电声感知装置制造方法及图纸

一种电声感知装置，包括一感知芯片、一基板芯片以及一密封元件。感知芯片用以进行电声转换（ｅｌｅｃｔｒｏ－ａｃｏｕｓｔｉｃ　ｔｒａｎｓｄｕｃｉｎｇ），以输出一电性信号，且感知芯片具有至少一第一接点。基板芯片设置于感知芯片下方，具有至少一第二接点、至少一电性通道及至少一通道接点。第二接点电性接触于第一接点，第二接点及通道接点位于基板芯片不同的表面，电性通道是贯穿基板芯片，用以电性连通第二接点及通道接点。电性信号经由第一接点、第二接点及电性通道传递至通道接点。密封元件设置于感知芯片及基板芯片之间，用以气密对接（ａｉｒ－ｔｉｇｈｔ　ｃｏｕｐｌｉｎｇ）感知芯片及基板芯片。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电声感知装置，其特征在于，包括：　一感知芯片，用以进行电声转换，并以输出一电性信号，该感知芯片具有至少一第一接点；　一基板芯片，设置于该感知芯片下方，该基板芯片具有至少一第二接点、至少一电性通道及至少一通道接点，该第二接点电 性接触于该第一接点，该第二接点及该通道接点位于该基板芯片不同的表面，该电性通道是贯穿该基板芯片，用以电性连通该第二接点及该通道接点；以及　一密封元件，设置于该感知芯片及该基板芯片之间，用以气密对接该感知芯片及该基板芯片；　其中， 该电性信号经由该第一接点、该第二接点及该电性通道传递至该通道接点。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：颜凯翔，陈振颐，宋柏勋，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]