一种粉红色薄膜用靶材及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种粉红色薄膜用靶材的制备方法，包括以下步骤：步骤一：将原料Au 80

【技术实现步骤摘要】
一种粉红色薄膜用靶材及其制备方法


[0001]本专利技术涉及薄膜用靶材
，具体涉及一种粉红色薄膜用靶材及其制备方法。

技术介绍

[0002]薄膜是一种薄而软的透明薄片。用塑料、胶粘剂、橡胶或其他材料制成。薄膜科学上的解释为：由原子，分子或离子沉积在基片表面形成的2维材料。例:光学薄膜、复合薄膜、超导薄膜、聚酯薄膜、尼龙薄膜、塑料薄膜等等。薄膜被广泛用于电子电器，机械，印刷等行业。镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。
[0003]现有的粉红色薄膜采用靶材原料较为简单，制备的靶材密度差、晶粒较大，产品效率低，基于此，本专利技术提供一种粉红色薄膜用靶材及其制备方法。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的缺陷，本专利技术的目的是提供一种粉红色薄膜用靶材及其制备方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]本专利技术解决技术问题采用如下技术方案：本专利技术提供了一种粉红色薄膜用靶材的制备方法，包括以下步骤：步骤一：将原料Au 80
‑
100份、Pd 0.5
‑
0.9份、Cu 0.1
‑
0.3份、晶粒调控剂0.1
‑
0.2份依次加入到电阻炉中进行熔炼处理，熔炼至完全，保温采用超声处理，处理结束，再自然冷却定型得到靶材初料；步骤二：将靶材初料进行热压烧结处理，热压压力为10
‑
20MPa，烧结温度为500
‑
600℃，烧结10
‑
20min，得到烧结料；步骤三：将烧结料置于盐溶液中进行盐浴处理，处理结束、水洗、干燥，得到盐浴料；步骤四：将盐浴料进行热改进处理，处理结束，得到热改性料；步骤五：最后将热改性料进行控温热均化处理，得到本专利技术的粉红色薄膜用靶材。
[0006]优选地，所述超声处理采用一级、二级和三级超声处理；具体的操作步骤如下：S1：一级超声处理功率为100
‑
300W，处理时间为10
‑
20min；S2：然后二级处理以5W/min的速率升至500
‑
600W，保持5
‑
10min；S3：最后三级处理以1
‑
3W/min的速率升至750
‑
800W，保持1
‑
3min。
[0007]优选地，所述晶粒调控剂的制备方法为：步骤一：将B、Ti按照重量比3:1混合，然后送入到熔炼炉中进行熔炼完全，得到一
级熔炼料；步骤二：将一级熔炼料按照重量比8:1:1加入Ce、La，继续熔炼10
‑
20min，熔炼结束，得到二级熔炼料；步骤三：将二级熔炼料再进行热煅、冷煅交替处理，处理后再进行研磨过50
‑
100目，研磨结束，得到晶粒调控剂。
[0008]优选地，所述热锻、冷锻交替处理的具体处理步骤为：S1：先以300
‑
400℃的温度进行热锻处理，处理10
‑
20min；S2：然后以1
‑
3℃/min的速率降至210
‑
220℃，保温5
‑
10min；S3：然后再以1
‑
6℃的温度进行冷锻处理，处理2
‑
5min，处理结束，自然恢复至室温，即可。
[0009]优选地，所述盐溶液包括以下重量份原料：氢氧化钾10
‑
20份、氯化钠1
‑
5份、氯化镧溶液20
‑
30份；其中氯化镧溶液采用质量分数10
‑
20%的氯化镧溶液5
‑
10份、海藻酸钠10
‑
20份、去离子水30
‑
40份。
[0010]优选地，所述盐浴处理为100
‑
150A/dm的电流密度、200
‑
250V的电压进行电离处理，处理1
‑
5min。
[0011]优选地，所述热改进处理的具体改进步骤为：S1：先以300
‑
350℃的温度反应15
‑
25min，然后以1
‑
3℃/min的速率升至390
‑
410℃，继续保温10
‑
20min；S2：随后空冷至50
‑
80℃，保温5
‑
10min，最后以1
‑
2℃/min的速率升至260
‑
270℃；S3：然后以油冷至50
‑
60℃，最后自然冷却至室温，即可。
[0012]优选地，所述油冷采用
‑
2℃的植物油进行处理。
[0013]优选地，所述控温热均化处理采用160
