一种气体净化处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种气体净化处理装置，包括第一进气管道、第一反应塔、第二反应塔、液体槽、循环管道和通风管道，循环管道与液体槽连通，使得液体槽内反应液体沿着循环管道流入第一反应塔以及第二反应塔。第一进气管道与第二反应塔连通，第一进气管道用于通入待处理气体，第二反应塔分别与循环管道、液体槽连通，且第二反应塔设置有节流装置，进入第二反应塔的反应液体以及待处理气体通过节流装置并进入液体槽。第一反应塔分别与循环管道、液体槽、通风管道连通，流入第一反应塔的反应液体与第一反应塔内的待处理气体反应并流入液体槽。本气体净化处理装置能够用于净化含氟气的待处理气体，有助于使待处理气体充分反应。有助于使待处理气体充分反应。有助于使待处理气体充分反应。

【技术实现步骤摘要】
一种气体净化处理装置


[0001]本技术涉及气体净化领域，特别是涉及一种气体净化处理装置。

技术介绍

[0002]在电子特种气体领域中，氟气钢瓶钝化、氟气混配均用到高纯的氟气。当钝化及产品混配完成后，管道内的包含氟气的气体需要进行排放，被排放至一套专用装置内进行处理，该装置利用氟气的化学特性，把含氟气的电子气体通过中和方式净化处理转换为无害气体进行排放。具体为氟气和水反应生成酸性气体，酸性气体与循环流动的碱液在反应塔填料上进行中和反应，反应化学方程式为：H20+F2＝HF+O2，2F2+4KOH＝4KF+2H2O+O2。但是，现有的净化处理方式仍然会存在以下问题：在排放氟气流量大、浓度较高时，很难保证反应的充分性，未充分反应会生成氟化氢(HF)和可能生成二氟化氧(OF2)，均为剧毒气体，排放至空气中会污染环境并对人员造成危害。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种气体净化处理装置，能够用于净化处理含氟气的待处理气体，有助于使待处理气体充分反应。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种气体净化处理装置，包括第一进气管道、第一反应塔、第二反应塔、液体槽、循环管道和通风管道；
[0006]所述第一进气管道与所述第二反应塔连通，所述第一进气管道用于通入待处理气体，所述第二反应塔分别与所述循环管道、所述液体槽连通，且所述第二反应塔设置有节流装置，使得从所述循环管道流入所述第二反应塔的反应液体以及进入所述第二反应塔的所述待处理气体通过所述节流装置，进一步进入所述液体槽；
[0007]所述第一反应塔分别与所述循环管道、所述液体槽、所述通风管道连通，使得从所述循环管道流入所述第一反应塔的反应液体与所述第一反应塔内的所述待处理气体反应，并进一步流入所述液体槽，所述循环管道与所述液体槽连通，使得所述液体槽内的反应液体沿着所述循环管道流入所述第一反应塔以及所述第二反应塔。
[0008]优选地，所述节流装置包括文丘里管或者孔板。
[0009]优选地，还包括第二进气管道，所述第二进气管道与所述第二反应塔连通，所述第二进气管道用于通入预设气体，以稀释所述第二反应塔内气体。
[0010]优选地，所述第二进气管道与所述第二反应塔的位于所述节流装置和所述液体槽之间的部分连通。
[0011]优选地，所述循环管道与所述第一反应塔一端连通，所述液体槽与所述第一反应塔另一端连通，在所述第一反应塔的两端之间设置有填料；
[0012]还包括设置于所述第一反应塔内的喷淋装置，所述喷淋装置与所述循环管道通入所述第一反应塔的一端连通。
[0013]优选地，在所述第一进气管道设置有检测气体流量的流量计，在所述循环管道设置有驱动反应液体从所述液体槽流入所述循环管道以及使反应液体沿着所述循环管道流动的第一驱动装置；
[0014]所述气体净化处理装置还包括分别与所述流量计、所述第一驱动装置通信连接的进行PID控制的控制装置。
[0015]优选地，还包括与所述液体槽连通的液体桶，在所述液体桶与所述液体槽之间的管道上设置有驱动所述液体桶内反应液体流入所述液体槽且测量反应液体流量的计量泵。
[0016]优选地，在所述液体槽设置有酸碱度测量仪，所述气体净化处理装置还包括分别与所述酸碱度测量仪、所述计量泵通信连接的控制装置。
[0017]优选地，在所述通风管道设置有驱动所述通风管道内气体流动的第二驱动装置。
[0018]优选地，还包括与所述通风管道连通的排空管道，在所述排空管道设置有检测有害气体的气体检测报警器。
[0019]由上述技术方案可知，本技术所提供的一种气体净化处理装置，包括第一进气管道、第一反应塔、第二反应塔、液体槽、循环管道和通风管道，循环管道与液体槽连通，使得液体槽内的反应液体沿着循环管道流入第一反应塔以及第二反应塔。第一进气管道与第二反应塔连通，第一进气管道用于通入待处理气体，第二反应塔分别与循环管道、液体槽连通，且第二反应塔设置有节流装置，从循环管道流入第二反应塔的反应液体以及进入第二反应塔的待处理气体通过节流装置，进一步进入液体槽。第一反应塔分别与循环管道、液体槽、通风管道连通，使得从循环管道流入第一反应塔的反应液体与第一反应塔内的待处理气体反应，并进一步流入液体槽。
[0020]本技术的气体净化处理装置设置有第一反应塔和第二反应塔，使待处理气体依次地在第二反应塔、第一反应塔分别与反应液体进行反应，有助于使待处理气体充分反应。并且，第二反应塔设置有节流装置，通过节流装置对第二反应塔内反应液体以及待处理气体进行节流，有助于使待处理气体与反应液体充分反应。因此，本技术的气体净化处理装置能够用于净化处理含氟气的待处理气体，有助于使待处理气体充分反应。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本技术实施例提供的一种气体净化处理装置的示意图。
