适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移系统及转移方法技术方案

本发明专利技术公开了一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移系统及转移方法，转移系统包括：内置加料器放置车，用于内置加料器的翻转和转移，内置加料器放置车包括机架和翻转机构，翻转机构转动连接在机架顶部的一侧，底托上设置有浮动缓冲件；转移工装，用于将内置加料器转移进或出单晶炉副炉室，转移工装包括主体支架、承托机构、抱夹机构和传动机构，承托机构与主体支架沿上下方向滑移配合，承托机构包括托板和挂接母座，托板左右两端与主体支架沿上下方向滑移配合，托板上可拆卸固定挂接母座，抱夹机构包括两个对称设置的第一抱夹和第二抱夹；两个传动机构的一端与托板连接，其另一端与抱夹机构连接；转移推车，用于转移工装的运输。输。输。

【技术实现步骤摘要】
适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移系统及转移方法


[0001]本专利技术涉及硬轴单晶炉领域，尤其是涉及一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移系统及转移方法。

技术介绍

[0002]现有技术中，参考专利一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的推车(公告号CN217378093U)所示，内置加料器的转移工装是与推车车体通过插拔结构实现分离和结合，推车车体翻转机构会带动承载有内置加料器的转移工装进行翻转的动作，即推车可以实现内置加料器的翻转装料以及将内置加料器转移至副炉室功能。为实现翻转以及转移稳定性，其体积相对较大，重量较大，因此人力移动过程中较为困难，同时由于内置加料器装料过程也是需要由转移工装承载，那么内置加料器与转移工装就相对比较固定。但是内置加料器内料冷却和卸载需要较长时间，这就需要等待内置加料器回到转移工装以及推车上以后才能再次装料，这大大延长了单次加料时间。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术在于提出一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移系统，通过将转移工装与内置加料器放置车独立分离开，内置加料器放置车仅用来料管装料和运输，转移工装仅用来将料管转移至副炉室，使得内置加料器在冷却和卸载的过程中，另一内置加料器放置车可以执行装料，待再次加料，则一台转移工装可以对应多台内置加料器放置车，这不仅节省了成本并且大大缩短了单次加料时间。
[0004]本专利技术还提出一种适用于硬轴单晶炉内置加料器转移方法。
[0005]根据本专利技术第一方面的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移系统，所述转移系统包括：
[0006]内置加料器放置车，用于内置加料器的翻转和转移，所述内置加料器放置车包括机架和翻转机构，所述翻转机构转动连接在所述机架顶部的一侧，所述翻转机构包括支撑架、夹持机构、底托和浮动缓冲件，所述支撑架的两侧与所述机架转动连接，所述支撑架一端面从上到下间隔固定有多个夹持机构，所述支撑架底部垂直固定有所述底托，所述底托上设置有浮动缓冲件，所述浮动缓冲件在内置加料器放置在底托上时产生浮动；
[0007]转移工装，用于将内置加料器转移进或出单晶炉副炉室，所述转移工装包括主体支架、承托机构、抱夹机构和传动机构，所述承托机构与所述主体支架沿上下方向滑移配合，所述承托机构包括托板和挂接母座，所述托板左右两端与所述主体支架沿上下方向滑移配合，所述托板上可拆卸固定所述挂接母座，所述抱夹机构包括两个对称设置的第一抱夹和第二抱夹，所述第一抱夹和所述第二抱夹沿水平方向间隔开，所述第一抱夹和所述第二抱夹分别与所述主体支架水平滑移配合；所述主体支架的左右两端对称设有一个传动机构，两个所述传动机构的一端与所述托板连接，其另一端与所述抱夹机构连接，所述托板沿
