滚轮式薄膜电镀设备制造技术

本发明专利技术公开了一种滚轮式薄膜电镀设备，包括：阴极输送带组件，阴极输送带组件的一部分浸没在电镀液中，阴极输送带组件与薄膜的第一表面滚动接触；阴极输送轮组件，阴极输送轮组件朝向阴极输送带组件的一部分浸没在电镀液中，阴极输送轮组件与薄膜的第二表面滚动接触；薄膜在阴极输送轮组件与阴极输送带组件之间输送，阴极输送轮组件上分布有多个第一导电块，一部分第一导电块与第二表面相接触，阴极输送带组件上分布有多个导电片，一部分导电片与第一表面相接触，每个第一导电块和每个导电片内经过的电流可调节。本发明专利技术具有提高薄膜表面镀层均匀性和电镀效果的优点。面镀层均匀性和电镀效果的优点。面镀层均匀性和电镀效果的优点。

【技术实现步骤摘要】
滚轮式薄膜电镀设备


[0001]本专利技术属于电镀设备
，具体涉及一种滚轮式薄膜电镀设备。

技术介绍

[0002]常用的电镀设备是电镀槽，薄膜产品在电镀槽内进行电镀时存在以下问题：1、在电镀槽尺寸不变和薄膜输送速度不变的情况下，薄膜水平输送时，电镀的时间较短，电镀效果较差；2、对薄膜进行电镀时，电流无法在薄膜表面均匀分布，导致薄膜上电流聚集的地方率先被电镀，那么薄膜表面率先被电镀的位置上的金属会加剧该处的电流汇聚效应，使得该处的导电性相较于未电镀处更强，这导致了薄膜产品电镀不均匀；3、由于薄膜产品电镀时容易出现不均匀现象，这导致了薄膜产品上未被电镀的部分被电镀液腐蚀，使得薄膜产品上电镀层断开，使薄膜基材暴露在电镀液中。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
[0004]为此，本专利技术提出一种滚轮式薄膜电镀设备，该滚轮式薄膜电镀设备具有提高薄膜表面镀层均匀性和电镀效果的优点。
[0005]根据本专利技术实施例的滚轮式薄膜电镀设备，包括：阴极输送带组件，所述阴极输送带组件的一部分浸没在电镀液中，所述阴极输送带组件与薄膜的第一表面滚动接触；阴极输送轮组件，所述阴极输送轮组件朝向所述阴极输送带组件的一部分浸没在电镀液中，所述阴极输送轮组件与薄膜的第二表面滚动接触；所述薄膜在所述阴极输送轮组件与所述阴极输送带组件之间输送，所述阴极输送轮组件上分布有多个第一导电块，一部分所述第一导电块与所述第二表面相接触，所述阴极输送带组件上分布有多个导电片，一部分所述导电片与所述第一表面相接触，每个所述第一导电块和每个所述导电片内经过的电流可调节。
[0006]根据本专利技术一个实施例，所述阴极输送带组件为皮带或履带，多个所述导电片在所述阴极输送带组件的外周面上均匀间隔设置。
[0007]根据本专利技术一个实施例，所述阴极输送轮组件包括两个轮组单元和连接轴，两个所述轮组单元对称设置，所述连接轴与两个所述轮组单元同轴设置，所述连接轴位于两个所述轮组单元之间，所述连接轴的一端连接一所述轮组单元，所述连接轴的另一端连接另一所述轮组单元，所述阴极输送带组件的数量为两个，两个所述阴极输送带组件与两个所述轮组单元一一对应。
[0008]根据本专利技术一个实施例，所述轮组单元包括：轮盘，所述轮盘的一侧与所述连接轴相连，多个所述第一导电块在所述轮盘的外周面上均匀间隔设置；空心轴，所述空心轴与所述轮盘的另一侧相连；多个第三导电块，多个所述第三导电块在所述空心轴的外周面上均匀间隔设置，多个所述第三导电块与多个所述第一导电块一一对应，所述第三导电块与对应的所述第一导电块通过线缆电连接；一导电盘，一所述导电盘套设在所述空心轴上，一所
述导电盘的一端与电源相连，一所述导电盘的另一端与多个所述第三导电块相连。
