一种喷墨打印基板平整度检测系统技术方案

本发明专利技术属于新型显示喷墨打印设备相关技术领域，并公开了一种喷墨打印基板平整度检测系统，其包括纠偏输送驱动组件、气浮支撑组件和基板平整度检测组件等，其中纠偏输送驱动组件用于将基板传递至平整度检测位置，并在后续执行角度纠偏动作；气浮支撑组件用于通过气膜悬浮无接触地支撑基板，并结合平整度检测结果来执行基板平整度调整；基板平整度检测组件用于执行基板不同区域的平整度检测。通过本发明专利技术，可以对基板进行更为精确地纠偏，而且能重复精确检测基板平面度并进行调整补偿，因而尤其适合喷墨打印中大尺寸基板的平整度以及厚度高精度检测以及调整。度高精度检测以及调整。度高精度检测以及调整。

【技术实现步骤摘要】
一种喷墨打印基板平整度检测系统


[0001]本专利技术属于新型显示喷墨打印设备相关
，更具体地，涉及一种喷墨打印基板平整度检测系统。

技术介绍

[0002]喷墨打印技术在多个传统领域获得了广泛的应用。近年来，逐渐在OLED、RFID、薄膜太阳能电池、可穿戴柔性设备、PCB、智能蒙皮等柔性器件领域也得到应用，柔性电子与喷墨打印结合的柔性电子制造工艺正在获得更多的关注。
[0003]更具体地，当前喷墨打印技术逐渐大范围应用平板显示领域，尤其是OLED有机发光层的喷墨打印，对设备精度要求非常高，喷墨打印过程中的基板平整度以及基板纠正定位精度直接影响喷墨打印精度，进而影响产品良率，尤其是大尺寸产品。
[0004]然而，为了解决喷墨打印领域的基材平面度问题，现有技术中当前广泛采用气浮或者微孔陶瓷结构，采用机械打表方式进行调整，这种方式无法实现精确锁定平面度问题区且无法实现实时调节气浮气压进行高度补偿。此外，考虑到大尺寸基板之类对象的特殊要求，现有技术同样无法满足对此类大尺寸基板的更高纠偏要求。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的以上缺陷或需求，本专利技术的目的在于提供一种喷墨打印基板平整度检测系统，其中通过对整个检测系统的构造组成及多个关键组件的针对性改进，不仅能够实现更高精度的角度纠偏功能，可结合视觉进行高精度位置定位检测，并且还可通过多种方式来灵活、精准地完成基板平整度调整，因而尤其适用于OLED有机发光层之类的大尺寸基板喷墨打印用途。
[0006]为实现上述目的，按照本专利技术，提供了一种喷墨打印基板平整度检测系统，其特征在于，该系统包括纠偏输送驱动组件(1000)、气浮支撑组件(2000)、基板平整度检测组件(3000)、检测头驱动组件(4000)和基板输送从动组件(5000)，其中：
[0007]该纠偏输送驱动组件(1000)整体设置于大理石基座上，其用于将基板传递至平整度检测位置，并在后续执行角度纠偏动作；该气浮支撑组件(2000)整体设置于大理石基座上，其通过气膜悬浮无接触地支撑基板，并结合平整度检测结果来执行基板平整度调整；该检测头驱动组件(4000)设置于横跨大理石基座的横梁(4002)上，并带动安装其上的该基板平整度检测组件(3000)一同移动，然后由所述检测头驱动组件(4000)执行基板不同区域的平整度检测；该基板输送从动组件(5000)与该纠偏输送驱动组件(1000)保持对置地设置于大理石基座上，并用于配合所述纠偏输送驱动组件(1000)做同步双驱进给；
[0008]对于该基板平整度检测组件(3000)而言，其包括检测底板(3001)、丝杆直线模组(3003)、激光测距传感器(3006)和视觉组件(3008)，其中所述检测底板(3001)固定于所述检测头驱动组件(4000)的底座上；所述丝杆直线模组(3003)安装于沿着所述检测底板(3001)延伸方向而布置的轴滑座(3002)上，并在伺服电机(3004)的驱动下带动设置其上的
所述激光测距传感器(3006)、视觉组件(3008)一同移动；所述激光测距传感器(3006)固定于可调节工作高度的微型滑台(3007)上，并用于移动采集基板的多区域数据；所述视觉组件(3008)用于对基板的校正位置进行视觉拍照，由此配合所述激光测距传感器(3006)一同来测量基板不同区域的平整度。
[0009]作为进一步优选地，对于所述纠偏输送驱动组件(1000)而言，其优选包括第一直线驱动轴(1001)、第一吸附块(1008)、纠偏底板(1012)、圆弧导轨(1013)、旋转支撑安装板(1003)、轴承座(1005)和直线模组(1011)，其中所述第一直线驱动轴(1001)安装于大理石基座上，并带动设置其上的所述第一吸附块(1008)执行直线移动；所述第一吸附块(1008)配套有第一负压表(1014)，并通过压力控制来实现基板的吸附；所述纠偏底板(1012)与所述第一直线驱动轴(1001)的支撑座连接，所述圆弧导轨(1013)与所述纠偏底板(1012)连接，并用于对所述旋转支撑安装板(1003)提供旋转运动导向，进而对基板执行角度纠偏动作；所述轴承座(1005)与中心旋转轴(1004)以及所述旋转支撑安装板(1003)相连，并用作所述圆弧导轨(1013)的旋转中心定位；所述直线模组(1011)与所述纠偏底板(1012)固定相连，该直线模组(1011)的滑座连接有直线导轨(1010)，所述直线导轨(1010)的滑座继续与所述中心旋转轴(1014)相连；此外，在所述纠偏底板(1012)上还固定安装有标定位(1002)。
[0010]作为进一步优选地，所述直线模组优选为伺服电机丝杆结构或者音圈电机结构，同时配置有光栅尺或激光干涉检测部件作为运动反馈。
