液状体的喷出法、彩色滤光片的制法、有机EL元件的制法制造技术

本发明专利技术提供可以减轻由多个喷嘴的喷出特性偏差引起的喷出不均的液状体的喷出方法、以及应用了该液状体的喷出方法的彩色滤光片的制造法方法、有机ＥＬ元件的制造方法。液状体的喷出方法包括喷出工序，即：与对向配置多个喷嘴和具有膜形成区域（２）的被喷出物并使之相对移动的扫描同步，向设置在每个喷嘴上的能量生成机构施加分时生成的多个驱动波形的一部分，从多个喷嘴以液滴的形式将含有功能性材料的液状体喷出到膜形成区域。在喷出工序中，在所述扫描中，向由多个喷嘴构成的喷嘴列（２２ａ）中的与膜形成区域（２）有关的相邻喷嘴的能量生成机构，施加多个驱动波形中互不相同的喷出时间的驱动波形，并且改变所施加的驱动波形的组合至少一次以上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及含有功能性材料的液状体的喷出方法、彩色滤光片的制造 方法、有机EL元件的制造方法。
技术介绍
作为含有功能性材料的液状体的喷出方法，己知有向基板上喷出含有 彩色滤光片材料的液状体而制造彩色滤光片的方法(专利文献1)。在上述彩色滤光片的制造方法中，可以使具有可将液状体以液滴的方 式喷出的多个喷嘴的多个液滴喷头，按照喷嘴列在规定的方向上排列的方式与基板对向。此外，采用的方法是在不使液体从位于喷嘴列的两端部 的规定区域的喷嘴(未使用喷嘴)喷出的状态下，使基板和液滴喷头相对 移动，同时从喷嘴(使用喷嘴)将液状体适当喷出到基板上的规定位置， 形成彩色滤光片的方法。由此，不使用位于喷嘴列的两端部的规定区域的 喷出量比较多的喷嘴就可进行液状体的喷出，所以可以更均匀地喷出液状 体。不过，从上述液滴喷头的多个喷嘴喷出的液滴的喷出量，实际上在喷 嘴间具有偏差。如果该偏差较大，则喷出后形成的薄膜产生不均，例如如 果是彩色滤光片，则存在所谓成为颜色不均的课题。作为该喷嘴间的喷出量出现偏差的原因，可以举出当向用于从喷嘴以 液滴的形式使液状体喷出的能量生成机构(例如压电元件或加热元件等) 施加驱动电压时，驱动电压具有偏差的所谓电串扰。另夕卜，可以举出通过 每个喷嘴的供给液状体的流路不同而喷出液滴的压力或速度在喷嘴间不 同的所谓机械串扰。作为防止产生这样的串扰现象的方法，已知有向每个相邻的喷嘴的能 量生成机构输入不同的驱动波形，不同时间驱动的喷墨式打印方法(专利 文献2)。专利文献l:特幵2003 —159787号公报 专利文献2:特开平10—193587号公报不过，考虑串扰现象，即便向每个相邻的喷嘴(能量生成机构)输入 不同的驱动波形，在基板和液滴喷头(多个喷嘴)的相对移动方向(主扫 描方向)上，当不同驱动波形中的相同驱动波形被反复施加给同一喷嘴， 则与其他喷嘴相比，液滴的喷出量会出现偏倚。因此，例如，如果是彩色 滤光片，则在主扫描方向上会生成线条状的喷出不均。
技术实现思路
本专利技术正是为了解决上述课题的至少一部分而完成的专利技术，用以下的 实施方式或应用例可以实现。本应用例的液状体的喷出方法，其包括喷出工序，即与对 向配置多个喷嘴和具有膜形成区域的被喷出物并使之相对移动的扫描同 步，向设置在每个上述喷嘴上的能量生成机构施加分时生成的多个驱动波 形的一部分，从上述多个喷嘴以液滴的形式将含有功能性材料的液状体喷 出到上述膜形成区域，其特征在于，在上述喷出工序中，在上述扫描过程中，向由上述多个喷嘴构成的喷 嘴列中的、与上述膜形成区域相关的相邻喷嘴的上述能量生成机构，施加 上述多个驱动波形中互不相同的喷出时间的驱动波形，并且改变所施加的 上述不同的喷出时间的驱动波形的组合至少一次以上。根据该方法，在多个喷嘴和被喷出物的扫描中，从由多个喷嘴构成的 喷嘴列中的与膜形成区域有关的喷嘴，以不同的喷出时间喷出液滴。另外， 由于对施加给不同喷嘴的能量生成机构的不同喷出时间的驱动波形的组 合进行至少一次以上的改变，所以由于相邻喷嘴之间的喷出特性的偏差， 可以防止喷出量有偏倚的液滴在扫描方向被持续喷出。由此，可以避免喷 嘴列中的至少电串扰，同时可以分散与不同的喷出时间的驱动波形组合的 选择相伴随的、沿着扫描方向被喷出的液滴喷出量的偏倚。即，可以减轻 扫描方向上的线条状的喷出不均。在上述应用例的液状体的喷出方法中，在上述喷出工序中， 可以进行多次上述扫描，从上述多个喷嘴向上述膜形成区域喷出上述液 滴，使每一次上述扫描时施加给与上述膜形成区域有关的相邻喷嘴的上述 能量生成机构的上述不同喷出时间的驱动波形的组合不同。