一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具，包括底座，所述底座的上表面活动连接有活动板，所述活动板的上表面滑动连接有扩张板；第一夹持机构，所述第一夹持机构包括第一弹簧，且第一弹簧与扩张板固定连接有，所述第一弹簧远离扩张板的一端固定连接有托板，所述托板的侧表面固定连接有夹紧板；第二夹持机构，所述第二夹持机构包括扩张挤压块，且扩张挤压块与扩张板固定连接，所述扩张挤压块的上表面设置有吸盘。通过上述结构，可对静电吸盘喷涂进行内外固定，从而提高了静电吸盘喷涂的紧固性。吸盘喷涂的紧固性。吸盘喷涂的紧固性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具


[0001]本技术涉及夹具
，特别涉及一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具。

技术介绍

[0002]静电吸盘是广泛用于芯片加工过程中的一种工具，静电吸盘的金属基体上往往需要通过等离子喷涂的方式覆上一层化学性质稳定的陶瓷涂层，为了方便对静电吸盘进行喷涂需要使用夹具对静电吸盘进行固定，但是现有的静电吸盘的喷涂用夹具在使用时，通常只对静电吸盘的外表面进行夹持固定，导致静电吸盘在喷涂过程中，静电吸盘的稳固性较差容易出现脱落，如专利主题“种用于静电吸盘侧面喷涂的旋转夹具”，申请号“202122087493.5”，也仅是用于对不同尺寸的静电吸盘进行固定。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具，可对静电吸盘喷涂进行内外固定，从而提高了静电吸盘喷涂的紧固性。
[0004]本技术还提供具有上述一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具，一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具，包括：底座，所述底座的上表面活动连接有活动板，所述活动板的上表面滑动连接有扩张板；第一夹持机构，所述第一夹持机构包括第一弹簧，且第一弹簧与扩张板固定连接有，所述第一弹簧远离扩张板的一端固定连接有托板，所述托板的侧表面固定连接有夹紧板；第二夹持机构，所述第二夹持机构包括扩张挤压块，且扩张挤压块与扩张板固定连接，所述扩张挤压块的上表面设置有吸盘，可对静电吸盘喷涂进行内外固定，从而提高了静电吸盘喷涂的紧固性。
[0005]根据所述的一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具，所述扩张板的前表面固定连接有固定板，所述固定板的侧表面固定连接有第二弹簧，使扩张板之间的直径方便进行调节对静电吸盘进行固定。
[0006]根据所述的一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具，所述底座的内部固定连接有横板，所述横板的上表面固定连接有电机，且电机的输出端与活动板固定连接，使静电吸盘在喷涂时可转动，使静电吸盘喷涂较为均匀。
[0007]根据所述的一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具，所述扩张板的侧表面设置有平滑机构，所述平滑机构包括安装板，且安装板与扩张板固定连接，所述安装板的下表面固定连接有支撑柱，所述支撑柱远离安装板的一端设置有平滑珠，且平滑珠与底座滑动连接，可提高扩张板移动时平稳性。
[0008]根据所述的一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具，所述扩张板的前表面固定连接有连接板，所述连接板的下表面固定连接有固定杆，所述固定杆远离连接板的一端固定连接有滑板，且滑板与底座的前表面滑动连接，配合平滑珠，提高扩张板移动的平稳。
[0009]根据所述的一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具，所述滑板的前表面螺纹连接有紧固螺栓，且紧固螺栓与底座螺纹连接，方便对扩张板进行固定。
[0010]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0011]下面结合附图和实施例对本技术进一步地说明；
[0012]图1为本技术一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具的内部结构示意图；
[0013]图2为本技术一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具的图1中A处结构图；
[0014]图3为本技术一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具的图1中B处结构图；
[0015]图4为本技术一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具的正视结构示意图。