[0009]根据本专利技术一个实施例，所述轮组单元还包括：多个第二导电块，多个所述第二导电块在所述轮盘的外周面上均匀间隔设置，所述第二导电块位于所述第一导电块靠近所述第三导电块的一侧，多个所述第二导电块与多个所述导电片一一对应，所述第二导电块与对应的所述导电片相接触；多个第四导电块，多个所述第四导电块在所述空心轴的外周面上均匀间隔设置，多个所述第四导电块与多个所述第二导电块一一对应，所述第四导电块与对应的所述第二导电块通过线缆电连接；另一导电盘，另一所述导电盘套设在所述空心轴上，另一所述导电盘的一端与电源相连，另一所述导电盘的另一端与多个所述第四导电块相连。
[0010]根据本专利技术一个实施例，所述线缆位于所述轮盘和所述空心轴的内部。
[0011]根据本专利技术一个实施例，所述导电盘包括：本体，所述本体的内周面上均匀分布有多个安装凸起，所述安装凸起内具有安装腔；多个第五导电块，多个所述第五导电块与多个所述安装凸起一一对应，所述第五导电块安装在所述安装腔内；多个弹簧，多个所述弹簧与多个所述第五导电块一一对应，所述弹簧安装在所述安装腔内，所述弹簧一端与所述安装腔的底面相抵，所述弹簧一端与所述第五导电块相抵，以使所述第五导电块凸出于所述安装凸起，所述第五导电块的一端与所述第三导电块或所述第四导电块相接触，所述第五导电块的另一端与电源相连。
[0012]根据本专利技术一个实施例，滚轮式薄膜电镀设备还包括阳极组件，所述阳极组件包括第一阳极安装板、多个第一阳极、第二阳极安装板和多个第二阳极，所述第一阳极安装板位于所述薄膜的正上方，多个所述第一阳极在所述第一阳极安装板朝向所述薄膜的一侧均匀间隔设置，所述第二阳极安装板位于所述薄膜的正下方，多个所述第二阳极在所述第二阳极安装板朝向所述薄膜的一侧均匀间隔设置。
[0013]根据本专利技术一个实施例，所述第一阳极安装板和所述第二阳极安装板均位于所述连接轴的下方，所述第一阳极安装板和所述第二阳极安装板为弧形板，所述第一阳极安装板对应的圆心、所述第二阳极安装板对应的圆心均落在所述连接轴的中心线上。
[0014]根据本专利技术一个实施例，滚轮式薄膜电镀设备还包括上料轮组和下料轮组，所述上料轮组位于所述阴极输送轮组件的一端，所述上料轮组用于将薄膜接驳至所述阴极输送轮组件与所述阴极输送带组件之间，所述阴极输送轮组件与所述阴极输送带组件带动所述薄膜进入电镀液中进行电镀，所述下料轮组位于所述阴极输送轮组件的另一端，所述下料轮组用于将薄膜从电镀液中接驳出来。
[0015]本专利技术的有益效果是，本专利技术结构简单，利用阴极输送带组件与薄膜的第一表面滚动接触，阴极输送轮组件与薄膜的第二表面滚动接触，使得薄膜能够在电镀液中稳定输送，同时利用多个第一导电块向薄膜的第二表面进行供电，利用多个导电片向薄膜的第一表面进行供电，一方面实现了对薄膜上两个面进行同时电镀，另一方面通过分布的多个第一导电块和多个导电片对薄膜表面各处供电，提高了电流在薄膜上分布的均匀性，避免了局部电镀的情况发生，通过对每个第一导电块和每个导电片内经过的电流进行调节，使得薄膜的两个表面被分成多块区域进行电压或电流的单独控制，使得电镀更加均匀，以达到镀层的沉积最佳质量，提高了电镀效果。
[0016]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变