[0011]作为进一步优选地，对于所述气浮支撑组件(2000)而言，其优选包括分组设计的多种气浮条也即入料气浮条(2001)、精密气浮条(2003)和出料气浮条(2004)，其中所述入料气浮条(2001)与第一支撑座(2005)连接，所述精密气浮条(2003)与第二支撑座(2006)连接，所述出料气浮条(2004)与第三支撑座(2007)连接，并且以上各组气浮条的气压分别通过电气比例阀来独立控制。
[0012]作为进一步优选地，所述入料气浮条(2001)、精密气浮条(2003)和出料气浮条(2004)优选可多块横向或纵向布置，然后共同拼接呈一个完整的基板传送气浮支撑面；或者是整面一体式气浮板。
[0013]作为进一步优选地，对于所述基板输送从动组件(5000)而言，其优选包括第二直线驱动轴(5001)、第二吸附块(5004)和从动底板(5002)，其中所述第二直线驱动轴(5001)安装于大理石基座上，并带动设置其上的所述第二吸附块(5004)执行直线移动；所述第二吸附块(5004)配套有第二负压表(5007)，并通过压力控制来实现基板的吸附；所述从动底板(5002)与所述第二直线驱动轴(5001)的支撑座连接。
[0014]作为进一步优选地，根据基板的尺寸不同，可选择所述纠偏输送驱动组件(1000)和所述基板输送从动组件(5000)两者配合完成同步双驱进给，或者仅由所述纠偏输送驱动组件(1000)完成单驱进给。
[0015]作为进一步优选地，所述纠偏输送驱动组件(1000)优选结合所述视觉组件(3008)的拍摄图像来完成角度纠偏动作。
[0016]作为进一步优选地，上述系统优选可采用机械调平与气浮压力调节两种方式来调节基板平面度：
[0017]对于气浮压力调节方式而言，即通过改变所述入料气浮条(2001)、精密气浮条(2003)和出料气浮条(2004)的局部气体压力来实现基板高度微调；
[0018]对于机械调平方式而言，即通过在中转板(6004)上安装精密底板(6002)，然后在该精密底板(6002)上安装精密吸附条(6001)，同时在该精密底板(6002)的四周布置调节锁紧顶丝(6003)，由此通过拧动所述调整锁紧顶丝(60本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷墨打印基板平整度检测系统，其特征在于，该系统包括纠偏输送驱动组件(1000)、气浮支撑组件(2000)、基板平整度检测组件(3000)、检测头驱动组件(4000)和基板输送从动组件(5000)，其中：该纠偏输送驱动组件(1000)整体设置于大理石基座上，其用于将基板传递至平整度检测位置，并在后续执行角度纠偏动作；该气浮支撑组件(2000)整体设置于大理石基座上，其通过气膜悬浮无接触地支撑基板，并结合平整度检测结果来执行基板平整度调整；该检测头驱动组件(4000)设置于横跨大理石基座的横梁(4002)上，并带动安装其上的该基板平整度检测组件(3000)一同移动，然后由所述检测头驱动组件(4000)执行基板不同区域的平整度检测；该基板输送从动组件(5000)与该纠偏输送驱动组件(1000)保持对置地设置于大理石基座上，并用于配合所述纠偏输送驱动组件(1000)做同步双驱进给；对于该基板平整度检测组件(3000)而言，其包括检测底板(3001)、丝杆直线模组(3003)、激光测距传感器(3006)和视觉组件(3008)，其中所述检测底板(3001)固定于所述检测头驱动组件(4000)的底座上；所述丝杆直线模组(3003)安装于沿着所述检测底板(3001)延伸方向而布置的轴滑座(3002)上，并在伺服电机(3004)的驱动下带动设置其上的所述激光测距传感器(3006)、视觉组件(3008)一同移动；所述激光测距传感器(3006)固定于可调节工作高度的微型滑台(3007)上，并用于移动采集基板的多区域数据；所述视觉组件(3008)用于对基板的校正位置进行视觉拍照，由此配合所述激光测距传感器(3006)一同来测量基板不同区域的平整度。2.如权利要求1所述的一种喷墨打印基板平整度检测系统，其特征在于，对于所述纠偏输送驱动组件(1000)而言，其优选包括第一直线驱动轴(1001)、第一吸附块(1008)、纠偏底板(1012)、圆弧导轨(1013)、旋转支撑安装板(1003)、轴承座(1005)和直线模组(1011)，其中所述第一直线驱动轴(1001)安装于大理石基座上，并带动设置其上的所述第一吸附块(1008)执行直线移动；所述第一吸附块(1008)配套有第一负压表(1014)，并通过压力控制来实现基板的吸附；所述纠偏底板(1012)与所述第一直线驱动轴(1001)的支撑座连接，所述圆弧导轨(1013)与所述纠偏底板(1012)连接，并用于对所述旋转支撑安装板(1003)提供旋转运动导向，进而对基板执行角度纠偏动作；所述轴承座(1005)与中心旋转轴(1004)以及所述旋转支撑安装板(1003)相连，并用作所述圆弧导轨(1013)的旋转中心定位；所述直线模组(1011)与所述纠偏底板(1012)固定相连，该直线模组(1011)的滑座连接有直线导轨(1010)，所述直线导轨(1010)的滑座继续与所述中心旋转轴(1014)相连；此外，在所述纠偏底板(1012)上还固定安装有标定位(1002)。3.如权利要求2所述的一种喷墨打...

【专利技术属性】
技术研发人员：张礼军，陈建魁，付宇，唐伟，余建林，
申请(专利权)人：武汉国创科光电装备有限公司，
类型：发明
国别省市：