[0016]图例说明：
[0017]1、底座；2、横板；3、电机；4、活动板；5、扩张板；6、第二弹簧；7、固定板；8、第一夹持机构；9、第二夹持机构；10、滑板；11、固定杆；12、连接板；13、平滑机构；
[0018]801、第一弹簧；802、托板；803、夹紧板；
[0019]901、吸盘；902、扩张挤压块；
[0020]131、安装板；132、支撑柱；133、平滑珠。
具体实施方式
[0021]本部分将详细描述本技术的具体实施例，本技术之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本技术的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本技术保护范围的限制。
[0022]参照图1
‑
4，本技术实施例一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具，包括：底座1，底座1的上表面活动连接有活动板4，活动板4的上表面滑动连接有扩张板5，扩张板5的前表面固定连接有固定板7，固定板7的侧表面固定连接有第二弹簧6，第一夹持机构8，第一夹持机构8包括第一弹簧801，且第一弹簧801与扩张板5固定连接有，第一弹簧801远离扩张板5的一端固定连接有托板802，托板802的侧表面固定连接有夹紧板803，第二夹持机构9，第二夹持机构9包括扩张挤压块902，且扩张挤压块902与扩张板5固定连接，扩张挤压块902的上表面设置有吸盘901，根据静电吸盘901的内部直径，使其可捏动扩张板5使扩张板5可对第二弹簧6挤压，扩张板5受挤压影响可在底座1的表面滑动，使扩张挤压块902可与静电吸盘901的内部贴合，当静电吸盘901向下压动，使吸盘901可将静电吸盘901内部吸住，利用第一弹簧801的弹性，可拽动夹紧板803与静电吸盘901的外表面贴合，利用托板802可将静电吸盘901的边缘托住，当静电吸盘901在喷涂时，可对静电吸盘901进行内外夹持固定，从而提高了静电吸盘901喷涂过程中的稳固性。
[0023]底座1的内部固定连接有横板2，横板2的上表面固定连接有电机3，且电机3的输出端与活动板4固定连接，将电机3与外界电源连接，启动电机3使活动板4可转动，使静电吸盘901可转动喷涂，从而提高了静电吸盘901喷涂的均匀性，扩张板5的侧表面设置有平滑机构13，平滑机构13包括安装板131，且安装板131与扩张板5固定连接，安装板131的下表面固定
连接有支撑柱132，支撑柱132远离安装板131的一端设置有平滑珠133，且平滑珠133与底座1滑动连接，扩张板5的前表面固定连接有连接板12，连接板12的下表面固定连接有固定杆11，固定杆11远离连接板12的一端固定连接有滑板10，且滑板10与底座1的前表面滑动连接，滑板10的前表面螺纹连接有紧固螺栓，且紧固螺栓与底座1螺纹连接，由于平滑珠133、滑板10均匀底座1滑动连接，当扩张板5在移动时，扩张板5可带动平滑珠133与滑板10移动，使扩张板5受平滑珠133与滑板10移动的影响不易出现晃动，从而提高了扩张板5移动时的平稳性，当扩张板5之间的距离调节完毕后，拧动紧固螺栓可对滑板10进行固定使扩张板5不再移动，使该装置可较好的对静电吸盘901进行夹持。
[0024]工作原理：使用时，利用扩张板5、第一固定机构与第二固定机构可组合成对静电吸盘901进行固定的夹具，根据静电吸盘901的内部直径，使其可捏动扩张板5使扩张板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具，其特征在于，包括：底座（1），所述底座（1）的上表面活动连接有活动板（4），所述活动板（4）的上表面滑动连接有扩张板（5）；第一夹持机构（8），所述第一夹持机构（8）包括第一弹簧（801），且第一弹簧（801）与扩张板（5）固定连接有，所述第一弹簧（801）远离扩张板（5）的一端固定连接有托板（802），所述托板（802）的侧表面固定连接有夹紧板（803）；第二夹持机构（9），所述第二夹持机构（9）包括扩张挤压块（902），且扩张挤压块（902）与扩张板（5）固定连接，所述扩张挤压块（902）的上表面设置有吸盘（901）。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具，其特征在于，所述扩张板（5）的前表面固定连接有固定板（7），所述固定板（7）的侧表面固定连接有第二弹簧（6）。3.根据权利要求1所述的一种用于半导体用静电吸盘的喷涂用夹具，其特征在于，所述底座（1）的内部固定连接有横板（2），所述横板（2）的上表面固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：王成杰，顾健，林凤兰，王梦霞，
申请(专利权)人：苏州合志杰新材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：