电极固定装置、电极固定装置的维护方法及刻蚀设备制造方法及图纸

本申请涉及刻蚀技术领域，尤其涉及电极固定装置、电极固定装置的维护方法及刻蚀设备。其中电极固定装置包括连接件和分体式固定杆，连接件的底部开设有凹槽，连接件的顶部开设有通孔；分体式固定杆包括杆头和杆体，杆头以可拆卸的方式固定于杆体穿过通孔的一端，杆头不穿过通孔。根据本发明专利技术的电极固定装置，当连接件的通孔因为气体的腐蚀而孔径变大后，可以拆卸杆头和杆体，单独更换更大一些的杆头，这样可以继续保证连接件和分体式固定杆的固定关系，防止电极固定装置失效，这样单独更换杆头，可以大幅降低维护所需的成本，电极固定装置的适用范围也变得更广泛。适用范围也变得更广泛。适用范围也变得更广泛。

【技术实现步骤摘要】
电极固定装置、电极固定装置的维护方法及刻蚀设备


[0001]本申请涉及刻蚀
，尤其涉及一种电极固定装置、电极固定装置的维护方法及刻蚀设备。

技术介绍

[0002]刻蚀是半导体制造工艺、微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的工艺步骤，是与光刻相联系的图形化(pattern)处理的一种主要工艺。所谓刻蚀，实际上狭义理解就是光刻腐蚀，先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。随着微制造工艺的发展；广义上来讲，刻蚀成了通过溶液、反应离子或其它机械方式来剥离、去除材料的一种统称，成为微加工制造的一种普适叫法。刻蚀最简单最常用分类是干法刻蚀和湿法刻蚀。干法刻蚀种类很多，包括光挥发、气相腐蚀、等离子体腐蚀等。其优点是：各向异性好，选择比高，可控性、灵活性、重复性好，易实现自动化，无化学废液，处理过程未引入污染，洁净度高。缺点是：成本高，设备复杂。干法刻蚀主要形式有纯化学过程(如屏蔽式，下游式，桶式)，纯物理过程(如离子铣)，物理化学过程，常用的有反应离子刻蚀RIE，离子束辅助自由基刻蚀ICP等。下电极不仅是刻蚀系统刻蚀基片的支撑，而且为刻蚀腔中等离子体系统通过下偏压，使等离子体下基片加速运动从而对基片进行物理轰击，与化学腐蚀配套进行刻蚀。进一步来说，是上电极与下电极相互配合，加速等离子运动从而对基片进行物理轰击。
[0003]现有技术中，刻蚀设备的上电极通过连接件与腔体固定，该连接件的工作原理是：螺母安装在上电极表面，金属杆头穿过螺母中心孔形成过盈配合，金属杆头与抓钩咬合后拉伸带动螺母完成固定。但是由于气体具有强腐蚀性，会腐蚀螺母中心孔使孔径变大，此时金属杆与螺母失去固定作用，需要周期性更换整个连接件，因此增加了成本。此外，连接件失效时会使电极脱落，增加损坏机台的风险，造成很高的经济损失。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是至少解决更换连接件的成本大的问题。该目的是通过以下技术方案实现的：
[0005]本专利技术的第一方面提出了一种电极固定装置，包括：
[0006]连接件，所述连接件开设有通孔；
[0007]分体式固定杆，所述分体式固定杆包括杆头和杆体，所述杆头以可拆卸的方式固定于所述杆体位于所述通孔的外侧的一端，所述杆头不穿过所述通孔。
[0008]根据本专利技术的电极固定装置，杆头和杆体之间以可拆卸的方式固定连接，当连接件的通孔因为气体的腐蚀而孔径变大后，可以拆卸杆头和杆体，单独更换更大一些的杆头，这样可以继续保证连接件和分体式固定杆之间的固定连接关系，防止电极固定装置失效，电极脱落。这样单独更换杆头，使用寿命可以预期，到期更换杆头即可，可以大幅降低维护所需的成本。另外，因为采用了分体式固定杆，保证了杆体和连接件之间的过盈量，使热量
传导更均匀，电极固定的更稳定，使用寿命得以延长，适用范围更广泛，降低生产成本。
[0009]另外，根据本专利技术的电极固定装置，还可具有如下附加的技术特征：
[0010]在本专利技术的一些实施例中，所述连接件的底部开设有凹槽，所述凹槽与所述通孔连通设置。
[0011]在本专利技术的一些实施例中，所述杆体包括第一分段体、第二分段体、第三分段体和第四分段体，所述第一分段体、所述第二分段体、所述第三分段体和所述第四分段体沿着所述杆体从顶端到底端的方向依次设置，并且所述第一分段体、所述第二分段体、所述第三分段体和所述第四段杆的直径依次增大。