[0023]说明书附图中的附图标记包括：
[0024]101
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第一进气管道，102
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第二进气管道，103
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第一反应塔，104
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第二反应塔，105
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节流装置，106
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液体槽，107
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循环管道，108
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通风管道，109
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填料，110
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喷淋装置，111
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第一驱动装置，112
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水泵进口管道，113
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水泵出口管道，114
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第一阀门，115
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第二阀门，116
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第三阀门，117
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第四阀门，118
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流量计，119
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酸碱度测量仪，120
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液体桶，121
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计量泵，122
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计量泵进口管道，123
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计量泵出口管道，124
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第二驱动装置，125
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排空管道，126
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气体检测报警器。
具体实施方式
[0025]为了使本
的人员更好地理解本技术中的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体净化处理装置，其特征在于，包括第一进气管道、第一反应塔、第二反应塔、液体槽、循环管道和通风管道；所述第一进气管道与所述第二反应塔连通，所述第一进气管道用于通入待处理气体，所述第二反应塔分别与所述循环管道、所述液体槽连通，且所述第二反应塔设置有节流装置，使得从所述循环管道流入所述第二反应塔的反应液体以及进入所述第二反应塔的所述待处理气体通过所述节流装置，进一步进入所述液体槽；所述第一反应塔分别与所述循环管道、所述液体槽、所述通风管道连通，使得从所述循环管道流入所述第一反应塔的反应液体与所述第一反应塔内的所述待处理气体反应，并进一步流入所述液体槽，所述循环管道与所述液体槽连通，使得所述液体槽内的反应液体沿着所述循环管道流入所述第一反应塔以及所述第二反应塔。2.根据权利要求1所述的气体净化处理装置，其特征在于，所述节流装置包括文丘里管或者孔板。3.根据权利要求1所述的气体净化处理装置，其特征在于，还包括第二进气管道，所述第二进气管道与所述第二反应塔连通，所述第二进气管道用于通入预设气体，以稀释所述第二反应塔内气体。4.根据权利要求3所述的气体净化处理装置，其特征在于，所述第二进气管道与所述第二反应塔的位于所述节流装置和所述液体槽之间的部分连通。5.根据权利要求1所述的气体净化处理装置，其特征在于，所述循环管道与所述第一反应塔一端连通，所述液体槽与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：程曾凤，汪伟全，
申请(专利权)人：岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司，
类型：新型
国别省市：