一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备制造技术

本发明专利技术公开了一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备，本发明专利技术涉及晶圆贴膜技术领域，包括底座，所述底座的表面固定连接有装置壁，所述装置壁的表面固定连接有液压缸，所述液压缸输出端的活塞杆固定连接有压合机构，所述底座的内侧面固定连接有内置机构，所述内置机构包括滑动台，所述滑动台的表面与底座的内侧面滑动连接。该防粘合气泡的晶圆贴膜设备，滑动台滑进装置壁，转动辊转动使得蓝膜卷辊表面的蓝膜被拉动在限位组件的上方位置，防护盖对蓝膜卷辊进行杂质防护，压合机构随液压缸的带动下移时，蓝膜与晶圆以及晶粒相贴，在相对密封的环境中自动对蓝膜进行带动并相贴，可以有效避免外部的杂质粘附在蓝膜的表面造成气泡的问题。外部的杂质粘附在蓝膜的表面造成气泡的问题。外部的杂质粘附在蓝膜的表面造成气泡的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备


[0001]本专利技术涉及晶圆贴膜
，具体为一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备。

技术介绍

[0002]晶圆贴膜切割的主要作用是将晶圆上做好的晶粒切割分开成单个，以便后续的工作，在切割之前，要先将晶圆贴在晶圆框架的胶膜上，胶膜具有固定晶粒的作用，避免在切割时晶粒受力不均而造成切割品质不良，同时切割完成后可确保在运送过程中晶粒不会脱落或相互碰撞。蓝膜是国内晶圆切割主流的切割胶带之一，在封装切割过程中，经常会遇到一些切割相关的品质问题，引起的原因很多，膜的选型不当也会造成品质问题，当以滚筒作为贴膜动作的载体时，在待贴膜晶圆表面存在特定图案或者有多层结构时，由于晶圆存在凹陷的表面，滚筒难以完全覆盖凹陷面，从而使得贴合膜与晶圆间易产生气泡，造成贴合紧密度差的问题。
[0003]现有的晶圆贴膜设备，由于结构设计缺陷，存在对晶圆以及晶粒进行蓝膜贴膜时，如何减少气泡留存在蓝膜的内部造成缺陷的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供了一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备，解决了上述
技术介绍
中所提到的问题。
[0005]为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备，包括底座，所述底座的表面固定连接有装置壁，所述装置壁的表面固定连接有液压缸，所述液压缸输出端的活塞杆固定连接有压合机构，所述底座的内侧面固定连接有内置机构；
[0006]所述内置机构包括滑动台，所述滑动台的表面与底座的内侧面滑动连接，所述滑动台的顶部固定连接有限位组件，所述装置壁的内侧面固定连接有转动辊；
[0007]所述压合机构包括压合盖，所述压合盖的表面与液压缸输出端的活塞杆固定连接，所述压合盖内侧面的顶部固定连接有连接台，所述连接台底部靠近边缘的位置固定连接有防过热组件，所述连接台底部靠近中部的位置固定连接有增效组件，所述增效组件的底部固定连接有叠合组件，压合机构被液压缸的带动上下移动，使得压合机构与装置壁之间处于相对密封状态，滑动台滑出，将晶圆以及晶粒放置在限位组件的顶部，随后，滑动台滑进，转动辊转动使得蓝膜卷辊表面的蓝膜被拉动在限位组件的上方位置。
[0008]优选的，所述底座的内侧面固定连接有防护盖，所述防护盖的内侧面转动连接有蓝膜卷辊，所述转动辊远离蓝膜卷辊的位置。
[0009]优选的，所述限位组件包括限位台，所述限位台的底部与滑动台的顶部固定连接，所述限位台的顶部固定连接有橡胶圈，所述限位台顶部靠近橡胶圈的位置开设有切割槽，限位组件内部装有晶圆以及晶粒后，限位组件滑入装置壁的内部，上一个晶圆蓝膜切割后，蓝膜未被切断的位置被转动辊卷绕，转动辊带动蓝膜转动使得蓝膜处于限位组件的上方位
置。
[0010]优选的，所述限位台的顶部设置有负压孔，所述限位台的内侧面开设有吸气孔，所述限位台顶部靠近边缘的位置开设有开槽，贴膜过程中，最先将蓝膜与晶圆相贴的是中部位置的压合壁，由于橡胶条的弹性收缩作用，旁侧的压合壁再与蓝膜直接接触并压覆蓝膜。
[0011]优选的，所述压合盖的底部固定连接有嵌合台，所述防过热组件包括板体，所述板体的顶部与连接台底部靠近边缘的位置固定连接。
[0012]优选的，所述板体的内部开设有圆孔，所述板体的表面固定连接有连接件，所述板体的数量为两个，两个板体之间设置有间隙，所述板体的底部固定连接有压环。
[0013]优选的，所述增效组件包括滑杆，所述滑杆的顶端与连接台底部靠近中部的位置固定连接，所述滑杆的底端固定连接有盘体。
[0014]优选的，所述盘体的底部固定连接有橡胶条，所述滑杆的表面滑动连接有带动设备，所述带动设备的输出端固定连接有割刀，带动设备可以带动割刀在滑杆的表面滑动，同时可以带动割刀转动从而使得晶圆被贴膜，该带动设备为现有技术。
[0015]优选的，所述叠合组件包括压合壁，所述压合壁的顶部与橡胶条的底端固定连接，所述压合壁的内侧面固定连接有塑胶片。