得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0017]本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是本专利技术的结构示意图；图2是本专利技术中阴极输送轮组件的结构示意图；图3是本专利技术中导电盘的结构示意图；图4是本专利技术中导电盘的剖视结构示意图；图5是本专利技术中阴极输送带组件为皮带时的示意图；图6是本专利技术中阴极输送带组件为履带时的示意图；图7是本专利技术中阳极组件的结构示意图；附图标记：上料轮组1、阴极输送轮组件2、阴极输送带组件3、阳极组件4、下料轮组5、薄膜6、连接轴21、轮盘22、第一导电块23、第二导电块24、第三导电块25、第四导电块26、空心轴27、导电盘28、本体281、安装凸起282、第五导电块283、弹簧284、皮带31、导电片32、履带33、第一阳极安装板41、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种滚轮式薄膜电镀设备，其特征在于，包括：阴极输送带组件（3），所述阴极输送带组件（3）的一部分浸没在电镀液中，所述阴极输送带组件（3）与薄膜（6）的第一表面滚动接触；阴极输送轮组件（2），所述阴极输送轮组件（2）朝向所述阴极输送带组件（3）的一部分浸没在电镀液中，所述阴极输送轮组件（2）与薄膜（6）的第二表面滚动接触；所述薄膜（6）在所述阴极输送轮组件（2）与所述阴极输送带组件（3）之间输送，所述阴极输送轮组件（2）上分布有多个第一导电块（23），一部分所述第一导电块（23）与所述第二表面相接触，所述阴极输送带组件（3）上分布有多个导电片（32），一部分所述导电片（32）与所述第一表面相接触，每个所述第一导电块（23）和每个所述导电片（32）内经过的电流可调节。2.根据权利要求1所述的滚轮式薄膜电镀设备，其特征在于，所述阴极输送带组件（3）为皮带（31）或履带（33），多个所述导电片（32）在所述阴极输送带组件（3）的外周面上均匀间隔设置。3.根据权利要求1所述的滚轮式薄膜电镀设备，其特征在于，所述阴极输送轮组件（2）包括两个轮组单元和连接轴（21），两个所述轮组单元对称设置，所述连接轴（21）与两个所述轮组单元同轴设置，所述连接轴（21）位于两个所述轮组单元之间，所述连接轴（21）的一端连接一所述轮组单元，所述连接轴（21）的另一端连接另一所述轮组单元，所述阴极输送带组件（3）的数量为两个，两个所述阴极输送带组件（3）与两个所述轮组单元一一对应。4.根据权利要求3所述的滚轮式薄膜电镀设备，其特征在于，所述轮组单元包括：轮盘（22），所述轮盘（22）的一侧与所述连接轴（21）相连，多个所述第一导电块（23）在所述轮盘（22）的外周面上均匀间隔设置；空心轴（27），所述空心轴（27）与所述轮盘（22）的另一侧相连；多个第三导电块（25），多个所述第三导电块（25）在所述空心轴（27）的外周面上均匀间隔设置，多个所述第三导电块（25）与多个所述第一导电块（23）一一对应，所述第三导电块（25）与对应的所述第一导电块（23）通过线缆电连接；一导电盘（28），一所述导电盘（28）套设在所述空心轴（27）上，一所述导电盘（28）的一端与电源相连，一所述导电盘（28）的另一端与多个所述第三导电块（25）相连。5.根据权利要求4所述的滚轮式薄膜电镀设备，其特征在于，所述轮组单元还包括：多个第二导电块（24），多个所述第二导电块（24）在所述轮盘（22）的外周面上均匀间隔设置，所述第二导电块（24）位于所述第一导电块（23）靠近所述第三导电块（25）的一侧，多个所述第二导电块（24）与多个所述导电片（32）一一对应，所述第二导电块（24）与对应的所述导电片（32）相接触；多个第四导电块（26），多个所述第四导电块（26）在所述空心轴（27）的外周面上均匀间隔设置，多个所述第四导...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡水河，
申请(专利权)人：常州欣盛半导体技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：