微电容式麦克风系统及其制造方法技术方案

技术编号:3681432 阅读:208 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种微电容式麦克风系统,包括若干个微电容式单元排列形成的麦克风阵列,各微电容式单元包括低电极,支撑在低电极上的薄膜,在薄膜与低电极之间形成真空密封空间,其特征在于:所述微电容式单元还包括硅基体,低电极层叠在硅基体上,薄膜表面的中心部分覆盖有中心信号线,在薄膜两侧各形成一接地电极,两接地电极与中心信号线构成传输线。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王云龙
申请(专利权)人:美国通用微机电系统公司
类型:发明
国别省市:

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