PVD载板的表面处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及PVD加工技术领域，提供了一种PVD载板的表面处理装置，包括传送带、点胶单元以及喷砂单元。传送带用于运输PVD载板；点胶单元包括点胶结构和相机，点胶结构与相机位于传送带上方，点胶结构能够沿X向、Y向及Z向相对传送带移动，相机能够获取PVD载板上的待点胶位置；喷砂单元位于点胶单元的下游工位。如此设置，利用胶液具备一定的流动性可全面的覆盖保护区域，且胶液具备一定的缓冲能力，能够抵御喷砂的冲击，由点胶单元对PVD载板的台阶部进行点胶保护，实现掩膜。在点胶结构点胶之前，先通过相机获取PVD载板上的待点胶位置，之后再由点胶结构对待点胶位置进行点胶，确保点胶位置准确，避免在非点胶区域点胶。避免在非点胶区域点胶。避免在非点胶区域点胶。

【技术实现步骤摘要】
PVD载板的表面处理装置


[0001]本技术涉及PVD加工
，尤其涉及一种PVD载板的表面处理装置。

技术介绍

[0002]异质结电池工艺流程中重要的一步制程为使用PVD(Physical Vapor Deposition物理气相沉积)真空镀膜设备对硅片正反两面进行TCO膜层沉积从而实现增透减反提升横向导电性的效果，硅片在作业流程中，需要有PVD载板作为支撑载体。
[0003]一般的PVD载板为镂空结构，硅片由PVD载板镂空边缘设置的台阶部作为支撑，使得硅片整体嵌入PVD载板中，此台阶同时起到背面掩膜避免正背面导通的作用。
[0004]随着使用，PVD载板暴露在外的表面膜层逐渐积累，影响后续的工艺生产，因此需要对PVD载板的表面进行清洗喷砂处理，但台阶部与硅片直接接触，需要避免台阶处被喷砂或被喷砂污染导致台阶部粗糙从而引起后续使用过程中硅片的表面损伤。
[0005]为此，工作人员多在喷砂作业前用胶带将台阶部覆盖，以保护台阶部，但由于异质结电池对掩膜的要求是越小越好，同时保证正背面不导通，导致PVD载板的台阶部设计的愈加狭窄，人工贴胶带的方式难以在不遮挡PVD载板的待清理表面的前提下，遮盖台阶区域，且胶带在喷砂过程中，也容易破损，丧失保护作用。
[0006]因此，亟需一种PVD载板的表面处理装置，以解决上述技术问题。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提出一种PVD载板的表面处理装置，能够利用胶液具备的流动性全面的覆盖台阶区域，且胶液具备一定的缓冲能力，能够抵御喷砂的冲击，由点胶单元对PVD载板的台阶部进行点胶保护，实现掩膜。
[0008]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0009]PVD载板的表面处理装置，包括：
[0010]第一传送带，上述第一传送带用于运输PVD载板；
[0011]点胶单元，上述点胶单元包括点胶结构和相机，上述点胶结构和上述相机均位于上述第一传送带的上方，上述点胶结构能够沿X向、Y向及Z向相对上述第一传送带移动，上述相机能够获取上述PVD载板上的待点胶位置点位；
[0012]喷砂单元，上述喷砂单元位于上述点胶单元的下游。
[0013]作为上述PVD载板的表面处理装置的一种优选技术方案，上述点胶单元还包括点胶驱动件和点胶支架，上述点胶支架包括基座、第一滑块、第二滑块和第三滑块，上述第一滑块与上述基座沿上述Z向滑动连接且与上述点胶驱动件的活动端相连，上述第二滑块与上述第一滑块沿上述X向滑动连接，上述第三滑块与上述第二滑块沿上述Y向滑动连接，上述点胶结构与上述第三滑块固定连接。
[0014]作为上述PVD载板的表面处理装置的一种优选技术方案，上述点胶结构包括点胶阀和喷嘴，上述喷嘴与上述点胶阀可拆卸连接。
[0015]作为上述PVD载板的表面处理装置的一种优选技术方案，上述喷砂单元包括砂房和喷砂嘴，上述喷砂嘴安装于上述砂房内。
[0016]作为上述PVD载板的表面处理装置的一种优选技术方案，还包括大气等离子处理单元，上述大气等离子处理单元设置于上述点胶单元的上游。
