数相同的图形分为一类，连接孔个数不同的图形分为不同类。
[0036]可选的，方法还包括：
[0037]在第二分类结果中存在周边图形相同的缺陷之后，基于扫描电子显微镜图像利用版图位置的上下层连接关系识别算法获取扫描电子显微镜图像的缺陷位置版图上下层连接关系信息。
[0038]根据本申请的第二方面，提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分
类装置，该装置包括：第一获取模块，用于获取扫描电子显微镜图像；
[0039]识别模块，用于基于扫描电子显微镜图像利用缺陷识别方法获取扫描电子显微镜图像的缺陷信息；其中，缺陷信息包括：缺陷位置信息、缺陷周边图形分组信息以及缺陷位置版图上下层连接关系信息中的至少一种；
[0040]分类模块，用于基于缺陷信息对缺陷进行分类。
[0041]可选的，识别模块，用于基于扫描电子显微镜图像利用缺陷检测算法获取扫描电子显微镜图像的缺陷位置信息。
[0042]可选的，识别模块，用于基于扫描电子显微镜图像利用图像分组算法获取扫描电子显微镜图像的缺陷周边图形分组信息。
[0043]可选的，识别模块，用于基于扫描电子显微镜图像根据缺陷的第一预设范围利用图像分组算法获取第一个缺陷周边图形分组信息；其中，第一预设范围用于表征缺陷的比较半径；基于第一个缺陷周边图形分组信息根据第二预设范围利用图像分组算法获取第二个缺陷周边图形分组信息；其中，第二预设范围大于第一预设范围。
[0044]可选的，图像分组算法包括以下四项中至少一项：
[0045]贪婪分组策略、孤儿分组策略、Rich分组策略、weak
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rich分组策略。
[0046]可选的，识别模块，用于基于扫描电子显微镜图像利用版图位置的上下层连接关系识别算法获取扫描电子显微镜图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述方法包括：获取扫描电子显微镜图像；基于所述扫描电子显微镜图像利用缺陷识别方法获取所述扫描电子显微镜图像的缺陷信息；其中，所述缺陷信息包括：缺陷位置信息、缺陷周边图形分组信息以及缺陷位置版图上下层连接关系信息中的至少一种；基于所述缺陷信息对所述缺陷进行分类。2.根据权利要求1所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述基于所述扫描电子显微镜图像利用缺陷识别方法获取所述扫描电子显微镜图像的缺陷信息，包括：基于所述扫描电子显微镜图像利用缺陷检测算法获取所述扫描电子显微镜图像的所述缺陷位置信息。3.根据权利要求1所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述基于所述扫描电子显微镜图像利用缺陷识别方法获取所述扫描电子显微镜图像的缺陷信息，包括：基于所述扫描电子显微镜图像利用图像分组算法获取所述扫描电子显微镜图像的所述缺陷周边图形分组信息。4.根据权利要求3所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述基于所述扫描电子显微镜图像利用图像分组算法获取所述电子显微镜图像的所述缺陷周边图形分组信息，包括：基于所述扫描电子显微镜图像根据所述缺陷的第一预设范围利用所述图像分组算法获取第一个所述缺陷周边图形分组信息；其中，所述第一预设范围用于表征所述缺陷的比较半径；基于第一个所述缺陷周边图形分组信息根据第二预设范围利用所述图像分组算法获取第二个所述缺陷周边图形分组信息；其中，所述第二预设范围大于所述第一预设范围。5.根据权利要求3所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述图像分组算法包括以下四项中至少一项：贪婪分组策略、孤儿分组策略、Rich分组策略、weak
‑
rich分组策略。6.根据权利要求1所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述基于所述扫描电子显微镜图像利用缺陷识别方法获取所述扫描电子显微镜图像的缺陷信息，包括：基于所述扫描电子显微镜图像利用版图位置的上下层连接关系识别算法获取所述扫描电子显微镜图像的所述缺陷位置版图上下层连接关系信息。7.根据权利要求2所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述基于所述缺陷信息对所述缺陷进行分类，包括：基于所述缺陷位置信息对所述缺陷进行分类，生成第一分类结果；其中，所述第一分类结果用于表征处于图形线条中位置相同的缺陷分为一类，所述处于图形线条中位置不相同的缺陷分为不同类。8.根据权利要求7所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征
在于，所述第一分类结果包括以下六项中至少一项：图形线条型缺陷、空白型缺陷、端部型缺陷、拐角型缺陷、连接孔型缺陷以及门形区域缺陷。9.根据权利要求8所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述图形线条型缺陷为所述缺陷位于图形线条上。10.根据权利要求8所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述空白型缺陷为所述缺陷位于两个图形线条之间空白的位置。11.根据权利要求8所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述端部型缺陷为所述缺陷位于图形线条的端部。12.根据权利要求8所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述拐角型缺陷为所述缺陷位于图形线条的拐角的位置。13.根据权利要求8所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述连接孔型缺陷为所述缺陷位于连接孔内的位置。14.根据权利要求8所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述门形区域缺陷为所述缺陷位于所述图形线条的门型区域的位置。15.根据权利要求3所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述基于所述缺陷信息对所述缺陷进行分类，包括：基于所述缺陷周边图形分组信息对所述缺陷进行分类，生成第二分类结果；其中，所述第二分类结果用于表征周边图形相同的缺陷分为一类，所述周边图形不同的所述缺陷分为不同类。16.根据权利要求6所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述基于所述缺陷信息对所述缺陷进行分类，包括：基于所述版图位置的上下层连接关系对所述缺陷进行分类，生成第三分类结果；其中，所述第三分类结果用于表征版图位置的上下层连接关系中连接孔个数相同的图形分为一类，所述连接孔个数不同的图形分为不同类。17.根据权利要求15所述的基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法，其特征在于，所述方法还包括：在所述第二分类结果中存在周边图形相同的缺陷之后，基于所述扫描电子显微镜图像利用版图位置的上下层连接关系识别算法获取所述扫描电子显微镜图像的所述缺陷位置版图上下层连接关系信息。18.一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类装置，其特征在于，所述装置包括：第一获取模块，用于获取扫描...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：