一种用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置制造方法及图纸

本公开涉及一种用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置。该测试设备包括夹座、连接件、弹性复位件、抵压件和驱动器，所述夹座配置为两组，并且相互对称设置；其中，所述夹座相对的一端设有限位孔；所述连接件的两端分别设有与所述限位孔相适配的弹性部，所述弹性部分别插设于对应的夹座上的限位孔中；所述弹性复位件的上端连接于所述连接件，所述弹性复位件的下端连接于所述抵压件；所述驱动器连接于所述夹座，以调节两个夹座之间的间距。由此，解决了现有技术中存在的静电及其它粘着物而导致晶圆的抓放过程得不到有效保障的问题。的抓放过程得不到有效保障的问题。的抓放过程得不到有效保障的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置


[0001]本公开涉及晶圆测试仪器
，具体地，涉及一种用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置。

技术介绍

[0002]伴随着光纤通讯技术的不断发展和普及，其中波分复用技术相关的膜片已经开始大量进入光纤敷设的骨干网络和城域网络，这样，也使得膜片的生产使用量越来越大，切割成膜片的晶圆的需求量也随之上涨。生产企业对高效、高质量的测试评估晶圆良率提出了迫切要求。
[0003]目前，通常是通过人工来对光学晶圆进行测试，其测试效率低且稳定性无法保证，还可能出现过程疲劳、测试偏差等人工因素导致的测量误差，致使晶圆的参数测试控制得不到有效保障，影响了对膜片的生产评估，难以有效保证产品质量的稳定性。
[0004]针对当前存在的静电及其它粘着物而导致晶圆的抓放过程得不到有效保障的问题，还需要提出一种更为合理的技术方案，以解决当前的技术问题。

