一种防松动的硅片脱胶架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种防松动的硅片脱胶架，涉及硅片脱胶架技术领域，为解决现有的硅片脱胶架，为框架定位，形成内部限位，随着不断的滑动，导致内部硅片排列发生松动，使得相互碰撞，影响硅片的质量的问题。本实用新型专利技术包括温热罐，温热罐的中间设有硅片脱胶架，硅片脱胶架包括转动过滤组件，转动过滤组件为转动筛，转动筛的中间设有旋转端，旋转端的外侧设有限位组件，限位组件设有多组，多组限位组件环绕旋转端的外侧设置，两组限位组件的之间设有隔断组件，通过多组限位组件环绕旋转端的外侧设置，根据硅片的大小，通过定位孔安装不同的托盘，便于硅片脱落，通过转动筛进行保护与限位，保障硅片的质量。保障硅片的质量。保障硅片的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种防松动的硅片脱胶架


[0001]本技术涉及硅片脱胶架
，具体为一种防松动的硅片脱胶架。

技术介绍

[0002]硅片脱胶(预清洗)主要分为两个部分，首先是通过物理方法，诸如喷淋清洗、超声清洗、溢流清洗等，先将硅片表面附着的金属粉末、硅粉、碳化硅、切割悬浮液等杂质去除，然后通过晶拖对硅片支撑进行脱胶处理，脱胶时所需的液体温度根据所使用的胶水来定，其原理是胶水在一定的温度范围内会软化，硅片自动从晶拖上脱落。
[0003]目前，专利号为CN202122993201.4，本技术公开一种硅片脱胶架，涉及硅片脱胶
所述硅片脱胶架，包括框架、承载件、第一可调挡杆和第二可调挡杆，框架用于装载沿其长度方向依次排列的多个硅片；承载件设置在框架内底部，承载件用于承托硅片的底部边缘；第一可调挡杆设置在框架的一侧，第一可调挡杆的端部分别与框架的两个端板活动连接；第二可调挡杆设置在框架的与第一可调挡杆相对的另一侧，第二可调挡杆的端部分别与框架的两个端板活动连接；第二可调挡杆与第一可调挡杆之间的间距可调，并且分别从框架的两侧对硅片的轮廓边缘夹持固定。本技术使硅片在框架内不会窜动，减少硅片加工过程工装夹具的使用量，适用于不同尺寸的硅片，同时降低员工的重复性工作，现有的硅片脱胶架，为框架定位，形成内部限位，随着不断的滑动，导致内部硅片排列发生松动，使得相互碰撞，影响硅片的质量；所以我们提出了一种防松动的硅片脱胶架，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种防松动的硅片脱胶架，以解决上述
技术介绍
中提出的现有硅片脱胶架，随着内部滑动调节，导致硅片损坏，影响硅片质量的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种防松动的硅片脱胶架，包括温热罐，所述温热罐的中间设有硅片脱胶架，所述硅片脱胶架包括转动过滤组件，所述转动过滤组件为转动筛，所述转动筛的中间设有旋转端，所述旋转端的外侧设有限位组件，所述限位组件设有多组，多组所述限位组件环绕所述旋转端的外侧设置，两组所述限位组件的之间设有隔断组件。
[0006]通过多组限位组件环绕旋转端的外侧设置，根据硅片的大小，通过定位孔安装不同的托盘，便于硅片脱落，通过转动筛进行保护与限位，避免硅片相互碰撞损坏，转动筛浸入温热罐随着导入适合温度的液体，旋转端进行旋转，同时升降气缸驱动伸缩推杆进行升降，形成边转动边升降的形式，便于硅片快速的脱落，多组减震组件阵列设置在存液仓中，可以支撑上方降下时的冲击力，降低反震性，保障硅片的质量。
[0007]进一步地，限位组件与所述旋转端的之间设有减震连接架，所述限位组件通过所述减震连接架与所述旋转端连接，所述限位组件包括后置隔板与前置隔板，所述后置隔板与所述前置隔板的之间设有放置锥台仓，通过放置锥台仓为锥台形状，增加整体的稳定性。
[0008]进一步地，隔断组件包括隔断套，所述隔断套的中间设有配重仓，所述隔断组件上设有定位孔，所述定位孔设有多组，多组所述定位孔沿所述隔断组件线性排列，根据硅片的大小，通过定位孔安装不同的托盘，便于硅片脱落。
[0009]进一步地，转动筛的外壁设有筛板，所述筛板设有多组，多组所述筛板环绕所述转动筛的外壁设置，所述转动筛的底部开设有流水隔断，所述流水隔断设有多组，多组所述流水隔断间隔设置，两组所述流水隔断间隔之间设有间隔槽，通过多组流水隔断间隔设置，便于水流的排出，避免水流发生积存。
[0010]进一步地，旋转端的上端设有转速分控器，所述旋转端的底部设有旋转器，所述旋转器的外侧设有伸缩推杆，所述伸缩推杆环绕所述旋转器的外侧，所述伸缩推杆的一端设有升降气缸，同时升降气缸驱动伸缩推杆进行升降，形成边转动边升降的形式，便于硅片快速的脱落。
