一种CVD设备的压力控制方法及系统技术方案

本发明专利技术涉及数据处理领域，公开了一种CVD设备的压力控制方法及系统，用于提高对CVD设备的压力控制的准确率。方法包括：基于第一时间区间，通过CVD设备中预置的流量传感器进行气体流量数据采集，得到对应的气体流量数据；通过预置的自适应算法对所述气体流量数据进行压力评价参数转换，确定对应的压力评价参数；通过所述压力评价参数对所述CVD设备进行压力数据预测，确定第二时间区间的预测压力数据，其中，所述第一时间区间与所述第二时间区间为相邻时间区间；通过所述自适应算法对所述预测压力数据进行蝶阀开度计算，确定对应的蝶阀开度数据，并通过所述蝶阀开度数据对所述CVD设备进行控制。CVD设备进行控制。CVD设备进行控制。

【技术实现步骤摘要】
一种CVD设备的压力控制方法及系统


[0001]本专利技术涉及数据处理领域，尤其涉及一种CVD设备的压力控制方法及系统。

技术介绍

[0002]CVD设备被广泛用于半导体行业中，CVD设备具有加热速度快、反应气体控制精密、加热温度高等优点被用于半导体的制造，尤其是需要加热到高温的CVD设备。
[0003]但是现有方案中对CVD设备的设备监控不够智能，通常是由技术人员实时监管和操控，也无法准确对压力数据进行控制，即现有方案的准确率较低。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供了一种CVD设备的压力控制方法及系统，用于提高对CVD设备的压力控制的准确率。
[0005]本专利技术提供了一种CVD设备的压力控制方法，所述CVD设备的压力控制方法包括：基于第一时间区间，通过CVD设备中预置的流量传感器进行气体流量数据采集，得到对应的气体流量数据；通过预置的自适应算法对所述气体流量数据进行压力评价参数转换，确定对应的压力评价参数；通过所述压力评价参数对所述CVD设备进行压力数据预测，确定第二时间区间的预测压力数据，其中，所述第一时间区间与所述第二时间区间为相邻时间区间；通过所述自适应算法对所述预测压力数据进行蝶阀开度计算，确定对应的蝶阀开度数据，并通过所述蝶阀开度数据对所述CVD设备进行控制。
[0006]本专利技术中，所述通过预置的自适应算法对所述气体流量数据进行压力评价参数转换，确定对应的压力评价参数，包括：通过所述自适应算法对所述气体流量数据进行流量权重因子计算，确定对应的流量权重因子；通过所述流量权重因子对所述气体流量数据进行压力数据分析，确定对应的待处理压力数据；对所述待处理压力数据进行压力权重因子分析，生成对应的压力权重因子；通过所述压力权重因子进行压力评价参数计算，确定对应的压力评价参数。
[0007]本专利技术中，所述通过所述压力评价参数对所述CVD设备进行压力数据预测，确定第二时间区间的预测压力数据，其中，所述第一时间区间与所述第二时间区间为相邻时间区间，包括：将所述压力评价参数输入预置的压力预测模型进行向量转换，确定对应的压力评价向量；基于所述压力评价向量，通过所述压力预测模型对所述CVD设备进行压力数据预测，确定第二时间区间的预测压力数据，其中，所述第一时间区间与所述第二时间区间为相邻时间区间。
[0008]本专利技术中，所述基于所述压力评价向量，通过所述压力预测模型对所述CVD设备进行压力数据预测，确定第二时间区间的预测压力数据，包括：基于预置的评价向量数据库，将所述压力评价向量输入所述压力预测模型进行相似度计算，确定对应的相似度计算结果；对所述相似度计算结果进行排序，确定对应的排序列表；对所述排序列表进行数据筛选，确定候选预测压力数据；通过所述压力预测模型对所述候选预测压力数据进行误差消
除处理，得到所述第二时间区间内的所述预测压力数据。
[0009]本专利技术中，所述对所述排序列表进行数据筛选，确定候选预测压力数据，包括：对所述排序列表进行数据抽取，确定至少一个待处理预测压力数据；对所述至少一个待处理预测压力数据进行均值计算，确定对应的目标均值；
[0010]判断所述目标均值是否满足预设的阈值要求，当满足所述预设的阈值要求时，对所述至少一个待处理预测压力数据进行数据筛选，确定候选预测压力数据。
[0011]本专利技术中，所述通过所述压力预测模型对所述候选预测压力数据进行误差消除处理，得到所述第二时间区间内的所述预测压力数据，包括：将所述候选预测压力数据输入所述压力预测模型进行模拟工况计算，确定对应的模拟工况数据；对所述模拟工况数据进行标准化处理，确定对应的标准化数据；通过所述标准化数据对所述候选预测压力数据进行误差消除处理，确定所述第二时间区间内的所述预测压力数据。
[0012]本专利技术中，所述通过所述自适应算法对所述预测压力数据进行蝶阀开度计算，确定对应的蝶阀开度数据，并通过所述蝶阀开度数据对所述CVD设备进行控制，包括：获取预置的蝶阀开度数据映射表，通过所述自适应算法对所述蝶阀开度数据映射表进行函数转换，生成目标数据转换函数；通过所述目标数据转换函数对所述预测压力数据进行蝶阀开度计算，确定对应的蝶阀开度数据，并通过所述蝶阀开度数据对所述CVD设备进行控制。
[0013]本专利技术还提供了一种CVD设备的压力控制系统，所述CVD设备的压力控制系统包括：
[0014]采集模块，用于基于第一时间区间，通过CVD设备中预置的流量传感器进行气体流量数据采集，得到对应的气体流量数据；
[0015]转换模块，用于通过预置的自适应算法对所述气体流量数据进行压力评价参数转换，确定对应的压力评价参数；
