【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
在导电基体表面上沉积类金刚石层的方法,其特征在于它采取以下步骤:a. 将被沉积的基体安装在环形夹具(4)中;b. 把装有被沉积基体的夹具安置在真空室内的辅助电极(8)之间;c. 对真空室抽真空到0. 1Pa;d. 通过气体导入管(10 )引入工作气体;e. 控制真空室压强在3-10Pa范围内恒定;f. 接通直流高压电源(5),使电极组件(3)、(4)处于负电势,作为负放电电极;g. 在2000-3000V电压范围内,对被沉积基体轰击清洗5-10分钟;h. 关闭直流 高压电源(5),并控制真空室内压强在10-50Pa间恒定;i. 接通直流高压电源(5),并控制电压在800-1600V开始沉积,当沉积的厚度达到预定值时,关闭电源(5)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张保军,孙滨如,
申请(专利权)人:中国建筑材料科学研究院,
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]
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