上下方向在第一位置和第二位置之间可移动，当所述托板向下移动到所述第二位置时，在所述传动机构的带动下，所述第一抱夹和所述第二抱夹朝向靠近彼此的方向移动以处于抱夹状态；
[0008]转移推车，用于转移工装的运输。
[0009]在本专利技术的一些实施例中，所述托板的前端具有适于内置加料器的支撑轴通过的贯穿孔一，所述挂接母座呈上端敞口的圆筒状，所述挂接母座的内部限定形成容纳所述连接头的内腔，所述挂接母座的底部中心开设有与所述贯穿孔一相对应的贯穿孔二。
[0010]在本专利技术的一些实施例中，所述转移系统还包括与所述挂接母座配合使用的接头工装，所述接头工装包括连接板、圆管和连接头，所述连接板的下表面中心处垂直固定连接所述圆管，所述圆管的下部套接所述连接头，所述连接头具有导向面，所述圆管的内径与所述支撑轴的外径相配适，所述支撑轴的顶部从下而上伸入所述圆管中固定。
[0011]在本专利技术的一些实施例中，所述浮动缓冲件包括固定板、浮动板、压缩弹簧一和台阶螺丝，所述固定板固定于所述底托下方，所述固定板通过多个周向设置的台阶螺丝与所述浮动板连接，所述浮动板位于所述固定板的上方，且与所述固定板平行设置，每个所述台阶螺丝的外侧套设有压缩弹簧一，所述压缩弹簧一的上端与所述浮动板下表面连接，其下端与所述底托连接。
[0012]在本专利技术的一些实施例中，所述内置加料器放置车还包括石英锥保持机构，所述石英锥保持机构固定于所述支撑架的下部，所述石英锥保持机构具有与所述内置加料器的侧壁相配适的切面，所述石英锥保持机构通过所述切面与所述内置加料器的底部卡接。
[0013]在本专利技术的一些实施例中，所述夹持机构包括固定半环、活动半环和基座，所述固定半环固定在基座上，所述基座垂直固定于所述支撑架上，所述固定半环的一端通过转动连接件与活动半环的一端铰接，所述活动半环可相对固定半环打开和关闭，所述活动半环相对固定半环关闭时，所述活动半环和所述固定半环限定形成夹持所述内置加料器的圆环，所述固定半环远离转动连接件的一端中部垂直固定有连接轴，所述连接轴上转动连接锁止件，所述活动半环远离所述转动连接件的一端开设有与所述连接轴相配适的凹槽。
[0014]在本专利技术的一些实施例中，所述主体支架上对称安装有两个套筒，所述转移推车上竖直向上安装有与两个套筒对应设置的顶尖；
[0015]所述转移工装上还设置有弹性复位机构，所述弹性复位机构包括底板、压缩弹簧二和导向杆，所述底板通过多个调节螺栓水平固定于所述主体支架上端水平杆上，多个所述导向杆从下而上依次穿过水平杆、底板和托板，多个所述导向杆的底部固定在所述水平杆上，多个所述导向杆上套设压缩弹簧二，多个所述导向杆的顶部穿过所述托板，并与托板固定连接，多个所述压缩弹簧二的上端与所述托板的下表面连接，其下端与所述底板连接。
[0016]在本专利技术的一些实施例中，所述转移工装在所述主体支架上部的左右两端对称固定一个滑轨一，两个所述滑轨一竖向设置，所述托板的左右两端垂直对称固定有与两个所述滑轨一相对应的滑块一，所述托板通过所述滑块一与所述滑轨一滑移配合，所述主体支架的下部水平固定水平滑轨，所述第一抱夹和所述第二抱夹分别安装一个水平滑块，两个所述水平滑块与所述水平滑轨滑移配合。
[0017]在本专利技术的一些实施例中，所述传动机构包括竖向连杆、倾斜连杆、连接块一、连接块二和连接块三，两个所述滑块一上分别固定有连接块一，两个所述水平滑块相互靠近
的一端对称固定有连接块三，所述主体支架下部的左右两端对称固定一个滑轨二，两个所述滑轨二竖向设置，所述滑轨二位于所述滑轨一和所述水平滑轨之间，两个所述滑轨二上分别滑移配合滑块二，两个所述滑块二上对称固定所述连接块二，所述竖向连杆的上端与所述连接块一转动连接，所述竖向连杆的下端与所述连接块二的一端转动连接，所述倾斜连杆的上端与所述连接块二转动连接，所述倾斜连杆的下端与所述连接块三转动连接。