[0016]优选的，所述压合壁的内侧面固定连接有加热条，所述压合壁表面的上方位置固定连接有加油管，所述压合壁的数量为三个，且中部的压合壁处于最下方位置，压合壁与不同长度的橡胶条固定连接，与中部位置压合壁相连接的橡胶条长度最长，在压覆蓝膜的过程中，晶圆顶部的中部位置放置有晶粒。
[0017]本专利技术提供了一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备。具备以下有益效果：
[0018]1、该防粘合气泡的晶圆贴膜设备，滑动台滑进装置壁，转动辊转动使得蓝膜卷辊表面的蓝膜被拉动在限位组件的上方位置，防护盖对蓝膜卷辊进行杂质防护，压合机构随液压缸的带动下移时，蓝膜与晶圆以及晶粒相贴，在相对密封的环境中自动对蓝膜进行带动并相贴，可以有效避免外部的杂质粘附在蓝膜的表面造成气泡的问题。
[0019]2、该防粘合气泡的晶圆贴膜设备，压合盖被带动向下移动，防过热组件以及增效组件向下移动，该过程中，叠合组件与限位组件最先接触，叠合组件由内而外将蓝膜与晶圆相贴，增效组件将蓝膜切割，晶圆完成贴膜过程，叠合组件依次对晶圆以及晶粒进行压覆，可以避免同时压覆贴膜使得气泡留存在蓝膜的内部.
[0020]3、该防粘合气泡的晶圆贴膜设备，负压孔产生负压将晶圆限位，侧向的吸气孔将晶圆表面的气体引导，使得气体径向导出，流动使得气体不易留存在蓝膜的内部造成气泡缺陷，橡胶圈的顶部与蓝膜最后接触，切割槽对割刀的轨迹径向引导，橡胶圈表面开设的槽使得蓝膜划片后容易脱离，开槽使得晶圆贴膜切割后容易取下。
[0021]4、该防粘合气泡的晶圆贴膜设备，盘体带动叠合组件压覆蓝膜时，不同长度的橡胶条将蓝膜由中心向边缘压覆，被加热的蓝膜延展性能更好有利于排出气泡，板体中部位置的开孔使得割刀能够下移并转动，板体之间通过连接件连接，两个板体之间设置有间隙，可以将该热量迅速导出，避免蓝膜因为热量无法导出而出现材料变形的问题。
[0022]5、该防粘合气泡的晶圆贴膜设备，直接对晶圆与晶粒的搭接位置进行贴膜容易有气体留存，中部位置的压合壁最先将蓝膜与晶粒接触，旁侧的压合壁随后将靠近晶粒的蓝膜压下，加油管加入导热油，加热条对导热油进行加热，塑胶片避免油温过热，加热以及叠
合的压合壁使得晶圆与晶粒的搭接位置被有效覆膜。
附图说明
[0023]图1为本专利技术防粘合气泡的晶圆贴膜设备整体的结构示意图；
[0024]图2为本专利技术防粘合气泡的晶圆贴膜设备内部的结构示意图；
[0025]图3为本专利技术内置机构的结构示意图；
[0026]图4为本专利技术限位组件的结构示意图；
[0027]图5为本专利技术压合机构的结构示意图；
[0028]图6为本专利技术防过热组件的结构示意图；
[0029]图7为本专利技术增效组件的结构示意图；
[0030]图8为本专利技术叠合组件的结构示意图。
[0031]图中：1、底座；2、装置壁；3、内置机构；31、滑动台；32、限位组件；321、限位台；322、橡胶圈；323、切割槽；324、吸气孔；325、开槽；326本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备，包括底座(1)，所述底座(1)的表面固定连接有装置壁(2)，所述装置壁(2)的表面固定连接有液压缸(4)，其特征在于：所述液压缸(4)输出端的活塞杆固定连接有压合机构(5)，所述底座(1)的内侧面固定连接有内置机构(3)；所述内置机构(3)包括滑动台(31)，所述滑动台(31)的表面与底座(1)的内侧面滑动连接，所述滑动台(31)的顶部固定连接有限位组件(32)，所述装置壁(2)的内侧面固定连接有转动辊(35)；所述压合机构(5)包括压合盖(51)，所述压合盖(51)的表面与液压缸(4)输出端的活塞杆固定连接，所述压合盖(51)内侧面的顶部固定连接有连接台(53)，所述连接台(53)底部靠近边缘的位置固定连接有防过热组件(54)，所述连接台(53)底部靠近中部的位置固定连接有增效组件(55)，所述增效组件(55)的底部固定连接有叠合组件(56)。2.根据权利要求1所述的一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备，其特征在于：所述底座(1)的内侧面固定连接有防护盖(33)，所述防护盖(33)的内侧面转动连接有蓝膜卷辊(34)，所述转动辊(35)远离蓝膜卷辊(34)的位置。3.根据权利要求2所述的一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备，其特征在于：所述限位组件(32)包括限位台(321)，所述限位台(321)的底部与滑动台(31)的顶部固定连接，所述限位台(321)的顶部固定连接有橡胶圈(322)，所述限位台(321)顶部靠近橡胶圈(322)的位置开设有切割槽(323)。4.根据权利要求3所述的一种防粘合气泡的晶圆贴膜设备，其特征在于：所述限位台(321)的顶部设置有负压孔(326)，所述限位台(321)的内侧面开设有吸气孔(324)，所述限位台(321)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张帆，张延颇，
申请(专利权)人：江苏宝浦莱半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：