‑
180℃的温度保温处理15
‑
25min，然后以1℃/min的速率降至室温，得到本专利技术的靶材。
[0014]与现有技术相比，本专利技术具有如下的有益效果：1、本专利技术制备的产品色泽均匀、晶粒得到优化以及密度优异的粉红色膜层；2、晶粒调控剂采用B、Ti为原料，能够起到合金在熔炼烧结中细化晶粒，而加入的Ce、La稀土元素，促进B、Ti融入到产品原料中，从而加强晶粒细化效果；再经过热煅、冷煅交替后，产品晶粒调控剂被促活，从而再制备靶材中，进一步提高产品的色泽均匀性等性能；3、盐溶液采用氢氧化钾、氯化钠和稀土溶液配合，经过盐浴处理后，靶材微观结构活跃度提高，从而再热改进处理中，改进效果更好，而热改进采用变温、恒温、空冷、回温和油冷处理，制备的靶材致密性得到显著改进，产品的性能得到增强；4、控温热均化处理采用160
‑
180℃的温度保温处理后，最后经过恒定速率降温，进行热均化退温后，产品得到均化改进，从而产品的性能进一步得到改进。
具体实施方式
[0015]下面结合具体实施例，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属
于本专利技术保护的范围。
[0016]实施例1.本实施例的一种粉红色薄膜用靶材的制备方法，包括以下步骤：步骤一：将原料Au 80份、Pd 0.5份、Cu 0.1份、晶粒调控剂0.1份依次加入到电阻炉中进行熔炼处理，熔炼至完全，保温采用超声处理，处理结束，再自然冷却定型得到靶材初料；步骤二：将靶材初料进行热压烧结处理，热压压力为10MPa，烧结温度为500℃，烧结10min，得到烧结料；步骤三：将烧结料置于盐溶液本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种粉红色薄膜用靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：将原料Au 80
‑
100份、Pd 0.5
‑
0.9份、Cu 0.1
‑
0.3份、晶粒调控剂0.1
‑
0.2份依次加入到电阻炉中进行熔炼处理，熔炼至完全，保温采用超声处理，处理结束，再自然冷却定型得到靶材初料；步骤二：将靶材初料进行热压烧结处理，热压压力为10
‑
20MPa，烧结温度为500
‑
600℃，烧结10
‑
20min，得到烧结料；步骤三：将烧结料置于盐溶液中进行盐浴处理，处理结束、水洗、干燥，得到盐浴料；步骤四：将盐浴料进行热改进处理，处理结束，得到热改性料；步骤五：最后将热改性料进行控温热均化处理，得到本发明的粉红色薄膜用靶材。2.根据权利要求1所述一种粉红色薄膜用靶材的制备方法，其特征在于，所述超声处理采用一级、二级和三级超声处理；具体的操作步骤如下：S1：一级超声处理功率为100
‑
300W，处理时间为10
‑
20min；S2：然后二级处理以5W/min的速率升至500
‑
600W，保持5
‑
10min；S3：最后三级处理以1
‑
3W/min的速率升至750
‑
800W，保持1
‑
3min。3.根据权利要求1所述一种粉红色薄膜用靶材的制备方法，其特征在于，所述晶粒调控剂的制备方法为：步骤一：将B、Ti按照重量比3:1混合，然后送入到熔炼炉中进行熔炼完全，得到一级熔炼料；步骤二：将一级熔炼料按照重量比8:1:1加入Ce、La，继续熔炼10
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20min，熔炼结束，得到二级熔炼料；步骤三：将二级熔炼料再进行热煅、冷煅交替处理，处理后再进行研磨过50
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100目，研磨结束，得到晶粒调控剂。4.根据权利要求1所述一种粉红色薄膜用靶材的制备方法，其特征在于，所述热锻、冷锻交替处理的具体处理步骤为：S1：先以300
‑
400℃的温度进行热锻处理，处理10
‑
20min；S2：然后以1
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【专利技术属性】
技术研发人员：陈常清，周昭寅，杨永添，刘青雄，
申请(专利权)人：广州市尤特新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：