[0018]根据本专利技术第二方面的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移方法，采用上述的转移系统，在多次加料步骤中：下一内置加料器在内置加料器放置车上提前执行装料，待再次加料，待转移工装和上一内置加料器分离后，上一内置加料器放置车将上一内置加料器运走，下一内置加料器放置车激光定位后，取晶臂下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移系统，其特征在于，所述转移系统包括：内置加料器放置车，用于内置加料器的翻转和转移，所述内置加料器放置车包括机架和翻转机构，所述翻转机构转动连接在所述机架顶部的一侧，所述翻转机构包括支撑架、夹持机构、底托和浮动缓冲件，所述支撑架的两侧与所述机架转动连接，所述支撑架一端面从上到下间隔固定有多个夹持机构，所述支撑架底部垂直固定有所述底托，所述底托上设置有浮动缓冲件，所述浮动缓冲件在内置加料器放置在底托上时产生浮动；转移工装，用于将内置加料器转移进或出单晶炉副炉室，所述转移工装包括主体支架、承托机构、抱夹机构和传动机构，所述承托机构与所述主体支架沿上下方向滑移配合，所述承托机构包括托板和挂接母座，所述托板左右两端与所述主体支架沿上下方向滑移配合，所述托板上可拆卸固定所述挂接母座，所述抱夹机构包括两个对称设置的第一抱夹和第二抱夹，所述第一抱夹和所述第二抱夹沿水平方向间隔开，所述第一抱夹和所述第二抱夹分别与所述主体支架水平滑移配合；所述主体支架的左右两端对称设有一个传动机构，两个所述传动机构的一端与所述托板连接，其另一端与所述抱夹机构连接，所述托板沿上下方向在第一位置和第二位置之间可移动，当所述托板向下移动到所述第二位置时，在所述传动机构的带动下，所述第一抱夹和所述第二抱夹朝向靠近彼此的方向移动以处于抱夹状态；转移推车，用于转移工装的运输。2.根据权利要求1所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移系统，其特征在于，所述托板的前端具有适于内置加料器的支撑轴通过的贯穿孔一，所述挂接母座呈上端敞口的圆筒状，所述挂接母座的内部限定形成容纳所述连接头的内腔，所述挂接母座的底部中心开设有与所述贯穿孔一相对应的贯穿孔二。3.根据权利要求2所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移系统，其特征在于，还包括与所述挂接母座配合使用的接头工装，所述接头工装包括连接板、圆管和连接头，所述连接板的下表面中心处垂直固定连接所述圆管，所述圆管的下部套接所述连接头，所述连接头具有导向面，所述圆管的内径与所述支撑轴的外径相配适，所述支撑轴的顶部从下而上伸入所述圆管中固定。4.根据权利要求1所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移系统，其特征在于，所述浮动缓冲件包括固定板、浮动板、压缩弹簧一和台阶螺丝，所述固定板固定于所述底托下方，所述固定板通过多个周向设置的台阶螺丝与所述浮动板连接，所述浮动板位于所述固定板的上方，且与所述固定板平行设置，每个所述台阶螺丝的外侧套设有压缩弹簧一，所述压缩弹簧一的上端与所述浮动板下表面连接，其下端与所述底托连接。5.根据权利要求1所述的适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移系统，其特征在于，所述内置加料器放置车还包括石英锥保持机构，所述石英锥保持机构固定于所述支撑架的下部，所述石英锥保持机构具有与所述内置加料器的侧壁相配适的切面，所述石英锥保持机构通过所述切面与所述内置加料器侧壁的底部卡接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋涛，汪佳，王晓明，蒋玉娇，张理杰，
申请(专利权)人：徐州鑫晶半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：