根据该方法，在多次扫描的每一次中，施加给与膜形成区域有关的相 邻喷嘴的能量生成机构的不同喷出时间的驱动波形的组合不同，所以可以 进一步减轻扫描方向上的线条状的喷出不均。在上述应用例的液状体的喷出方法中，其特征在于，上述 被喷出物具有至少排列在上述扫描方向上的多个上述膜形成区域，在上述 喷出工序中，使得施加给上述相邻喷嘴的上述能量生成机构的上述不同喷 出时间的驱动波形的组合，对于喷出的异种的上述液状体的每种而言是不 同的。根据该方法，在将异种的液状体喷出到对应的膜形成区域时，对于液 状体的每种而言，使施加给与膜形成区域有关的相邻喷嘴的能量生成机构 的不同的喷出时间的驱动波形的组合不同，所以可以将沿着扫描方向喷出 的液滴的喷出量的偏倚按照异种液状体的每种来分散。即，即便将异种的 液状体从多个喷嘴喷出，扫描方向的线条状的喷出不均也不被强调。在上述应用例的液状体的喷出方法中，上述被喷出物具有 至少排列在上述扫描方向上的多个上述膜形成区域，在上述喷出工序中， 使得施加给上述相邻喷嘴的上述能量生成机构的上述不同喷出时间的驱 动波形的组合，对于各上述膜形成区域而言是不同的。根据该方法，可以将与不同的喷出时间的驱动波形的组合的选择相伴 随的、扫描方向上的液滴的喷出量的偏倚按照各膜形成区域来分散。艮口， 可以在各膜形成区域抑制扫描方向的线条状的喷出不均，使其不明显。在上述应用例的液状体的喷出方法中，在上述喷出工序 中，可以对于各上述膜形成区域而言，从上述相邻喷嘴的每一个沿着上述 扫描的方向喷出多个上述液滴，使每一次上述液滴喷出时施加给上述相邻 喷嘴的上述能量生成机构的上述不同喷出时间的驱动波形的组合不同。根据该方法，可以将与不同的喷出时间的驱动波形的组合的选择相伴 随的、扫描方向上的液滴的喷出量的偏倚按每次液滴喷出来分散。即，可 以在每次液滴喷出时抑制扫描方向的液滴的喷出量的偏倚，使其不明显。在上述应用例的液状体的喷出方法中，在上述喷出工序中，优选按照使施加上述多个驱动波形中的一部分的上述能量生成机构的 数量在每个上述驱动波形时大致相同的方式，设定上述不同喷出时间的驱 动波形的组合。根据该方法，在每个驱动波形时施加的能量生成机构的数量大致相 同，所以施加给与膜形成区域有关的相邻喷嘴的能量生成机构电负荷大致 相同。因此，每个驱动波形的衰减方式大致相同，可以减轻与驱动波形的 组合的选择相伴随的、扫描方向的液滴的喷出量的偏倚。在上述应用例的液状体的喷出方法中，其特征在于，向上 述能量生成机构施加以规定的周期生成的上述多个驱动波形当中的一部 分。根据该方法，以规定的周期向与膜形成区域有关的相邻喷嘴施加喷出 时间不同的驱动波形。因此，在避免电串扰的同时，喷出时间之间的喷出 条件变得一样，在扫描方向上，可以使液滴的喷出量稳定化。在上述应用例的液状体的喷出方法中，可以向上述能量生 成机构施加在一个周期内生成的上述多个驱动波形中的一部分。根据该方法，可以避免电串扰，同时在一个周期内从相邻喷嘴向膜形 成区域喷出多个液滴。即，能够在更短的时间内向膜形成区域喷出规定量 的液状体。在上述应用例的液状体的喷出方法中，可以向上述能量生 成机构施加非周期性生成的上述多个驱动波形中的一部分。根据该方法，在每个喷出时间喷出条件不同，所以在扫描方向上生成 液滴的喷出量的变动。由此，除了由喷嘴间的喷出特性的偏差引起的喷出 量的变动之外，还有扫描方向的喷出量的变动，可以二维地使喷出量的变 动分散。这样的被二维分散的喷出不均与线条状(一维的)喷出不均相比， 辨识性更低，所以结果出现使喷本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液状体的喷出方法，其包括喷出工序，即与对向配置多个喷嘴和具有膜形成区域的被喷出物并使之相对移动的扫描同步，向设置在每个所述喷嘴上的能量生成机构施加分时生成的多个驱动波形的一部分，从所述多个喷嘴以液滴的形式将含有功能性材料的液状体喷出到所述膜形成区域，　在所述喷出工序中，在所述扫描过程中，向由所述多个喷嘴构成的喷嘴列中的、与所述膜形成区域相关的相邻喷嘴的所述能量生成机构，施加所述多个驱动波形中互不相同的喷出时间的驱动波形，并且改变所施加的所述不同的喷出时间的驱动波形的组合至少一次以上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：宫阪洋一，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]