桨的安装结构及半导体加工炉制造技术

本发明专利技术属于炉体密封技术领域，公开了一种桨的安装结构及半导体加工炉。该桨的安装结构包括移动模组、桨套机构以及桨。移动模组包括导轨和至少两个紧固机构，两个该紧固机构滑动连接于该导轨；桨套机构包括桨套本体和多个桨角度调节组件，两个该紧固机构沿该桨套本体的轴向间隔一定距离连接于该桨套本体；桨沿轴向穿入桨套本体，多个桨角度调节组件径向穿过该桨套本体后抵接桨以限制该桨的位移，改变多个该桨角度调节组件的径向穿入深度以调节该桨的方向。该桨的安装结构能够提高桨在炉体上的安装稳定性，并保证炉体的密封效果，且便于拆装，易于维护。易于维护。易于维护。

【技术实现步骤摘要】
桨的安装结构及半导体加工炉


[0001]本专利技术涉及炉体密封
，尤其涉及一种桨的安装结构及半导体加工炉。

技术介绍

[0002]半导体或光伏材料广泛应用于电子以及新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过各种加工处理后才能够应用到产品上，例如将片状材料送入炉中，在一定温度和压力等工艺条件下进行反应来获得所需产品，因此需要用到半导体加工炉。
[0003]桨作为半导体加工炉的一部分，一般贯穿半导体加工炉的密封门，从半导体加工炉中伸出至外部。其安装的稳定性极大地影响了半导体加工炉中加工工序的进行，因此要保证其稳定性。
[0004]因此，亟需一种桨的安装结构及半导体加工炉，以解决以上问题。