[0016]预测模块，用于通过所述压力评价参数对所述CVD设备进行压力数据预测，确定第二时间区间的预测压力数据，其中，所述第一时间区间与所述第二时间区间为相邻时间区间；
[0017]计算模块，用于通过所述自适应算法对所述预测压力数据进行蝶阀开度计算，确定对应的蝶阀开度数据，并通过所述蝶阀开度数据对所述CVD设备进行控制。
[0018]本专利技术提供的技术方案中，基于第一时间区间，通过CVD设备中预置的流量传感器进行气体流量数据采集，得到对应的气体流量数据，通过预置的自适应算法对所述气体流量数据进行压力评价参数转换，确定对应的压力评价参数；通过所述压力评价参数对所述CVD设备进行压力数据预测，确定第二时间区间的预测压力数据，其中，所述第一时间区间与所述第二时间区间为相邻时间区间；通过所述自适应算法对所述预测压力数据进行蝶阀开度计算，确定对应的蝶阀开度数据，并通过所述蝶阀开度数据对所述CVD设备进行控制。本方案中，服务器通过所述压力评价参数对所述CVD设备进行压力数据预测，确定第二时间区间的预测压力数据，可以有效提升对CVD设备的数据模拟的准确度，进而服务器通过所述自适应算法对所述预测压力数据进行蝶阀开度计算，确定对应的蝶阀开度数据，可以实现对CVD设备的有效控制，进一步提升对CVD设备的压力控制的准确率。
附图说明
[0019]图1为本专利技术实施例中CVD设备的压力控制方法的一个实施例示意图；
[0020]图2为本专利技术实施例中通过压力评价参数对CVD设备进行压力数据预测的流程图；
[0021]图3为本专利技术实施例中通过压力预测模型对CVD设备进行压力数据预测的流程图；
[0022]图4为本专利技术实施例中CVD设备的压力控制系统的一个实施例示意图。
具体实施方式
[0023]本专利技术实施例提供了一种CVD设备的压力控制方法及系统，用于提高对CVD设备的压力控制的安全性。本专利技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等（如果存在）是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的实施例能够以除了在这里图示或描述的内容以外的顺序实施。此外，术语“包括”或“具有”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CVD设备的压力控制方法，其特征在于，方法包括；基于第一时间区间，通过CVD设备中预置的流量传感器进行气体流量数据采集，得到对应的气体流量数据；通过预置的自适应算法对所述气体流量数据进行压力评价参数转换，确定对应的压力评价参数；通过所述压力评价参数对所述CVD设备进行压力数据预测，确定第二时间区间的预测压力数据，其中，所述第一时间区间与所述第二时间区间为相邻时间区间；通过所述自适应算法对所述预测压力数据进行蝶阀开度计算，确定对应的蝶阀开度数据，并通过所述蝶阀开度数据对所述CVD设备进行控制。2.根据权利要求1所述的CVD设备的压力控制方法，其特征在于，所述通过预置的自适应算法对所述气体流量数据进行压力评价参数转换，确定对应的压力评价参数，包括：通过所述自适应算法对所述气体流量数据进行流量权重因子计算，确定对应的流量权重因子；通过所述流量权重因子对所述气体流量数据进行压力数据分析，确定对应的待处理压力数据；对所述待处理压力数据进行压力权重因子分析，生成对应的压力权重因子；通过所述压力权重因子进行压力评价参数计算，确定对应的压力评价参数。3.根据权利要求1所述的CVD设备的压力控制方法，其特征在于，所述通过所述压力评价参数对所述CVD设备进行压力数据预测，确定第二时间区间的预测压力数据，其中，所述第一时间区间与所述第二时间区间为相邻时间区间，包括：将所述压力评价参数输入预置的压力预测模型进行向量转换，确定对应的压力评价向量；基于所述压力评价向量，通过所述压力预测模型对所述CVD设备进行压力数据预测，确定第二时间区间的预测压力数据，其中，所述第一时间区间与所述第二时间区间为相邻时间区间。4.根据权利要求3所述的CVD设备的压力控制方法，其特征在于，所述基于所述压力评价向量，通过所述压力预测模型对所述CVD设备进行压力数据预测，确定第二时间区间的预测压力数据，包括：基于预置的评价向量数据库，将所述压力评价向量输入所述压力预测模型进行相似度计算，确定对应的相似度计算结果；对所述相似度计算结果进行排序，确定对应的排序列表；对所述排序列表进行数据筛选，确定候选预测压力数据；通过所述压力预测模型对所述候选预测压力数据进行误差消除处理，得到所述第二时间区间内的所述预测压力数据。5.根据权利要求4所述的CVD设备的压力控制方法，其特征在于，所述对所述排序列表进行数据筛选，确定候选预测压力数据，包括：对所述排序列表进行数据抽取，确定至少一个待处理预测压力数据；对所述至少一个待处理预测压力数据进行均值计算，确定对应的目标均值；判断所述目标均值是否满足预设的阈值要求，当满足所述预设的阈值要求时，对所述
...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱佰喜，薛抗美，李铭湛，林梓峰，邹明蓓，
申请(专利权)人：广州志橙半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：