[0012]在本专利技术的一些实施例中，所述第一分段体与所述杆头螺纹连接，所述第二分段体收容于所述通孔内，所述第三分段体收容于所述凹槽内，所述第四分段体设置在所述凹槽的外侧。
[0013]在本专利技术的一些实施例中，所述分体式固定杆为金属材质。
[0014]在本专利技术的一些实施例中，所述连接件的材质为塑料。
[0015]在本专利技术的一些实施例中，所述分体式固定杆的外表面设有保护层。
[0016]在本专利技术的一些实施例中，所述保护层的材质为氧化钇。
[0017]本专利技术的第二方面提出了一种电极固定装置的维护方法，用于维护上述的电极固定装置，包括如下步骤：
[0018]分离杆体和杆头；
[0019]更换新的杆头；
[0020]将杆体的顶端穿过连接件的通孔，并将杆体的顶端与新的杆头固定。
[0021]根据本专利技术的电极固定装置的维护方法，该维护方法使得维护成本降低。
[0022]本专利技术的第三方面提出了一种刻蚀设备，包括：
[0023]设备本体，具有内腔；
[0024]上电极，所述上电极设于所述设备本体的内腔中；
[0025]抓钩，所述抓钩设于所述设备本体的内腔中；
[0026]电极固定装置，所述电极固定装置为上述的电极固定装置，所述电极固定装置设于设备本体的内腔中，所述抓钩与杆头咬合，所述电极固定装置的连接件安装在所述上电极的表面。
[0027]根据本专利技术的刻蚀设备，抓钩通过电极固定装置固定连接上电极，使得上电极与内腔中的固定基座更紧密的贴合，延长了使用寿命，降低了维护的成本。
附图说明
[0028]通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本专利技术的限制。而且在整个附图中，用相同的附图标记表示相同的部件。在附图中：
[0029]图1示意性地示出了根据本专利技术实施方式的电极固定装置的结构剖视图；
[0030]图2示意性地示出了根据本专利技术实施方式的分体式固定杆的结构剖视图；
[0031]图3示意性地示出了根据本专利技术实施方式的分体式固定杆的剖视爆炸图；
[0032]图4示意性地示出了根据本专利技术实施方式的刻蚀设备的局部结构剖视图。
[0033]附图标记如下：
[0034]100为电极固定装置；
[0035]10为分体式固定杆，11为杆头，12为杆体，121为第一分段体，122为第二分段体，123为第三分段体，124为第四分段体；
[0036]20为连接件，21为通孔，22为凹槽；
[0037]200为抓钩；
[0038]300为上电极；
[0039]400为密封垫片。
具体实施方式
[0040]下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。
[0041]应理解的是，文中使用的术语仅出于描述特定示例实施方式的目的，而无意于进行限制。除非上下文另外明确地指出，否则如文中使用的单数形式“一”、“一个”以及“所述”也可以表示包括复数形式。术语“包括”、“包含”、“含有”以及“具有”是包含性的，并且因此指明所陈述的特征、步骤、操作、元件和/或部件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电极固定装置，其特征在于，包括：连接件，所述连接件开设有通孔；分体式固定杆，所述分体式固定杆包括杆头和杆体，所述杆头以可拆卸的方式固定于所述杆体位于所述通孔的外侧的一端，所述杆头不穿过所述通孔。2.根据权利要求1所述的电极固定装置，其特征在于，所述连接件的底部开设有凹槽，所述凹槽与所述通孔连通设置。3.根据权利要求2所述的电极固定装置，其特征在于，所述杆体包括第一分段体、第二分段体、第三分段体和第四分段体，所述第一分段体、所述第二分段体、所述第三分段体和所述第四分段体沿着所述杆体从顶端到底端的方向依次设置，并且所述第一分段体、所述第二分段体、所述第三分段体和所述第四分段体的直径依次增大。4.根据权利要求3所述的电极固定装置，其特征在于，所述第一分段体与所述杆头螺纹连接，所述第二分段体收容于所述通孔内，所述第三分段体收容于所述凹槽内，所述第四分段体设置在所述凹槽的外侧。5.根据权利要求1所述的电极固定装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：王磊，徐忠元，丁常天，
申请(专利权)人：北京子牛亦东科技有限公司，
类型：发明
国别省市：