[0017]作为上述PVD载板的表面处理装置的一种优选技术方案，还包括固化单元，上述固化单元位于上述点胶单元与上述喷砂单元之间。
[0018]作为上述PVD载板的表面处理装置的一种优选技术方案，还包括位于上述喷砂单元下游的去胶单元，上述去胶单元包括液池和位于上述液池的底壁正上方的承接板，上述液池用于盛放去胶溶剂，上述承接板位于上述第一传送带的出料端且上述承接板能够升降。
[0019]作为上述PVD载板的表面处理装置的一种优选技术方案，上述去胶单元还包括与上述承接板相连的水平移动部，上述水平移动部能够带动上述承接板靠近/远离上述第一传送带的出料端。
[0020]作为上述PVD载板的表面处理装置的一种优选技术方案，还包括烘干单元，上述烘干单元位于上述去胶单元的下游。
[0021]作为上述PVD载板的表面处理装置的一种优选技术方案，还包括位于上述喷砂单元下游的去胶单元，上述去胶单元为等离子体除胶机构。
[0022]本技术有益效果：
[0023]第一传送带将PVD载板依次运送至点胶单元和喷砂单元，在喷砂单元喷砂之前利用点胶单元对PVD载板的台阶部进行点胶，由于所点的胶液具备一定的流动性可全面的覆盖保护区域，且胶液具备一定的缓冲能力，能够抵御喷砂的冲击，实现由胶液对PVD载板的台阶部进行掩膜保护PVD载板PVD载板。此外，在点胶结构点胶之前，先通过相机获取PVD载板上的待点胶位置，之后再由点胶结构对待点胶位置进行点胶，确保点胶位置准确，避免在非点胶区域点胶。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0025]图1是本技术实施例提供的PVD载板的结构示意图；
[0026]图2是本技术实施例提供的PVD载板的表面处理装置的结构示意图。
[0027]图中：
[0028]1、第一传送带；
[0029]2、PVD载板；21、待清洁部；22、台阶部；
[0030]3、点胶单元；31、点胶结构；32、相机；
[0031]4、喷砂单元；
[0032]5、去胶单元；51、液池；52、承接板；53、升降部；
[0033]6、大气等离子处理单元；7、固化单元；8、烘干单元。
具体实施方式
[0034]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0035]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0036]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.PVD载板的表面处理装置，其特征在于，包括：第一传送带(1)，所述第一传送带(1)用于运输PVD载板(2)；点胶单元(3)，所述点胶单元(3)包括点胶结构(31)和相机(32)，所述点胶结构(31)和所述相机(32)均位于所述第一传送带(1)的上方，所述点胶结构(31)能够沿X向、Y向及Z向相对所述第一传送带(1)移动，所述相机(32)能够获取所述PVD载板(2)上的待点胶位置点位；喷砂单元(4)，所述喷砂单元(4)位于所述点胶单元(3)的下游。2.根据权利要求1所述的PVD载板的表面处理装置，其特征在于，所述点胶单元(3)还包括点胶驱动件和点胶支架，所述点胶支架包括基座、第一滑块、第二滑块和第三滑块，所述第一滑块与所述基座沿所述Z向滑动连接且与所述点胶驱动件的活动端相连，所述第二滑块与所述第一滑块沿所述X向滑动连接，所述第三滑块与所述第二滑块沿所述Y向滑动连接，所述点胶结构(31)与所述第三滑块固定连接。3.根据权利要求1所述的PVD载板的表面处理装置，其特征在于，所述点胶结构(31)包括点胶阀和喷嘴，所述喷嘴与所述点胶阀可拆卸连接。4.根据权利要求1所述的PVD载板的表面处理装置，其特征在于，所述喷砂单元(4)包括砂房和喷砂嘴，所述喷砂嘴安装于所述砂房内。5.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵传山，
申请(专利权)人：山东科领瑞光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：