技术实现思路

[0005]根据本专利技术的一个方面，目的在于提供一种桨的安装结构，该桨的安装结构能够提高桨在炉体上的安装稳定性，并保证炉体的密封效果，且便于拆装，易于维护。
[0006]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0007]桨的安装结构，包括：
[0008]移动模组，包括导轨和至少两个紧固机构，两个所述紧固机构滑动连接于所述导轨；
[0009]桨套机构，包括桨套本体和多个桨角度调节组件，两个所述紧固机构沿所述桨套本体的轴向间隔一定距离连接于所述桨套本体；
[0010]桨，轴向穿入所述桨套本体，多个所述桨角度调节组件径向穿过所述桨套本体后抵接所述桨以限制所述桨的位移，改变多个所述桨角度调节组件的径向穿入深度以调节所述桨的方向。
[0011]作为本专利技术提供的桨的安装结构的优选方案，所述桨套本体的周侧部凸设多个中孔接头，多个所述桨角度调节组件一一对应于多个所述中孔接头，所述桨角度调节组件包括调节螺栓，所述调节螺栓贯穿所述中孔接头，抵接所述桨。
[0012]作为本专利技术提供的桨的安装结构的优选方案，所述桨的安装结构还包括密封门，所述密封门包括炉门和密封机构，所述炉门包括门体和连接部，所述门体封盖炉体的通口，所述连接部连接于所述门体；所述密封机构套设于所述连接部并连接于所述桨套机构；所述桨贯穿连接于所述炉门，伸入所述炉体中。
[0013]作为本专利技术提供的桨的安装结构的优选方案，所述密封门还包括柔性调节机构，所述柔性调节机构同轴连接于所述密封机构和所述桨套本体之间。
[0014]作为本专利技术提供的桨的安装结构的优选方案，所述柔性调节机构包括第一复位连接板、第二复位连接板和波纹管，所述第一复位连接板和所述第二复位连接板相互平行间隔设置，所述第一复位连接板连接于所述密封机构，所述第二复位连接板连接于所述桨套
本体，所述波纹管夹设于所述第一复位连接板和所述第二复位连接板之间。
[0015]作为本专利技术提供的桨的安装结构的优选方案，所述柔性调节机构还包括张力调节组件，所述张力调节组件连接于所述第一复位连接板和所述第二复位连接板之间，被配置为调节所述第一复位连接板和所述第二复位连接板之间的距离。
[0016]作为本专利技术提供的桨的安装结构的优选方案，所述张力调节组件包括第一支座、弹性元件、套筒和调节件，所述第一支座连接于所述第一复位连接板正对所述第二复位连接板的一侧，所述第二复位连接板正对所述第一支座的位置开设安装孔，所述套筒安装于所述第二复位连接板背离所述第一复位连接板的一侧，所述套筒的中孔正对所述安装孔，所述调节件贯穿所述套筒的筒底，所述弹性元件贯穿所述安装孔并伸入所述套筒，夹设于所述调节件和所述第一支座之间，所述调节件被配置为调节所述弹性元件的压缩程度。
[0017]作为本专利技术提供的桨的安装结构的优选方案，沿所述连接部的周侧环设凸台结构，所述凸台结构和所述门体之间形成密封凹槽；所述密封机构包括压板、压环、固定环和固定法兰，所述压板和所述压环位于所述密封凹槽，套设于所述连接部，所述压环夹设于所述压板和所述凸台结构之间，所述固定环套设于所述凸台结构和所述压环外，抵靠所述压板，所述固定法兰连接于所述固定环。
[0018]作为本专利技术提供的桨的安装结构的优选方案，两个所述紧固机构之间的距离为l；靠近所述炉门的一个紧固机构与所述桨伸入所述炉体的端部之间的距离为a；q为负载；E为杨氏模量，
[0019]所述桨的材质为碳化硅，所述桨的截面形状为矩形，b1为矩形截面的宽度，h1为矩形截面的高度，
[0020]满足如下关系：
[0021][0022]和/或，
[0023]满足如下关系：
[0024]l≥0
·3a
。
[0025]根据本专利技术的另一个方面，目的在于提供一种半导体加工炉，所述半导体加工炉包括炉体，还包括上述方案任一所述的桨的安装结构，所述桨套机构位于所述炉体的通口外，所述桨伸入所述炉体中。
[0026]本专利技术的有益效果：
[0027]本专利技术提供的桨的安装结构包括移动模组、桨套机构以及桨。移动模组包括导轨和至少两个紧固机构，两个该紧固机构滑动连接于该导轨。通过该移动模组，能够将桨套机构移动至炉体的通口。桨套机构包括桨套本体和多个桨角度调节组件，两个该紧固机构沿该桨套本体的轴向间隔一定距离连接于该桨套本体。该紧固机构被配置为带动该桨沿该导轨移动。桨沿轴向穿入桨套本体，多个桨角度调节组件径向穿过该桨套本体后抵接桨以限制该桨的位移，改变多个该桨角度调节组件的径向穿入深度以调节该桨的方向。该桨的安装结构能够提高桨在炉体上的安装稳定性，并保证炉体的密封效果，且便于拆装，易于维护。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对本专利技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本专利技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0029]图1是本专利技术实施例提供的桨的安装结构的结构示意图；
[0030]图2是本专利技术实施例提供的密封门的结构示意图；
[0031]图3是本专利技术实施例提供的密封门的爆炸图；
[0032]图4是本专利技术实施例提供的密封门的剖视图；
[0033]图5是图4中结构标记为A的局部放大图；
[0034]图6是图4中结构标记为B的局部放大图；
[0035]图7是本专利技术实施例提供的桨角度调节组件的爆炸图；
[0036]图8是本专利技术实施例提供的张力调节组件的剖视图。
[0037]图中：
[0038]1、移动模组；11、导轨；12、紧固机构；13、滑块；
[0039]2、桨套机构；21、桨套本体；211、中孔接头；22、桨角度调节组件；221、调节螺栓；222、卡箍；223、真空堵头；224、第二密封圈；
[0040]3、桨；
[0041]4、炉门；41、门体；42、连接部；421、凸台结构；422、密封凹槽；
[0042]5、密封机构；51、压板；52、压环；53、固定环；54、固定法兰；55、第一密封圈；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.桨的安装结构，其特征在于，包括：移动模组(1)，包括导轨(11)和至少两个紧固机构(12)，两个所述紧固机构(12)滑动连接于所述导轨(11)；桨套机构(2)，包括桨套本体(21)和多个桨角度调节组件(22)，两个所述紧固机构(12)沿所述桨套本体(21)的轴向间隔一定距离连接于所述桨套本体(21)；桨(3)，轴向穿入所述桨套本体(21)，多个所述桨角度调节组件(22)径向穿过所述桨套本体(21)后抵接所述桨(3)以限制所述桨(3)的位移，改变多个所述桨角度调节组件(22)的径向穿入深度以调节所述桨(3)的方向。2.根据权利要求1所述的桨的安装结构，其特征在于，所述桨套本体(21)的周侧部凸设多个中孔接头(211)，多个所述桨角度调节组件(22)一一对应于多个所述中孔接头(211)，所述桨角度调节组件(22)包括调节螺栓(221)，所述调节螺栓(221)贯穿所述中孔接头(211)，抵接所述桨(3)。3.根据权利要求1所述的桨的安装结构，其特征在于，还包括密封门，所述密封门包括炉门(4)和密封机构(5)，所述炉门(4)包括门体(41)和连接部(42)，所述门体(41)封盖炉体的通口，所述连接部(42)连接于所述门体(41)；所述密封机构(5)套设于所述连接部(42)并连接于所述桨套机构(2)；所述桨(3)贯穿连接于所述炉门(4)，伸入所述炉体中。4.根据权利要求3所述的桨的安装结构，其特征在于，所述密封门还包括柔性调节机构(6)，所述柔性调节机构(6)同轴连接于所述密封机构(5)和所述桨套本体(21)之间。5.根据权利要求4所述的桨的安装结构，其特征在于，所述柔性调节机构(6)包括第一复位连接板(61)、第二复位连接板(62)和波纹管(63)，所述第一复位连接板(61)和所述第二复位连接板(62)相互平行间隔设置，所述第一复位连接板(61)连接于所述密封机构(5)，所述第二复位连接板(62)连接于所述桨套本体(21)，所述波纹管(63)夹设于所述第一复位连接板(61)和所述第二复位连接板(62)之间。6.根据权利要求5所述的桨的安装结构，其特征在于，所述柔性调节机构(6)还包括张力调节组件(64)，所述张力调节组件(64)连接于所述第一复位连接板(61...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱太荣，肖阳，林佳继，张武，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：发明
国别省市：