技术实现思路

[0005]本公开的目的是提供一种用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置，以解决现有技术中存在的静电及其它粘着物而导致晶圆的抓放过程得不到有效保障的问题。
[0006]为了实现上述目的，本公开提供一种用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置，包括：夹座、连接件、弹性复位件、抵压件和驱动器，所述夹座配置为两组，并且相互对称设置；其中，所述夹座相对的一端设有限位孔；所述连接件的两端分别设有与所述限位孔相适配的弹性部，所述弹性部分别插设于对应的夹座上的限位孔中；
[0007]所述弹性复位件的上端连接于所述连接件，所述弹性复位件的下端连接于所述抵压件；所述驱动器连接于所述夹座，以调节两个夹座之间的间距。
[0008]在一种可能的设计中，所述夹座包括从上到下依次相连的定位段、过渡段和夹持段；其中，所述过渡段和所述夹持段均呈梯形，且两者的小端部分朝下。
[0009]在一种可能的设计中，所述定位段上设有与所述连接件相适应的避让槽。
[0010]在一种可能的设计中，所述夹持段的底面为平面。
[0011]在一种可能的设计中，所述抵压件上设有与所述夹持段相适配的导向槽，以使得所述夹持段能够可移动地卡设于所述导向槽中。
[0012]在一种可能的设计中，所述弹性复位件配置为两组，并且间隔设置。
[0013]在一种可能的设计中，所述弹性复位件配置为可沿竖直方向伸缩的弹簧针。
[0014]在一种可能的设计中，所述弹性部包括连接轴和弹簧，所述连接轴的一端可拆卸地连接于所述连接件，另一端连接于所述弹簧，所述弹簧插设于所述限位孔中并且抵接于所述夹座。
[0015]在一种可能的设计中，所述抵压件的底面为平面。
[0016]在一种可能的设计中，所述夹座整体为高耐磨性的轻型夹座。
[0017]基于上述设计，驱动器可以调节夹座之间的距离。例如，当需要夹持晶圆时，驱动夹座相互靠近，这样可以使夹座之间的间距变窄，弹性复位件具有夹头阻力，能够从伸张状态转为压缩状态，此时，抵压件回缩，而随着夹座间距的缩小，能够快速地夹取晶圆。而当需要释放晶圆时，驱动器驱动夹座相互远离，从而使得夹座之间的间距变宽。在这种情况下，弹性复位件因失去夹头阻力，并由压缩状态转换为伸张状态，由此产生向下的弹力，弹力会通过抵压件作用至晶圆上，此时因晶圆受到的粘力小于弹力，故晶圆可以脱离夹头并快速弹出。
[0018]通过上述技术方案，能够快速有效地对晶圆进行抓取或者释放，具有较好的灵活性。这样一来，可以保障自动测试设备的抓放装置在抓放光学晶圆的过程中，不受静电及其它粘着物的影响，不会出现光学晶圆在落下时与夹头侧面粘住的现象，由此能够提高生产效率。此外，还可以降低抓放装置夹头的损耗速度，同时，也能够降低生产成本，具有较好的经济性和实用性。
[0019]本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
[0020]附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：
[0021]图1是用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置在一种实施例中的爆炸结构示意图；
[0022]图2是用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置在一种视角下的立体结构示意图；
[0023]图3是用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置在另一种视角下的立体结构示意图；
[0024]图4是用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置在一种实施例中的主视图；
[0025]图5是用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置在一种实施例中的剖视图；
[0026]图6是用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置在一种视角下的立体结构示意图，其中，未展示驱动器。
[0027]附图标记说明
[0028]1‑
夹座，11
‑
定位段，12
‑
过渡段，13
‑
夹持段，14
‑
避让槽，2
‑
连接件，21
‑
连接轴，22
‑
弹簧，3
‑
弹性复位件，41
‑
抵压件，42
‑
导向槽，5
‑
驱动器。
具体实施方式
[0029]以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。
[0030]根据本公开的具体实施方式，提供了一种用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置，能够快速有效地对晶圆进行抓取或者释放，具有较好的灵活性。这样一来，可以保障自动测试设备的抓放装置在抓放光学晶圆的过程中，不受静电及其它粘着物的影响，不会出现光学晶圆在落下时与夹头侧面粘住的现象，由此能够提高生产效率。此外，还可以降低抓放装置夹头的损耗速度，同时，也能够降低生产成本，具有较好的经济性和实用性。其中图1至图6示出了其中一种实施方式。
[0031]参阅图1至图6所示，该用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置包括夹座1、连接件2、弹性复位件3、抵压件41和驱动器5，所述夹座1配置为两组，并且相互对称设置；其中，所述夹座1相对的一端设有限位孔；所述连接件2的两端分别设有与所述限位孔相适配的弹性部，所述弹性部分别插设于对应的夹座1上的限位孔中。所述弹性复位件3的上端连接于所述连接件2，所述弹性复位件3的下端连接于所述抵压件；所述驱动器5连接于所述夹座1，以调节两个夹座1之间的间距。
[0032]基于上述设计，驱动器5可以调节夹座1之间的距离。例如，当需要夹持晶圆时，驱动夹座1相互靠近，这样可以使夹座1之间的间距变窄，弹性复位件3具有夹头阻力，能够从伸张状态转为压缩状态，此时，抵压件41回缩，而随着夹座1间距的缩小，能够快速地夹取晶圆。而当需要释放晶圆时，驱动器5驱动夹座1相互远离，从而使得夹座1之间的间距变宽。在这种情况下，弹性复位件3因失去夹头阻力，并由压缩状态转换为伸张状态，由此产生向下的弹力，弹力会通过抵压件41作用至晶圆上，此时因晶圆受到的粘力小本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置，其特征在于，包括夹座(1)、连接件(2)、弹性复位件(3)、抵压件(41)和驱动器(5)，所述夹座(1)配置为两组，并且相互对称设置；其中，所述夹座(1)相对的一端设有限位孔；所述连接件(2)的两端分别设有与所述限位孔相适配的弹性部，所述弹性部分别插设于对应的夹座(1)上的限位孔中；所述弹性复位件(3)的上端连接于所述连接件(2)，所述弹性复位件(3)的下端连接于所述抵压件；所述驱动器(5)连接于所述夹座(1)，以调节两个夹座(1)之间的间距。2.根据权利要求1所述的用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置，其特征在于，所述夹座(1)包括从上到下依次相连的定位段(11)、过渡段(12)和夹持段(13)；其中，所述过渡段(12)和所述夹持段(13)均呈梯形，且两者的小端部分朝下。3.根据权利要求2所述的用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置，其特征在于，所述定位段(11)上设有与所述连接件(2)相适应的避让槽(14)。4.根据权利要求2所述的用于光学晶圆自动测试设备的抓放装置，其特征在于，所述夹持段(13)...

【专利技术属性】
技术研发人员：周舟，
申请(专利权)人：奥普镀膜技术广州有限公司，
类型：新型
国别省市：