[0011]进一步地，温热罐的底部设有电机隔温罩，所述电机隔温罩的中间设有电机，所述温热罐的中间开设有存液仓。
[0012]进一步地，存液仓的内侧设有减震组件，所述减震组件设有多组，多组所述减震组件阵列设置在所述存液仓中，所述减震组件的上端设有受力压盘，多组减震组件阵列设置在存液仓中，可以支撑上方降下时的冲击力，降低反震性，保障硅片的质量。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1、本技术通过多组限位组件环绕旋转端的外侧设置，根据硅片的大小，通过定位孔安装不同的托盘，便于硅片脱落，通过转动筛进行保护与限位，避免硅片相互碰撞损坏，转动筛浸入温热罐随着导入适合温度的液体，旋转端进行旋转，同时升降气缸驱动伸缩推杆进行升降，形成边转动边升降的形式，便于硅片快速的脱落，多组减震组件阵列设置在存液仓中，可以支撑上方降下时的冲击力，降低反震性，保障硅片的质量。
[0015]2、通过多组流水隔断间隔设置，便于水流的排出，避免水流发生积存，通过配重仓，可以放入配重块，保障整体的稳固性，提升硅胶托片的稳定性。
附图说明
[0016]图1为本技术的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术的俯视结构示意图；
[0018]图3为本技术的转动过滤组件示意图；
[0019]图4为本技术的温热罐示意图。
[0020]图中：1、温热罐；2、转动过滤组件；3、旋转端；4、限位组件；5、隔断组件；6、隔断套；7、转速分控器；8、减震连接架；9、转动筛；10、筛板；11、放置锥台仓；12、定位孔；13、配重仓；14、后置隔板；15、前置隔板；16、旋转器；17、升降气缸；18、伸缩推杆；19、流水隔断；20、减震组件；21、受力压盘；22、电机隔温罩；23、存液仓。
具体实施方式
[0021]请参阅图1
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4，本技术提供的一种实施例：一种防松动的硅片脱胶架，包括温热罐1，所述温热罐1的中间设有硅片脱胶架，所述硅片脱胶架包括转动过滤组件2，所述转动过滤组件2为转动筛9，所述转动筛9的中间设有旋转端3，所述旋转端3的外侧设有限位组
件4，所述限位组件4设有多组，多组所述限位组件4环绕所述旋转端3的外侧设置，两组所述限位组件4的之间设有隔断组件5，通过多组限位组件4环绕旋转端3的外侧设置，根据硅片的大小，通过定位孔12安装不同的托盘，便于硅片脱落，通过转动筛9进行保护与限位，避免硅片相互碰撞损坏，转动筛9浸入温热罐1随着导入适合温度的液体，旋转端3进行旋转，同时升降气缸17驱动伸缩推杆18进行升降，形成边转动边升降的形式，便于硅片快速的脱落，多组减震组件20阵列设置在存液仓23中，可以支撑上方降下时的冲击力，降低反震性，保障硅片的质量。
[0022]在实际使用时，限位组件4与所述旋转端3的之间设有减震连接架8，所述限位组件4通过所述减震连接架8与所述旋转端3连接，所述限位组件4包括后置隔板14与前置隔板15，所述后置隔板14与所述前置隔板15的之间设有放置锥台仓11，通过放置锥台仓11为锥台形状，增加整体的稳定性，所述隔断组件5包括隔断套6，所述隔断套6的中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防松动的硅片脱胶架，包括温热罐，其特征在于：所述温热罐的中间设有硅片脱胶架，所述硅片脱胶架包括转动过滤组件，所述转动过滤组件为转动筛，所述转动筛的中间设有旋转端，所述旋转端的外侧设有限位组件，所述限位组件设有多组，多组所述限位组件环绕所述旋转端的外侧设置，两组所述限位组件的之间设有隔断组件。2.根据权利要求1所述的一种防松动的硅片脱胶架，其特征在于：所述限位组件与所述旋转端的之间设有减震连接架，所述限位组件通过所述减震连接架与所述旋转端连接，所述限位组件包括后置隔板与前置隔板，所述后置隔板与所述前置隔板的之间设有放置锥台仓。3.根据权利要求1所述的一种防松动的硅片脱胶架，其特征在于：所述隔断组件包括隔断套，所述隔断套的中间设有配重仓，所述隔断组件上设有定位孔，所述定位孔设有多组，多组所述定位孔沿所述隔断组件线性排列。4.根据权利要求1所述的一种防松动的硅片脱胶...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑松，
申请(专利权)人：安徽晶天新能源科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：